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公开(公告)号：KR101505334B1
公开(公告)日：2015-03-23
申请号：KR1020137005241
申请日：2011-08-02
Applicant: 바스프 에스이
Inventor： 젤만-에게베르트,한스-페터 , 젠프,안드레아스 , 로에슈,마르쿠스 , 벤텔레,요아힘 , 슈미트,카티 , 스테파노브스키,우도
IPC: C10M107/30
CPC classification number: C10M107/34 , C10M2201/041 , C10M2201/05 , C10M2201/061 , C10M2201/062 , C10M2209/104 , C10M2209/1045 , C10M2209/107 , C10N2220/022 , C10N2220/14 , C10N2230/02 , C10N2240/401 , C10M2209/1055 , C10M2209/1085 , C10M2209/1065
Abstract: 본 발명은 웨이퍼의 제조를 위한 개선된 신규한 연마제용 캐리어 유체, 특히 절삭 유체에 관한 것이다. 본 발명은 또한 상기 유체의 용도 및 웨이퍼 절삭 방법에 관한 것이다.
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公开(公告)号：KR1020130048245A
公开(公告)日：2013-05-09
申请号：KR1020137005241
申请日：2011-08-02
Applicant: 바스프 에스이
Inventor： 젤만-에게베르트,한스-페터 , 젠프,안드레아스 , 로에슈,마르쿠스 , 벤텔레,요아힘 , 슈미트,카티 , 스테파노브스키,우도
IPC: C10M107/30
CPC classification number: C10M107/34 , C10M2201/041 , C10M2201/05 , C10M2201/061 , C10M2201/062 , C10M2209/104 , C10M2209/1045 , C10M2209/107 , C10N2220/022 , C10N2220/14 , C10N2230/02 , C10N2240/401 , C10M2209/1055 , C10M2209/1085 , C10M2209/1065
Abstract: 본 발명은 웨이퍼의 제조를 위한 개선된 신규한 연마제용 캐리어 유체, 특히 절삭 유체에 관한 것이다. 본 발명은 또한 상기 유체의 용도 및 웨이퍼 절삭 방법에 관한 것이다.
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