公开(公告)号：KR102047869B1

公开(公告)日：2019-11-22

申请号：KR1020167013973

申请日：2014-11-25

Applicant: 레이티언 캄파니

Inventor： 구치,로랜드 ,  코시안,토마스알란 ,  디에프,부우 ,  케네디,아담,엠. ,  블랙,스테판,에이치.

IPC: H01L31/0216 ,  H01L31/18 ,  H01L31/0232 ,  H01L31/0236 ,  H01L31/0203 ,  B81C1/00

公开(公告)号：KR1020160079028A

公开(公告)日：2016-07-05

申请号：KR1020167013973

申请日：2014-11-25

Applicant: 레이티언 캄파니

Inventor： 구치,로랜드 ,  코시안,토마스알란 ,  디에프,부우 ,  케네디,아담,엠. ,  블랙,스테판,에이치.

IPC: H01L31/0216 ,  H01L31/18 ,  H01L31/0232 ,  H01L31/0236 ,  H01L31/0203 ,  B81C1/00

CPC classification number: H01L31/18 ,  B81C1/00373 ,  B81C2201/0188 ,  H01L31/02327 ,  H01L31/02167 ,  H01L31/0203 ,  H01L31/02366

Abstract: 복수의캐비티들을갖는기판의표면의선택된부분들상에물질의코팅을형성하기위한방법은, 상부에이형제를갖는구조를제공하는단계; 상기웨이퍼의상부표면상에배치되는상기이형제를포함하고및 상기이형제가없는상기캐비티들의저부들을갖는중간구조를형성하기위하여, 상기캐비티들의저부들을상기이형제로부터이격되게남게하면서상기이형제의일부들을상기웨이퍼의상부표면으로전송하도록상기웨이퍼의상부표면을상기이형제와접촉시키는단계; 상기이형제및 상기캐비티들의저부들모두상에상기물질을블랭킷코트하도록상기중간구조를상기물질에노출시키는단계; 및상기코팅물질을상기캐비티들의저부들상에남기면서상기코팅물질과함께상기이형제를선택적으로제거하는단계를포함한다.