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公开(公告)号：KR101113517B1
公开(公告)日：2012-02-29
申请号：KR1020060120978
申请日：2006-12-01
Applicant: 삼성전기주식회사
CPC classification number: B41J2/1433 , B41J2/1606 , B41J2/162 , B41J2/1642
Abstract: 잉크젯 프린트헤드용 노즐 플레이트 및 그 제조방법이 개시된다. 개시된 노즐 플레이트는, 노즐들이 형성된 기판; 기판의 외부 표면 및 노즐들의 내벽에 형성되는 친잉크성(ink-philic) 코팅막; 및 노즐들 주위의 친잉크성 코팅막 상에만 선택적으로 형성되는 발잉크성(ink-phobic) 코팅막;을 구비한다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020080050132A
公开(公告)日：2008-06-05
申请号：KR1020060120978
申请日：2006-12-01
Applicant: 삼성전기주식회사
CPC classification number: B41J2/1433 , B41J2/1606 , B41J2/162 , B41J2/1642
Abstract: A nozzle plate for an ink-jet print head and a method of manufacturing the same are provided to prevent contamination of a second ink-philic coating film due to ambient environment. A nozzle plate(230) for an ink-jet print head includes a substrate(232), a first ink-philic coating film(234), a second ink-philic coating film(236), and an ink-phobic coating film(238). The substrate includes a plurality of nozzles(231). The first ink-philic coating film is formed on the outer surface of the substrate and the inner wall of the nozzle. The second ink-philic coating film is formed to cover the first ink-philic coating film on the outer surface of the substrate. The ink-phobic coating film is formed only on the second ink-philic coating film around the nozzle.
Abstract translation: 提供一种用于喷墨打印头的喷嘴板及其制造方法，以防止由于周围环境而导致的第二亲油性涂膜的污染。 用于喷墨打印头的喷嘴板（230）包括基底（232），第一墨亲涂层（234），第二墨亲涂层（236）和墨墨涂膜（ 238）。 基板包括多个喷嘴（231）。 第一墨水涂布膜形成在基板的外表面和喷嘴的内壁上。 形成第二亲油性涂膜以覆盖基材的外表面上的第一亲油性涂膜。 喷墨墨膜仅在喷嘴周围的第二墨水涂布膜上形成。
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公开(公告)号：KR101153562B1
公开(公告)日：2012-06-11
申请号：KR1020060008239
申请日：2006-01-26
Applicant: 삼성전기주식회사
IPC: B41J2/045
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , Y10T29/42 , Y10T29/49401
Abstract: Provided are a piezoelectric inkjet printhead and a method of manufacturing the same. The piezoelectric inkjet printhead is configured with two stacked and bonded substrates. An upper substrate is formed of a single crystal silicon substrate or an SOI substrate and includes an ink inlet therethrough. A lower substrate is formed of an SOI substrate having a sequentially stacked structure with a first silicon layer, an intervening oxide layer, and a second silicon layer. A manifold, pressure chambers, and dampers are formed in the second silicon layer by wet or dry etching, and nozzles are formed through the intervening oxide layer and the first silicon layer by dry etching. A piezoelectric actuator is formed on the upper substrate to apply a driving force to the respective pressure chambers for ejecting the ink. The piezoelectric inkjet printhead is configured with a small number of substrates for reducing manufacturing process and cost, and the intervening oxide layer is used as an etch stop layer to uniformly form the nozzles for improving ink ejecting performance.
