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公开(公告)号:WO2021086031A1
公开(公告)日:2021-05-06
申请号:PCT/KR2020/014864
申请日:2020-10-29
Applicant: 부산대학교 산학협력단
Abstract: 본 발명은 채널의 대역 보다 더 넓은 전체 대역에 걸쳐서 발진 레이저 출력의 순차적인 스캐닝이 가능하도록 한 이중 가변 기반의 발진 광주파수 스캐닝 레이저 광원 및 그를 이용하는 측정 장치에 관한 것으로, 광을 발생하고 증폭시키는 광이득부;상기 광이득부에서 발생한 광 중에서 특정 광주파수 대역을 선택하여 광이 투과하도록 가변하는 투과 광대역 가변부;상기 특정 광주파수 대역 내의 여러 공진 광주파수 차수들이 각 차수 간의 간격보다 좁은 가변 범위에 걸쳐 변화하도록 가변하는 공진 광주파수 가변부;상기 광이득부, 투과 광대역 가변부, 공진 광주파수 가변부를 포함하여 특정 투과 광대역 이내의 특정 공진 광주파수의 광이 선택 발진하도록 광공진부를 형성하는 공진 유도부;상기 투과 광대역 가변부와 공진 광주파수 가변부를 각기 가변 시키는 제어 신호부;를 포함하는 것이다.
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公开(公告)号:WO2022114806A1
公开(公告)日:2022-06-02
申请号:PCT/KR2021/017484
申请日:2021-11-25
Applicant: 부산대학교 산학협력단
Abstract: 본 발명은 측정하는 물체의 절대적 위치에 따라서 기준단의 길이별 광경로를 능동적으로 선택하여 중심 측정 범위를 조절하는 광간섭형 라이다 시스템에 관한 것으로, 파장이 가변하는 광을 방출하는 레이저 광원부;상기 광을 가변기준단과 측정단으로 나누는 광분할부;기준단의 광경로 길이를 선택할 수 있는 구조로 이루어진 가변기준단;광을 전파시키고 측정 물체에서 반사된 광을 받아들이는 측정단;상기 가변기준단을 지나온 광과 상기 측정단을 지나온 광이 광간섭을 일으켜서 생기는 광신호를 검출하는 광검출부; 를 포함하고, 상기 가변기준단에서 가변되는 기준단의 광경로 길이의 능동적 선택에 따라, 상대적인 최대의 광간섭 세기가 검출되는 중심 측정 범위를 조절하는 것이다.
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公开(公告)号:KR101816837B1
公开(公告)日:2018-01-11
申请号:KR1020160117456
申请日:2016-09-12
Applicant: 부산대학교 산학협력단
CPC classification number: G01B9/02091 , G01N21/45 , H01S3/1109
Abstract: 본발명은광의파장에따라광경로를변화시키는색분산광경로변화부를구비하여서로다른초점거리상에서검사대상의표면구조로인해회절산란된광의패턴을효과적으로측정하는색분산광경로변화를이용하는광학영상측정기기에관한것으로, 다수의파장의광신호를순차적으로스캐닝하여방출하는파장가변광원부;상기파장가변광원부로부터전달된광이조사되어측정하고자하는검사대상으로부터광이반사되도록검사대상이위치하는시료부;상기시료부로부터전달된광의파장에따라광경로를변화시키는색분산광경로변화부;상기색분산광경로변화부로부터전달된광의정보를획득하는감지부;를포함하고, 상기감지부로부터얻어진서로다른초점거리상에서검사대상의표면구조의변화에따라대응되게변화하는회절된광의패턴을상기파장가변광원부로부터방출된광의파장에따라스캐닝하여측정하는것이다.
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