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公开(公告)号:KR1020150090333A
公开(公告)日:2015-08-06
申请号:KR1020140010151
申请日:2014-01-28
Applicant: 대구가톨릭대학교산학협력단
CPC classification number: C23C14/024 , C23C14/021 , C23C14/12 , C23C14/35
Abstract: 본발명에따른초발수성 PTFE 박막은상면이미세구조가형성되도록표면처리된기판, 상기기판의상면에증착된 SiO재질의버퍼층, 상기버퍼층의상면에증착된 PTFE 박막층을포함하되, 상기버퍼층과 PTFE 박막층은각각고주파마그네트론스퍼터링방식에의하여증착된것을특징으로한다. 상기와같은구성에의하여본 발명에따른초발수성 PTFE 박막은상기표면처리된기판상에 PTFE 박막을증착하기이전에 SiO재질의버퍼층을형성하는방식이기때문에비점착성이고표면에너지가낮은 PTFE 박막이기판으로부터박리되는현상을방지하여박막의발수성을더욱증가시킬수 있다는장점이있다.
Abstract translation: 超疏水性PTFE薄膜本发明涉及超疏水性PTFE薄膜,其特征在于,具有:表面被处理以在上表面形成微细结构的基材; 沉积在衬底的上表面上的SiO_2材料的缓冲层; 以及沉积在缓冲层的上表面上的PTFE薄膜层。 此外,分别通过高频磁控溅射法沉积缓冲层和PTFE薄膜层。 根据本发明,在沉积在其表面被处理的基板上的PTFE薄膜层之前形成SiO 2材料的缓冲层。 因此,本发明通过防止不粘而具有低表面能的PTFE薄膜层与基板分离而具有提高薄膜防水性的效果。
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