公开(公告)号：KR1020170058845A

公开(公告)日：2017-05-29

申请号：KR1020160121859

申请日：2016-09-23

Applicant: 롬엔드하스전자재료코리아유한회사

Inventor： 김연옥 ,  박석봉 ,  최경식 ,  이수민

IPC: G02F1/1339

CPC classification number: G02F1/1339 ,  G02F1/1303 ,  G02F2202/022

Abstract: 본발명은컬럼스페이서의제조방법에관한것으로서, 광투과율이다른제1 패턴, 제2 패턴및 제3 패턴을포함하는마스크를이용하는것을특징으로한다. 또한, 본발명의컬럼스페이서제법에따르면, 매트릭스부와스페이서부가연속연결된컬럼스페이서의제작시매트릭스부와스페이서부사이의테이터각도를크게하고, 스페이서부의선폭(critical dimension)를작게할 수있어미세패턴의컬럼스페이서를효율적으로간편하게제조할수 있다.

公开(公告)号：KR101755318B1

公开(公告)日：2017-07-10

申请号：KR1020160121859

申请日：2016-09-23

Applicant: 롬엔드하스전자재료코리아유한회사

Inventor： 김연옥 ,  박석봉 ,  최경식 ,  이수민

IPC: G02F1/1339

Abstract: 본발명은컬럼스페이서의제조방법에관한것으로서, 광투과율이다른제1 패턴, 제2 패턴및 제3 패턴을포함하는마스크를이용하는것을특징으로한다. 또한, 본발명의컬럼스페이서제법에따르면, 매트릭스부와스페이서부가연속연결된컬럼스페이서의제작시매트릭스부와스페이서부사이의테이터각도를크게하고, 스페이서부의선폭(critical dimension)를작게할 수있어미세패턴의컬럼스페이서를효율적으로간편하게제조할수 있다.

Abstract translation: 本发明涉及制造柱状间隔物的方法，并且其特征在于使用包括具有不同光透射率的第一图案，第二图案和第三图案的掩模。 此外，根据本发明，基体部和生产相关联的列间隔件的过程中的间隔件连续部分并增加增变其角度基质部分和间隔件的副的柱状间隔物的制造方法，能够降低隔离部的精细图案的线宽度（临界尺寸） 柱状间隔物可以高效且容易地制造。