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公开(公告)号：KR1020170131208A
公开(公告)日：2017-11-29
申请号：KR1020170039208
申请日：2017-03-28
Applicant: 롬엔드하스전자재료코리아유한회사
IPC: G03F7/022 , G03F7/075 , G03F7/039 , G02F1/1333 , H01L27/32
Abstract: 본발명은감광성수지조성물및 이로부터제조된경화막에관한것으로서, 상기감광성수지조성물은테트라메틸암모늄하이드록사이드수용액에대한용해속도가서로상이한 2 종이상의실록산폴리머를혼합사용함으로써, 실록산폴리머를포함하는조성물의장점인고투명성및 고감도를유지하면서우수한내화학성을가져, 후공정에서도안정성이뛰어난경화막을제공할수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种从感光性树脂组合物和其，所述光敏树脂组合物包含氢氧化四甲铵，包括硅氧烷聚合物，由溶解速率用于侧水溶液生产的固化膜被用在不同的两种或多种混合在一起的硅氧烷聚合物 也得到了良好的耐化学性，在后续步骤中，同时保持透明度锭和所述组合物的高灵敏度的优点可以提供具有优异的硬化稳定性的膜。
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公开(公告)号：KR1020170053561A
公开(公告)日：2017-05-16
申请号：KR1020160121881
申请日：2016-09-23
Applicant: 롬엔드하스전자재료코리아유한회사
Abstract: 본발명은감광성수지조성물및 이로부터제조된경화막에관한것으로서, 상기감광성수지조성물은실록산폴리머, 1,2-퀴논디아지드계화합물, 에폭시화합물및 화학식 1로표시되는 1종이상의실란화합물을포함하고, 수지조성물중의실란화합물이에폭시화합물과함께실록산폴리머중에존재하는반응성높은실라놀기를추가적으로감소시킴으로써, 후공정에서사용되는화학물질에대한저항성(내화학성)을극대화시켜안정성이뛰어난경화막을제공할수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种从感光性树脂组合物和其包括的硅烷化合物作为通过硅氧烷聚合物表示的一个构件的感光性树脂组合物制得的固化膜，1,2-醌二叠氮化合物，环氧化合物和通式（1） 并且，通过降低硅烷化合物的反应性高的硅烷醇基在存在于硅氧烷聚合物中的树脂组合物与另外的环氧化合物，以最大化在随后的步骤中使用的化学品的抗性（耐化学品性）能够提供的薄膜具有优异的稳定性的固化 有。
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公开(公告)号：KR1020170053442A
公开(公告)日：2017-05-16
申请号：KR1020150155970
申请日：2015-11-06
Applicant: 롬엔드하스전자재료코리아유한회사
CPC classification number: G03F7/0757 , G03F7/0046 , G03F7/0226 , G03F7/0233 , G03F7/038
Abstract: 본발명은감광성수지조성물및 이로부터제조된경화막에관한것으로서, 상기감광성수지조성물은기존의실록산폴리머및 에폭시화합물의조성에발수성이강한불소원자를함유하고있는실록산폴리머를도입하여, 불소기가경화막의전체에존재할수 있어드라이에칭공정을통해경화막의표면이제거된후에도불소성분에의한발수성유지가가능하여후공정에서사용되는화학물질에대한저항성(내화학성)을극대화시켜안정성이뛰어난경화막을제공할수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种从感光性树脂组合物和其与感光性树脂组合物产生的被引入到含有常规的硅氧烷聚合物和环氧化合物的组合物的氟原子强拒水性的硅氧烷聚合物的固化膜，氟基团固化的 提供给它是存在于整个，即使之后通过干法蚀刻工艺，固化膜表面被移除，以允许在随后的步骤中使用优良的膜在固化膜的稳定性的化学品被氟组件维护的拒水最大化电阻（耐化学品性） 你可以。
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