公开(公告)号：KR101891011B1

公开(公告)日：2018-08-22

申请号：KR1020167016899

申请日：2015-02-20

Applicant: 레이던 컴퍼니

Inventor： 구치,로랜드 ,  케네디,아담,엠. ,  블랙,스테픈,에이치. ,  코시안,토마스,앨런 ,  디에프,부

IPC: H01L23/26 ,  B32B3/10 ,  B32B15/04 ,  G02B19/00 ,  G01J5/04

CPC classification number: C23C14/28 ,  B32B3/10 ,  B32B15/04 ,  B32B2255/205 ,  B32B2457/00 ,  C23C14/06 ,  G01J5/045 ,  H01L23/26 ,  H01L2924/0002 ,  Y10T428/24802 ,  H01L2924/00

Abstract: 게터구조및 방법에있어서, 상기시드물질의레이어는상기구조의표면상에복수의핵형성사이트들을형성하기위한조건하에서구조의표면의미리결정된영역상에디파짓된다. 핵형성사이트들은분자하나의두께보다작은미리결정된영영의표면을넘는평균높이를가진다. 그다음으로게터물질은, 핵형성사이트들로부터바깥쪽으로프로젝팅되는복수의게터물질멤버들을형성하기위해표면위에디파짓된다.

公开(公告)号：KR101993107B1

公开(公告)日：2019-06-25

申请号：KR1020187022616

申请日：2015-02-20

Applicant: 레이던 컴퍼니

Inventor： 구치,로랜드 ,  케네디,아담,엠. ,  블랙,스테픈,에이치. ,  코시안,토마스,앨런 ,  디에프,부

IPC: H01L23/26 ,  B32B3/10 ,  B32B15/04 ,  G02B19/00 ,  G01J5/04

公开(公告)号：KR1020160090367A

公开(公告)日：2016-07-29

申请号：KR1020167016899

申请日：2015-02-20

Applicant: 레이던 컴퍼니

Inventor： 구치,로랜드 ,  케네디,아담,엠. ,  블랙,스테픈,에이치. ,  코시안,토마스,앨런 ,  디에프,부

IPC: H01L23/26 ,  B32B3/10 ,  B32B15/04 ,  G02B19/00 ,  G01J5/04

CPC classification number: C23C14/28 ,  B32B3/10 ,  B32B15/04 ,  B32B2255/205 ,  B32B2457/00 ,  C23C14/06 ,  G01J5/045 ,  H01L23/26 ,  H01L2924/0002 ,  Y10T428/24802 ,  H01L2924/00 ,  G02B19/00

Abstract: 게터구조및 방법에있어서, 상기시드물질의레이어는상기구조의표면상에복수의핵형성사이트들을형성하기위한조건하에서구조의표면의미리결정된영역상에디파짓된다. 핵형성사이트들은분자하나의두께보다작은미리결정된영영의표면을넘는평균높이를가진다. 그다음으로게터물질은, 핵형성사이트들로부터바깥쪽으로프로젝팅되는복수의게터물질멤버들을형성하기위해표면위에디파짓된다.

Abstract translation: 一种吸气剂结构和方法，其中在结构的表面上形成多个成核位置的条件下，将种子材料层沉积在结构的表面的预定区域上。 成核位置具有小于一分子厚的预定区域的表面积的平均高度。 随后，吸气剂材料沉积在表面上以形成从成核位置向外突出的多个吸气材料构件。