公开(公告)号：KR1020070048280A

公开(公告)日：2007-05-09

申请号：KR1020050105141

申请日：2005-11-04

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김성수 ,  심문보 ,  오태환 ,  김팔수 ,  이행진

IPC: G01R31/3183

CPC classification number: G01R31/3183 ,  G01R31/318307 ,  G01R31/31835 ,  G01R31/318371

Abstract: 다양한 테스트 조건으로 신속하게 반도체 소자들을 검사하는 방법에 따르면, 제1 테스트 모듈과 제2 테스트 모듈을 포함하는 테스트 프로그램에 제1 반도체 소자들의 제1 테스트 조건과 제2 반도체 소자들의 제2 테스트 조건을 입력한다. 제1 테스트 조건과 제2 테스트 조건의 동일 여부를 확인한다. 제1 및 제2 테스트 조건들이 상이할 경우, 제1 반도체 소자를 제1 테스트 조건으로 제2 반도체 소자를 제2 테스트 조건으로 실질적으로 동시에 테스트한다. 제1 및 제2 테스트 조건들이 동일할 경우, 제1 및 제2 반도체 소자들을 제1 또는 제2 테스트 조건으로 실질적으로 동시에 테스트한다. 제1 반도체 소자들의 테스트 공정을 완료한 후에는, 테스트 프로그램에 제3 반도체 소자들의 제3 테스트 조건을 입력하고, 제2 반도체 소자들을 테스트함과 동시에 제3 테스트 조건에 따라 제3 반도체 소자들을 테스트할 수 있다.