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公开(公告)号：KR1020070055129A
公开(公告)日：2007-05-30
申请号：KR1020050113498
申请日：2005-11-25
Applicant: 삼성전기주식회사
Abstract: 잉크젯 프린트헤드의 노즐 플레이트 표면에 소수성 코팅막을 형성하는 방법이 개시된다. 개시된 소수성 코팅막 형성 방법은, 노즐 플레이트에 노즐을 형성하는 단계; 노즐의 출구를 덮도록 노즐 플레이트의 표면에 필름을 적층하는 단계; 노즐의 내벽 및 노즐을 출구를 덮는 필름의 내면에 도금 방법에 의하여 소정의 금속층을 형성하는 단계; 노즐 플레이트의 표면으로부터 필름을 제거하는 단계; 노즐의 출구를 통하여 노출된 금속층을 덮도록 노즐 플레이트의 표면에 소수성 코팅막을 형성하는 단계; 및 노즐의 내벽에 형성된 금속층 및 금속층의 표면에 형성된 소수성 코팅막을 제거하는 단계;를 포함한다.
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公开(公告)号：KR1020070078201A
公开(公告)日：2007-07-31
申请号：KR1020060008239
申请日：2006-01-26
Applicant: 삼성전기주식회사
IPC: B41J2/045
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , Y10T29/42 , Y10T29/49401
Abstract: A piezoelectric type inkjet print head and a method for manufacturing the same are provided to be realized on two silicon substrate for a further improved ink discharging performance and a further simplified manufacture process. A piezoelectric type inkjet print head includes a top substrate(100) and a bottom substrate(200). An ink oil path is formed on the top substrate and the bottom substrate. The bottom substrate comprises a SOI(Silicon On Insulator) wafer used in a manufacture of a semiconductor integrated circuit. The top substrate plays a role of a vibration plate changed by a piezoelectric actuator(190) and is manufactured from a single crystal silicon substrate and the SOI substrate. The piezoelectric actuator is formed on the top substrate. A silicon oxide layer(180) is formed between the top substrate and the piezoelectric actuator.
Abstract translation: 提供一种压电型喷墨打印头及其制造方法，用于在两个硅基板上实现，以进一步提高喷墨性能和进一步简化的制造工艺。 压电型喷墨打印头包括顶部基底（100）和底部基底（200）。 在顶部基板和底部基板上形成墨水路径。 底部衬底包括用于制造半导体集成电路的SOI（绝缘体上硅）晶片。 顶部衬底起到通过压电致动器（190）改变的振动板的作用，并且由单晶硅衬底和SOI衬底制造。 压电致动器形成在顶部基板上。 在顶部基板和压电致动器之间形成氧化硅层（180）。
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公开(公告)号：KR1020060081110A
公开(公告)日：2006-07-12
申请号：KR1020050001545
申请日：2005-01-07
Applicant: 삼성전기주식회사
IPC: B41J2/16
CPC classification number: B41J2/1642 , B41J2/162 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1632 , Y10T29/49401
Abstract: 잉크젯 프린트헤드의 대칭형 노즐 형성 방법이 개시된다. 개시된 노즐 형성 방법은, 제1 표면과 제2 표면을 가진 실리콘 기판을 준비하는 단계와, 상기 실리콘 기판의 제1 표면을 부분적으로 식각하여 실질적으로 뒤집어진 피라미드 형상을 가진 잉크 도입부를 형성하는 단계와, 상기 실리콘 기판의 제2 표면을 연마하여 상기 실리콘 기판의 두께를 원하는 두께로 감소시키는 단계와, 상기 실리콘 기판의 제2 표면을 부분적으로 식각하여 상기 잉크 도입부와 연통되는 잉크 토출구를 형성하는 단계를 구비한다. 상기 실리콘 기판의 제1 표면에 대한 식각은 이방성 습식 식각 방법에 의해 수행될 수 있고, 상기 제2 표면에 대한 연마는 화학적-기계적 연마(CMP) 방법에 의해 수행될 수 있으며, 상기 제2 표면에 대한 식각은 건식 식각에 의해 수행될 수 있다. 이와 같은 본 발명에 의하면, CMP 공정에 의한 결함의 발생 여부에 관계 없이 노즐을 정확하게 대칭형으로 형성할 수 있게 되므로, 노즐을 통해 토출되는 잉크 액적의 토출 방향의 직진성과 잉크 액적의 부피의 균일성 및 잉크 액적의 토출 속도의 균일성이 향상된다.
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