公开(公告)号：KR1020120006008A

公开(公告)日：2012-01-17

申请号：KR1020117019873

申请日：2010-03-18

Applicant: 델프멤스

Inventor： 세구에니,카림 ,  로페린,니콜라스

IPC: H01H59/00 ,  H01H1/00 ,  B81B3/00

CPC classification number: H01H59/0009 ,  B81B5/00 ,  B81B2201/018 ,  B81B3/00 ,  H01H1/0036

Abstract: MEMS 구조물은 길이 방향(X)을 한정하는 길이 방향 주축(6a)을 갖는 가요성 막(6), 상기 가요성 막(6) 아래에 있는 적어도 하나의 필라(3,3'), 가요성 막(6)을 하향력 상태로 구부려 내리는데 적합한 전기 하강 작동 수단(7), 및 가요성 막(6)을 상향력 상태로 구부려 올리는데 적합한 전기 상승 작동 수단(8)을 포함한다. 전기 하강 작동 수단(7) 또는 전기 상승 작동 수단(8)은 막(6)의 일 부분 아래로 연장하고 길이 방향(X)에서 상기 적어도 하나의 필라(3)의 양면에서 동시에 막(6)에 인장력을 가하는데 적합한 작동 영역(7c 또는 8c)을 포함한다.