公开(公告)号：KR1020080113618A

公开(公告)日：2008-12-31

申请号：KR1020070062332

申请日：2007-06-25

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 강윤성 ,  이승준 ,  권영우 ,  김창욱 ,  최자영

IPC: G05B19/418

CPC classification number: Y02P90/02 ,  G05B19/418 ,  G05B2219/2609

Abstract: An interlock system and the unit process estimation method is provided to find out a staring time and finish time by analyzing sensor data transmitted from a sensor. An interlock system and the unit process estimation method is comprised of steps: setting up the initial buffer size to M Π3S the tolerance range of the entry value(500); setting up the higher data of a plurality of sensor data as a reference sensor transmitting the highest sensor data if a plurality of sensor data exceeding the tolerance range exist(510); confirming whether directional change of the reference sensor and the main sensor stored in the buffer in database is detected or not(520); setting up to the start point of sensor data transmitted from the main sensor(540); setting up a finish point where all data become the initial value(550).

Abstract translation: 提供联锁系统和单元处理估计方法，通过分析从传感器传输的传感器数据来找出凝视时间和完成时间。 联锁系统和单元过程估计方法包括以下步骤：将初始缓冲区大小设置为MŒ3S入口值（500）的公差范围; 如果存在超过公差范围的多个传感器数据（510），则设置多个传感器数据的较高数据作为传送最高传感器数据的参考传感器; 确定是否检测到存储在数据库中的缓冲器中的参考传感器和主传感器的方向改变是否被检测（520）; 设置到从主传感器（540）发送的传感器数据的起始点; 设置所有数据成为初始值的终点（550）。

公开(公告)号：KR1020070019348A

公开(公告)日：2007-02-15

申请号：KR1020050074238

申请日：2005-08-12

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 강윤성

IPC: H01L21/22

Abstract: 본 발명은 반도체 확산 설비에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로는 수직형 확산 설비에 관한 것이다.
본 발명에 따른 확산로 설비는 상기 확산로 내부에서 밀폐된 공간을 제공하는 적어도 하나의 공정 튜브, 상기 공정 튜브 내부로 반응 가스를 분사하는 복수개의 노즐들, 그리고 상기 노즐들을 연결하는 노즐 연결 라인을 포함한다. 상기 확산로 설비는 상기 공정 튜브를 지지하는 매니 폴드를 더 포함하고, 상기 매니 폴드는 상기 노즐 및 상기 노즐 연결 라인을 구비한다.
본 발명에 따른 확산로 설비는 복수의 웨이퍼들 상에 공정 가스를 균일하게 분사할 수 있어 웨이퍼들 상에 형성되는 확산막의 균일성을 향상시키는 효과가 있다.
확산, 확산 설비, 확산로, 수직형 확산로, 매니 폴드, 노즐,

公开(公告)号：KR1020160100723A

公开(公告)日：2016-08-24

申请号：KR1020150023586

申请日：2015-02-16

Applicant: 삼성전자주식회사 ,  삼성에스디에스 주식회사

Inventor： 허윤호 ,  정재륜 ,  서민석 ,  이창용 ,  최재섭 ,  강윤성

IPC: G08B21/02 ,  G08B21/00 ,  H04N7/18 ,  G08B13/196 ,  G08B25/10

CPC classification number: G08B21/02 ,  G08B13/19613 ,  G08B25/10 ,  H04N7/18

Abstract: 본발명의하나의실시형태에따른 CCTV 영상분석장치의구동방법은영상파일로부터움직임을검출하는단계, 관심영역을검출하는단계, 상기관심영역으로부터객체를판단하는단계그리고상기판단된객체에대하여안정규정을판단하는단계를포함한다.

Abstract translation: 根据本发明的实施例，CCTV图像分析装置的驱动方法包括以下步骤：检测来自图像文件的移动; 检测感兴趣的区域; 确定感兴趣区域中的对象; 以及确定关于所述确定对象的稳定性规则。 因此，CCTV图像分析装置可以是无人的。