公开(公告)号：KR101389556B1

公开(公告)日：2014-05-15

申请号：KR1020120064045

申请日：2012-06-15

Applicant: 브러커옵틱스코리아 주식회사

Inventor： 김효진 ,  김찬봉 ,  조원보 ,  조우성

IPC: G01N21/31 ,  H01L21/66

Abstract: 본 발명은 다채널 분광 분석기를 사용한 반도체 및 LCD 공정 혼합액 분석 장치 및 방법에 관한 것으로, 공정액에 녹아있는 여러가지 화학물질이 포함된 공정 혼합액을 공급하는 용액 탱크; 하나의 광파이버를 통해 광원을 플로우 셀로 주사하고, 다른 광파이버를 통해 포토다이오드로 광원을 주사하는 할로겐 램프; 할로겐 램프 광원으로부터 광파이버를 통하여 주사된 광을 플로우 셀까지 도달시키기 위해 제1 렌즈를 통해 플로우 셀로 투과시키는 광원의 광 경로부; 플로우 셀을 투과된 광을 다채널 분광 분석기로 도입시키기 위해 제2 렌즈로 집광한 후, 다채널 분광분석기로 광을 도입시키는 다채널 분광기의 광경로부; 및 공정액에 화학물질이 용해되되 상기 화학물질의 농도를 미리 알고 있는 표준물질을 상기 다채널 분광 분석기로 측정한 후 파장대역별로 상기 표준물질의 흡광도와 상기 농도를 이용하여 작성된 검량선;을 포함하여 구성되어, 공정액에 화학물질이 용해되되, 농도를 모르는 미지시료를 상기 다채널 분광 분석기로 측정한 후 상기 미리 작성된 검량선을 통해 미지시료의 화학물질의 농도를 분석함으로써, 각 성분의 농도 관리를 하는 공정 혼합액 전용 분석 소프트웨어가 설치된 컴퓨터를 포함한다.

公开(公告)号：KR1020130141009A

公开(公告)日：2013-12-26

申请号：KR1020120064045

申请日：2012-06-15

Applicant: 브러커옵틱스코리아 주식회사

Inventor： 김효진 ,  김찬봉 ,  조원보 ,  조우성

IPC: G01N21/31 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01N21/359 ,  G01J3/0294 ,  G01J3/10 ,  G01N2021/8405

Abstract: The present invention relates to an apparatus and a method for analyzing a mixed solution in real time in semiconductor and LCD processes using a multi-channel spectrometer. The apparatus according to the present invention comprises: a solution tank for providing a mixed process solution containing various chemicals which are melted in a process solution; a halogen lamp for injecting a light source into a flow cell using one optical fiber and injecting a light source into a photodiode using another optical fiber; an optical path unit of the light source for guiding the light to the flow cell through a first lens in order to convey the light, which is injected by the halogen lamp through the optical fiber, to the flow cell; an optical path unit of a multi-channel spectrometer for collecting the light, which has passed through the flow cell, by a second lens in order to input the light into the multi-channel spectrometer and inputting the light into the multi-channel spectrometer; a calibration curve which is created by using the absorbance of a standard substance and a given density for each wavelength band after measuring, by the multi-channel spectrometer, the absorbance of the standard substance which is melted in a process solution and whose density is known; and a computer in which designated software for analyzing the mixed process solution is installed which manages a density of each substance by measuring a sample whose chemical density is unknown using the multi-channel spectrometer and analyzing the density of the chemical in the sample using the calibration curve which is previously created. [Reference numerals] (20) Halogen lamp;(AA) Semiconductor, LCD process

Abstract translation: 本发明涉及使用多通道光谱仪在半导体和LCD处理中实时分析混合溶液的装置和方法。 根据本发明的装置包括：溶液罐，用于提供含有在工艺溶液中熔化的各种化学品的混合处理溶液; 卤素灯，用于使用一根光纤将光源注入到流动池中，并使用另一光纤将光源注入光电二极管; 光源的光路单元，用于通过第一透镜将光引导到流动池，以将由卤素灯注入的光通过光纤传送到流动池; 用于通过第二透镜收集已经通过流动池的光的多通道光谱仪的光路单元，以便将光输入到多通道光谱仪中并将光输入到多通道光谱仪中; 通过使用多通道光谱仪测量后的标准物质的吸光度和每个波长带的给定密度产生的校准曲线，其在处理溶液中熔化并且密度为已知的标准物质的吸光度 ; 以及计算机，其中安装用于分析混合处理溶液的指定软件，其通过使用多通道光谱仪测量化学密度未知的样品并使用校准分析样品中的化学物质的密度来管理每种物质的密度 以前创建的曲线。 （附图标记）（20）卤素灯;（AA）半导体，LCD工艺

