색분산 광경로 변화를 이용하는 광학 영상 측정 기기

    公开(公告)号:KR101816837B1

    公开(公告)日:2018-01-11

    申请号:KR1020160117456

    申请日:2016-09-12

    CPC classification number: G01B9/02091 G01N21/45 H01S3/1109

    Abstract: 본발명은광의파장에따라광경로를변화시키는색분산광경로변화부를구비하여서로다른초점거리상에서검사대상의표면구조로인해회절산란된광의패턴을효과적으로측정하는색분산광경로변화를이용하는광학영상측정기기에관한것으로, 다수의파장의광신호를순차적으로스캐닝하여방출하는파장가변광원부;상기파장가변광원부로부터전달된광이조사되어측정하고자하는검사대상으로부터광이반사되도록검사대상이위치하는시료부;상기시료부로부터전달된광의파장에따라광경로를변화시키는색분산광경로변화부;상기색분산광경로변화부로부터전달된광의정보를획득하는감지부;를포함하고, 상기감지부로부터얻어진서로다른초점거리상에서검사대상의표면구조의변화에따라대응되게변화하는회절된광의패턴을상기파장가변광원부로부터방출된광의파장에따라스캐닝하여측정하는것이다.

Patent Agency Ranking