公开(公告)号：KR1020060089717A

公开(公告)日：2006-08-09

申请号：KR1020067001713

申请日：2004-07-27

Applicant: 사이머 엘엘씨

Inventor： 스타이거토마스디. ,  우자도우스키리차드씨. ,  다이어티모씨에스. ,  두페이토마스피. ,  질레스피에월터디. ,  무스만브라이언지. ,  모톤리차드지. ,  스트라테브라이언디.

IPC: H01S3/041

CPC classification number: H01S3/225 ,  H01S3/0381 ,  H01S3/0385 ,  H01S3/0388 ,  H01S3/0971 ,  H01S3/09713

Abstract: A method and apparatus for operating a gas discharge laser is disclosed which may comprise a laser chamber containing a laser gas, the laser gas comprising a halogen, two elongated electrode elements defining a cathode and an anode, each of the cathode and anode having an elongated discharge receiving region having a discharge receiving region width defining a width of an electric discharge between the electrode elements in the laser gas, the discharge receiving region defining two longitudinal edges, and the anode comprising: a first elongated anode portion comprising a first anode material defining a first anode material erosion rate, located entirely within the discharge receiving region of the anode, a pair of second elongated anode portions comprising a second anode material defining a second anode material erosion rate, respectively located on each side of the first anode portion and at least partially within the discharge receiving region; an elongated electrode center base portion integral with the first elongated anode portion; and wherein each of the respective pair of second elongated anode portions is mechanically bonded to the center base portion. The electrode element may comprise a cathode. The first and second materials may be different materials such as different brass alloys with different erosion rates in the halogen gas. The first elongated cathode portion may comprising a first cathode material, located entirely within the discharge receiving region comprising a first portion of an ellipse intersecting elongated side walls, with a bottom wall opposite the portion of the ellipse; and a pair of second elongated cathode side portions comprising a second cathode material with the intersection of each respective second cathode portion and the portion of the ellipse forming the discharge receiving region of the first cathode portion, forming respective ellipsoidal extensions of the first portion. The members may be mechanically bonded to the center base portion. Some may be diffusion bonded to the center base portion and/or each other. The electrode assembly may have a hooded discharge receiving region extension at respective ends of the electrode and the electrode portion may be formed with or bonded to the center base portion and may have slanted side walls.

Abstract translation: 公开了一种用于操作气体放电激光器的方法和装置，其可以包括包含激光气体的激光室，激光气体包括卤素，限定阴极和阳极的两个细长电极元件，阴极和阳极中的每一个具有细长的 放电接收区域具有限定激光气体中的电极元件之间的放电宽度的放电接收区域宽度，放电接收区域限定两个纵向边缘，阳极包括：第一细长阳极部分，包括限定 第一阳极材料侵蚀速率，完全位于阳极的放电接收区域内;一对第二细长阳极部分，包括限定第二阳极材料侵蚀速率的第二阳极材料，第二阳极材料分别位于第一阳极部分的每一侧， 最少部分地在放电接收区域内; 与所述第一细长阳极部分成一体的细长电极中心基部; 并且其中相应的一对第二细长阳极部分中的每一个机械地结合到中心基部。 电极元件可以包括阴极。 第一和第二材料可以是不同的材料，例如在卤素气体中具有不同侵蚀速率的不同的黄铜合金。 第一细长阴极部分可以包括第一阴极材料，其全部位于放电接收区域内，包括与细长侧壁相交的椭圆的第一部分，其中与壁的部分相对的底壁; 以及一对第二细长阴极侧部分，其包括第二阴极材料，每个相应的第二阴极部分和形成第一阴极部分的放电接收区域的椭圆形部分的交点形成第一部分的相应的椭圆形延伸部分。 构件可以机械地结合到中心基部。 一些可以扩散结合到中心基部和/或彼此。 电极组件可以在电极的相应端部处具有连接的放电接收区域延伸部，并且电极部分可以形成有或结合到中心基部并且可以具有倾斜的侧壁。

公开(公告)号：KR101042179B1

公开(公告)日：2011-06-16

申请号：KR1020067001713

申请日：2004-07-27

Applicant: 사이머 엘엘씨

Inventor： 스타이거토마스디. ,  우자도우스키리차드씨. ,  다이어티모씨에스. ,  두페이토마스피. ,  질레스피에월터디. ,  무스만브라이언지. ,  모톤리차드지. ,  스트라테브라이언디.

IPC: H01S3/041

CPC classification number: H01S3/225 ,  H01S3/0381 ,  H01S3/0385 ,  H01S3/0388 ,  H01S3/0971 ,  H01S3/09713

Abstract: 가스 방전 레이저를 동작시키기 위한 방법 및 장치로서, 할로겐으로 이루어지는 레이저 가스를 함유하는 레이저 챔버와, 캐쏘드 및 아노드를 정의하는 두 개의 신장된 전극 엘리먼트를 포함하고, 각각의 캐쏘드 및 아노드는 레이저 가스에서의 전극 엘리먼트 상이에 전기 방전의 폭을 정의하고 두 개의 길이방향 에지를 정의하는 방전 수용 영역을 갖는 신장된 방전 수용 영역을 갖고, 상기 아노드는: 제1 아노드 재료 부식율을 정의하고, 아노드의 방전 수용 영역내에 전체적으로 위치된 제1 신장된 아노드부, 제2 아노드 재료 부식율을 정의하고, 각각이 제1 아노드부의 각각의 측부에 위치되고 적어도 부분적으로 방전 수용 영역내에 위치된 한 쌍의 제2 신장된 아노드부; 제1 신장된 아노드부와 일체로 된 신장된 전극 중앙 베이스부를 포함하고, 제2 신장된 아노드부의 각각의 쌍의 각각은 중앙 베이스부에 기계적으로 본딩된다. 전극 엘리먼트는 캐쏘드를 포함할 수 있다. 제1 및 제2 재료는 할로겐 가스에서 상이한 부식율을 갖는 상이한 황동 합금과 같은 상이한 재료일 수 있다. 제1 신장된 캐쏘드부는 제1 타원형부와 대향하는 바닥 벽부를 갖춘, 신장된 측벽부와 교차하는 제1 타원형부를 포함하는 방전 수용부내에 전체적으로 위치된, 제1 캐쏘드 재료를 포함하고; 한 쌍의 제2 신장된 캐쏘드 측부는 각각의 제2 캐쏘드부와의 교차부를 갖춘 제2 캐쏘드 재료를 포함하고 타원형부는 제1 캐쏘드부의 방전 수용부를 형성하고, 제1 부의 각각의 타원형 확장부를 형성한다. 부재들은 중앙 베이스부에 기계적으로 본딩된다. 몇몇은 중앙 베이스부에 및/또는 서로 본 딩된다. 전극 어셈블리는 전극의 각각의 단부에 후드된 방전 수용 영역 확장부를 가질 수 있고 전극부는 중앙 베이스부에 형성되거나 중앙 베이스부에 본딩될 수 있고 경사진 측벽을 가질 수 있다.
레이저 챔버, 아노드, 캐쏘드, 전극 엘리먼트, 가스 방전, 본딩