公开(公告)号：KR101230230B1

公开(公告)日：2013-02-06

申请号：KR1020100137814

申请日：2010-12-29

Applicant: 브러커옵틱스코리아 주식회사

Inventor： 이종구 ,  김효진 ,  이성욱

IPC: G01N21/359 ,  G01J1/02

Abstract: 본 발명은 근적외선을 이용하여 피측정물을 파괴하지 않고, 피측정물의 물리ㆍ화학적인 특성을 파악하기 위한 근적외선 분광 분석장치에 관한 것으로서, 광원, 적분구, 근적외선 분석기 및 전원공급장치로 구성되는 근적외선 분광 분석기와 상기 근적외선 분광 분석기를 체결고정하는 외부케이스, 안착대, 기준물질체, 데이터 처리ㆍ저장장치 및 사용자 인터페이스를 포함하는 피측정물 비파괴방식의 근적외선 분광 분석장치에 관한 것이다.
또한 본 발명에 의한 피측정물 비파괴방식의 근적외선 분광 분석장치는 피측정물을 파괴하지 않음과 동시에, 정확도가 우수한 피측정물의 근적외선 스펙트럼을 측정할 수 있고, 더 나아가, 피측정물의 내절도 또는 열단장과 같은 물리적인 특성과 함수율 또는 산성도와 같은 화학적인 특성을 데이터베이스화하여, 피측정물과 유사한 재질의 또 다른 미지 피측정물의 물리ㆍ화학적인 특성을 예측가능하도록 하는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR1020120075907A

公开(公告)日：2012-07-09

申请号：KR1020100137814

申请日：2010-12-29

Applicant: 브러커옵틱스코리아 주식회사

Inventor： 이종구 ,  김효진 ,  이성욱

IPC: G01N21/359 ,  G01J1/02

Abstract: PURPOSE: A near infrared spectral analysis device of an object non-destructive mode is provided to measure an near infrared spectrum of a measurement object which accuracy is excellent and to establish databases by using physical properties and the percentage of water content or the acidity of the measurement object. CONSTITUTION: A near infrared spectral analysis device of an object non-destructive mode comprises a light source, an integrating sphere, a near infrared spectral analysis device(10), an outer case(20), a pedestal(30), a reference substance(40), a data process storing device, and a user interface. The light source emits the near infrared rays. The integrating sphere comprises an incident port, a measurement port(13), and a discharging port. The incident port becomes incident to the inside of the integrating sphere. The measurement port irradiates the near infrared rays became incident to the incident port and receives the near infrared rays reflected by the measurement object. The discharging port discharges optical signals of the measurement object diffused and reflected in the inner circumference of the integrating sphere by being reflected by the measurement object. The near infrared spectral analysis device measures the discharged optical signals, thereby generating spectrum data of the measurement object. The reference substance comprises total reflection materials. The total reflection materials reflect the near infrared rays penetrated through the measurement object among the near infrared rays irradiated to the measurement object from the measurement port.

Abstract translation: 目的：提供一种物体非破坏性模式的近红外光谱分析装置，用于测量精度优良的测量对象的近红外光谱，并通过使用物理性质，含水率或酸度等建立数据库 测量对象。 构成：物体非破坏性模式的近红外光谱分析装置包括光源，积分球，近红外光谱分析装置（10），外壳（20），基座（30），参考物质 （40），数据处理存储装置和用户界面。 光源发射近红外线。 积分球包括入射口，测量口（13）和排出口。 入射口入射到积分球的内部。 测量端口照射近红外线入射到入射口并接收由测量对象反射的近红外线。 放电端口通过被测量对象的反射而放大并反射在积分球的内周中的测量对象的光信号。 近红外光谱分析装置测量放出的光信号，由此产生测量对象的光谱数据。 参考物质包括全反射材料。 全反射材料反射从测量端口照射到测量对象的近红外线中穿过测量对象的近红外线。