公开(公告)号：KR1020150089223A

公开(公告)日：2015-08-05

申请号：KR1020140009583

申请日：2014-01-27

Applicant: 대구가톨릭대학교산학협력단

Inventor： 김봉환 ,  홍표환 ,  이동인 ,  조찬섭

IPC: B81B3/00 ,  F04B43/04

CPC classification number: B81B3/00 ,  F04B43/04 ,  F16K31/02

Abstract: 본발명은유체가인입되는인렛(inlet)과상기유체가배출되는아웃렛(outlet)과상기인렛및 상기아웃렛사이에상기유체가이동하는유체통로가형성되는본체와, 상기본체중 상기유체통로의하부에대응되는부분에배치되는하부전극을구비하는마이크로펌프챔버부; 및상기마이크로펌프챔버부의상기본체의상기유체통로가형성된면에부착되는박막을포함하며, 상기박막은상기하부전극에대응되는부분에배치되는복수의상부전극을구비하는멤브레인부;를포함하는마이크로펌프를제공한다. 본발명에따르면저전압및 고주파수에서동작이가능하며입력신호를통하여유량분석이가능하여효율적인연동운동이가능한마이크로펌프및 그제조방법을제공할수 있다.

Abstract translation: 本发明提供了一种微泵，其包括微泵室单元，其包括具有流体流动的入口的主体，流体流出的出口以及流体在入口和出口之间流动的流体通道，以及下部电极 布置在对应于身体的流动通道的下部的部分上; 以及膜单元，其包括附着在微泵室单元的主体的表面上的薄膜，其中形成有流体通道，并且包括布置在对应于下电极的部分上的多个上电极。 本发明提供能够以低电压和高频率操作并能够通过基于输入信号的流量分析和微型泵的制造方法而被有效地操作的微型泵。