公开(公告)号：KR1020060054359A

公开(公告)日：2006-05-22

申请号：KR1020067001840

申请日：2004-07-21

Applicant: 사이머 엘엘씨

Inventor： 스타이거토마스디. ,  브라운조슈아씨. ,  두페이토마스피. ,  질레스피에월터디. ,  모톤리차드지. ,  다이어티모씨에스.

IPC: H01S3/22

CPC classification number: H01S3/038 ,  H01S3/036 ,  H01S3/0381 ,  H01S3/0382 ,  H01S3/0385 ,  H01S3/0388 ,  H01S3/097 ,  H01S3/09702 ,  H01S3/0971 ,  H01S3/225 ,  H01S3/2251 ,  H01S3/2256 ,  H01S3/2258

Abstract: A fluorine gas discharge laser electrode for a gas discharge laser having a laser gas containing fluorine is disclosed which may comprise a copper and copper alloy cathode body having an upper curved region containing the discharge footprint for the cathode comprising copper and a lower portion comprising a copper alloy, with the facing portion of the electrode if formed in a arcuate shape extending into straight line portions on either side of the arcuate portion, the straight line portions terminating in vertical straight sides, with the boundary between the copper including at least the arcuate portion, the electrode may comprise a bonded element machined from two pieces of material the first made of copper and the second made of a copper alloy bonded together before machining. The electrode may also comprise a first and a second elongated lopsided V-shaped groove formed along substantially all of the elongated electrode body forming a discharge receiving ridge between the first and second lopsided V-shaped grooves, with a differentially faster eroding material filling the first and second lopsided V-shaped grooves. also disclosed is an electrode system in which the one electrode, e.g., the cathode bows during operation and may comprise at least one of a first and second elongated gas discharge electrode being machined to form a crown to receive the gas discharge that compensates for the bowing of at least one of the gas discharge electrodes during operation of the fluorine gas discharge laser.

Abstract translation: 公开了一种用于具有含氟激光气体的气体放电激光器的氟气放电激光电极，其可包括铜和铜合金阴极体，该铜和铜合金阴极体具有包含用于包含铜的阴极的放电足迹的上部弯曲区域，以及包含铜 合金，如果电极的对置部分形成为延伸到弓形部分两侧的直线部分的弓形形状，则直线部分终止于垂直的直边，铜线之间的边界至少包括弧形部分 电极可以包括由铜制成的两片材料和由加工前结合在一起的铜合金制成的第二个材料加工的接合元件。 电极还可以包括沿着基本上所有的细长电极体形成的第一和第二细长的非平面V形槽，该细长电极体在第一和第二偏斜V形槽之间形成放电接收脊，其中填充有第一 和第二个不对称的V形槽。 还公开了一种电极系统，其中一个电极例如阴极在操作期间弯曲并且可以包括被加工成形成冠部的第一和第二细长气体放电电极中的至少一个，以接收补偿弯曲的气体放电 的至少一个气体放电电极在氟气放电激光器的操作期间。

公开(公告)号：KR101179945B1

公开(公告)日：2012-09-07

申请号：KR1020067001840

申请日：2004-07-21

Applicant: 사이머 엘엘씨

Inventor： 스타이거토마스디. ,  브라운조슈아씨. ,  두페이토마스피. ,  질레스피에월터디. ,  모톤리차드지. ,  다이어티모씨에스.

IPC: H01S3/22

CPC classification number: H01S3/038 ,  H01S3/036 ,  H01S3/0381 ,  H01S3/0382 ,  H01S3/0385 ,  H01S3/0388 ,  H01S3/097 ,  H01S3/09702 ,  H01S3/0971 ,  H01S3/225 ,  H01S3/2251 ,  H01S3/2256 ,  H01S3/2258

Abstract: 구리 합금을 포함하는 하부 및 구리를 포함하는 캐소드용 방전 풋프린트를 포함하는 상부 곡면 영역을 갖는 구리 및 구리 합금 캐소드 바디를 포함할 수 있는, 불소를 함유하는 레이저 가스를 갖는 가스 방전 레이저용 불소 가스 방전 레이저 전극이 개시되어 있다. 상기 가스 방전 레이저 전극의 대면부는 아치형부의 어느 한측상의 직선부로 뻗는 아치형상으로 형성되고, 상기 직선부는 수직 스트레이트 사이드에서 종료하고, 상기 구리 및 구리 합금 사이의 바운더리는 적어도 아치형부를 포함한다. 상기 가스 방전 전극은, 기계가공전에 함께 접합(bonding)되는 구리로 된 제1 재료 및 구리 합금으로 된 제2 재료의 2개의 피스로부터 기계가공된 접합 엘리먼트를 포함할 수 있다. 상기 가스 방전 전극은 또한 제1 및 제2 신장된 기울어진 V형상의 그루브 사이에 방전 수용 리지를 형성하는 실질상 모든 신장된 전극 바디를 따라 형성된 제1 및 제2 신장된 기울어진 V형상의 그루브;를 포함하고, 상기 제1 및 제2 신장된 기울어진 V형상의 그루브를 부식 속도가 상이한 재료로 채울 수 있다. 또한, 하나의 전극, 예를 들어, 캐소드가 동작 동안 구부러지고, 불소 가스 방전 레이저의 동작 동안 가스 방전 전극중 적어도 하나의 구부러짐을 보상하는 가스 방전 영역을 수용하기 위해 크라운을 형성하도록 기계가공되는 제1 및 제2 신장된 가스 방전 전극중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
캐소드, 구리 합금, 불소 가스 방전 레이저, 대면부, 아치형부, 크라운