公开(公告)号：KR101635467B1

公开(公告)日：2016-07-20

申请号：KR1020140142351

申请日：2014-10-21

Applicant: 김도균 ,  토요히코 신도

Inventor： 김도균 ,  토요히코신도

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/205

Abstract: 본발명은배관내의막힘을더욱방지할수 있는회전류발생장치, 그것을갖는배관시스템, 반도체제조장치및 열교환기를제공한다. 본발명의일 측면에따른회전류발생장치는관 내에설치되어관을따라이동하는유체에서회전류를발생시키는장치에있어서, 축부와상기축부에고정된복수개의안내날개를갖는다.

公开(公告)号：KR1020160046465A

公开(公告)日：2016-04-29

申请号：KR1020140142351

申请日：2014-10-21

Applicant: 김도균 ,  토요히코 신도

Inventor： 김도균 ,  토요히코신도

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/205

Abstract: 본발명은배관내의막힘을더욱방지할수 있는회전류발생장치, 그것을갖는배관시스템, 반도체제조장치및 열교환기를제공한다. 본발명의일 측면에따른회전류발생장치는관 내에설치되어관을따라이동하는유체에서회전류를발생시키는장치에있어서, 축부와상기축부에고정된복수개의안내날개를갖는다.

Abstract translation: 本发明提供一种旋转流产生装置，具有该旋转流产生装置的管道系统，具有该旋转流产生装置的半导体制造装置和具有该旋转流产生装置的能够防止管内堵塞的热交换器。 根据本发明的一个方面，旋转流产生装置安装在管中以在沿着管道移动的流体中产生旋转流。 旋转流产生装置具有轴部和固定到轴部的多个导向翼。

公开(公告)号：KR1020160046749A

公开(公告)日：2016-04-29

申请号：KR1020150163819

申请日：2015-11-23

Applicant: 김도균 ,  토요히코 신도

Inventor： 김도균 ,  토요히코신도

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/324 ,  H01L21/205

Abstract: 본발명은배관내의막힘을더욱방지할수 있는회전류발생장치, 그것을갖는배관시스템, 반도체제조장치및 열교환기를제공한다. 본발명의일 측면에따른회전류발생장치는관 내에설치되어관을따라이동하는유체에서회전류를발생시키는장치에있어서, 축부와상기축부에고정된복수개의안내날개를갖는다.

Abstract translation: 本发明提供了一种用于有效地防止管道，管道系统，半导体制造装置和热交换器的堵塞的旋转流产生装置。 在沿着管道流动的流体中产生旋转流的装置中，根据本发明的一个方面的旋转流产生装置具有轴部和固定到轴部的多个引导翼。