公开(公告)号：KR20210024319A

公开(公告)日：2021-03-05

申请号：KR1020190102565A

申请日：2019-08-21

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 라신 나소 ,  구남일 ,  박수환 ,  안태흥 ,  오상연

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/66 ,  H01L21/683 ,  H01L21/687

CPC classification number: H01L21/6838 ,  H01L21/67242 ,  G01N21/9501 ,  H01L21/67288 ,  H01L21/68714 ,  H01L21/68742 ,  H01L21/68764 ,  H01L22/14 ,  H01L22/30

Abstract: 본 개시의 일 실시예는, 웨이퍼의 면적보다 큰 개구를 갖는 프레임과 각각 상기 프레임에 장착되며 진공 흡입부가 구비된 지지면을 갖는 복수의 진공 척을 포함하는 지지 구조체와, 상기 웨이퍼에 검사용 전자기파(inspection electromagnetic wave)를 조사하는 방출부와, 상기 웨이퍼로부터 상기 검사용 전자기파를 수신하는 감지부와, 상기 웨이퍼의 조사 위치가 변경되도록 상기 방출부 및 상기 프레임 중 적어도 하나를 이동시키는 이동부를 포함하며, 상기 복수의 진공 척 각각은 상기 프레임에서 제1 위치와 제2 위치 사이를 선택적으로 이동 가능하도록 구성되는 웨이퍼 검사장치를 제공한다.

公开(公告)号：KR1020160149847A

公开(公告)日：2016-12-28

申请号：KR1020150087589

申请日：2015-06-19

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 구남일 ,  이지민 ,  이형규 ,  최민석 ,  최의선

IPC: G02B1/11 ,  G02B1/10 ,  B29C59/04

CPC classification number: G02B1/118 ,  G02B1/14 ,  H01L27/14618 ,  H01L27/1462 ,  H01L27/14625 ,  H01L27/14685 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/73265 ,  H01L2924/181 ,  H01L2924/1815 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/00012

Abstract: 본발명의기술적사상은모스-아이구조를포함하면서도높은경도를가짐으로써, 기계적마모문제를해결할수 있는반사방지필름, 그필름을포함한전자장치를제공한다. 그반사방지필름은투명기판; 및상기투명기판의상면및 하면중 적어도일면상에형성되고, 4H 이상의경도를가지며, 표면에모스-아이(moth-eye) 패턴이형성된고경도코팅층;을포함한다.

Abstract translation: 抗反射膜包括透明基板和在透明基板的至少一个表面上的高硬度涂层，高硬度涂层具有约4H以上的硬度和蛾眼图案。

公开(公告)号：KR1020160096368A

公开(公告)日：2016-08-16

申请号：KR1020150017903

申请日：2015-02-05

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 최의선 ,  구남일 ,  이지민 ,  이형규 ,  최민석

IPC: B29D11/00 ,  B29C35/02 ,  G02B1/11

CPC classification number: G02B1/11 ,  B29D11/0074 ,  B29C35/02

Abstract: 반사방지구조물제조장치및 이를이용한반사방지구조물제조방법이제공된다. 상기반사방지구조물제조장치는, 스탬프구조체가형성된반송필름(carrier film), 상기반송필름을권출하는권출부, 상기반송필름으로타겟기판을제공하는기판지지부, 상기스탬프구조체로제공된레진이상기타겟기판으로제공되도록상기반송필름에압력을가하는가압부, 및상기타겟기판으로반사방지패턴을전사한상기반송필름을권취하는권취부를포함하되, 상기가압부는, 상기타겟기판을수용하는챔버와, 상기챔버에형성된벤트홀을포함하고, 상기벤트홀을통해상기챔버내의공기를배출시켜상기챔버내의공기압을낮추어상기반송필름에가압한다.

Abstract translation: 提供了一种用于制造抗反射结构的装置和一种制造使用其的抗反射结构的方法。 用于制造抗反射结构的装置包括：具有印模结构的载体膜; 释放载体膜的释放单元; 基板支撑单元，其向所述载体膜提供目标基板; 加压单元，对载体膜进行加压，使得可以将作为印模结构设置的树脂提供给目标基板; 以及将以抗反射图案转印的载体膜卷绕到目标基板上的卷绕单元。 加压单元包括容纳目标基板的腔室和形成在腔室中的弯曲孔。 包括在腔室中的空气可以通过通气孔排出，以减小腔室中的空气压力，从而对载体膜加压。

公开(公告)号：KR1020170073948A

公开(公告)日：2017-06-29

申请号：KR1020150182789

申请日：2015-12-21

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이지민 ,  구남일

IPC: C09D183/04 ,  B32B15/08 ,  B32B17/10 ,  B32B27/08 ,  B32B27/28

CPC classification number: H01L51/5237 ,  H01L27/3225 ,  H01L27/323 ,  H01L27/3276 ,  H01L51/0097 ,  H01L51/56 ,  H01L2251/5338 ,  Y02E10/549

Abstract: 본발명의플렉서블필름구조물은베이스필름; 및상기베이스필름상에형성된적어도하나의기능성하드코팅층을포함하되, 상기기능성하드코팅층은에폭시기를갖는실록산계폴리머로구성된다. 플렉서블필름구조물은플렉서블표시장치의윈도우커버로이용될수 있다.

Abstract translation: 本发明的柔性膜结构包括基膜; 并且在所述基膜上形成至少一个功能性硬涂层，其中所述功能性硬涂层由具有环氧基的硅氧烷聚合物构成。 柔性膜结构可以用作柔性显示装置的窗盖。