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公开(公告)号:KR101941359B1
公开(公告)日:2019-04-12
申请号:KR1020170009518
申请日:2017-01-20
Applicant: 부산대학교 산학협력단
Inventor: 이형우 , 홍순규 , 이정우 , 김진영
IPC: H01L35/02 , B01J23/34 , C01B13/02 , H01L35/34