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公开(公告)号:KR1020060016421A
公开(公告)日:2006-02-22
申请号:KR1020040064847
申请日:2004-08-17
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor: 김현대
IPC: H01L29/786
CPC classification number: H01L21/0268 , H01L21/2022 , H01L29/66757
Abstract: 본 발명은 순차적 측면 고상화용 마스크에 관한 것이다. 본 발명에 따른 순차적 측면 고상화(SLS)용 마스크는, 상호 평행하게 일렬로 배치된 다수의 제1슬릿을 가지는 제1슬릿열과, 상기 제1슬릿들에 상호 대응하며, 상호 평행하게 일렬로 배치된 다수의 제2슬릿을 가지는 제2슬릿열과, 상기 제1슬릿 및 상기 제2슬릿과 어긋나도록 상호 평행하게 일렬로 배치된 다수의 제3슬릿을 가지며, 상기 제1슬릿열과 상기 제2슬릿열 사이에 위치하는 제3슬릿열을 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여 레이저 샷 간의 에너지 편차에 따라 박막트랜지스터 특성의 편차가 인식되는 문제를 감소시킬 수 있다.
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公开(公告)号:KR1020060010562A
公开(公告)日:2006-02-02
申请号:KR1020040059310
申请日:2004-07-28
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor: 김현대
IPC: H01L29/786
CPC classification number: H01L21/0268 , H01L21/2022 , H01L29/66757
Abstract: 본 발명은 순차적 측면 고상화용 마스크에 관한 것이다. 본 발명에 따른 마스크는 조사되는 레이저를 투과시키는 슬릿이 일렬로 배치된 슬릿열이 형성되어 있으며, 상기 슬릿열에는 폭이 다른 적어도 2가지 이상의 슬릿이 형성되어 있는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여 레이저 샷 간의 에너지 편차에 따른 박막트랜지스터 특성의 편차가 인식되지 않도록 할 수 있다.
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公开(公告)号:KR100508027B1
公开(公告)日:2005-11-03
申请号:KR1019980012777
申请日:1998-04-10
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor: 김현대
IPC: G02F1/1339 , G02F1/13
Abstract: 산포용 기판에 간격제를 흡착하기 위한 흡착부를 다수개 가지고 있고, 이 흡착부는 액정 표시 장치용 기판의 차광막 패턴과 일치하도록 배치되어 있다. 흡착부는 공기가 드나들 수 있는 노즐 또는 슬릿 형태로 되어 있어서 흡착부 부근을 진공 상태로 만드는 방식으로 간격제를 흡착·분리할 수 있다. 또한, 대전 가능한 재질로 형성되어 있어서 전기력을 이용하여 간격제를 흡착·분리할 수도 있다.
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公开(公告)号:KR100163921B1
公开(公告)日:1999-01-15
申请号:KR1019950061869
申请日:1995-12-28
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G02F1/1337
Abstract: 본 발명은 계조 반전을 개선하는 액정 표시 장치에 관한 것으로서, 제1배향막과 제2배향막의 배향 방향을 서로 반대가 되도록 하여 제1배향막과 제2배향막이 서로 마주 보도록 배치하는 액정 패널에서 상판 부근의 액정 분자와 하판 부근의 배향 방향이 액정이 꼬인 방향을 따라 볼 때 같도록 하여 정면 부근에서 계조 반전을 개선하는 효과가 있는 액정 표시 장치이다.
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公开(公告)号:KR1019970076002A
公开(公告)日:1997-12-10
申请号:KR1019960014205
申请日:1996-05-02
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor: 김현대
IPC: G02F1/1337 , G02F1/136
Abstract: 본 발명은 투명성 기판 상에 단일 배향막을 형성하고, 각각 다른 각도로 러빙함으로써 시야각이 확장된 단일 배향막을 갖는 광시야각 TFT-LCD에 관한 것이다.
발명은 칼라 필터 기판과 이에 대향하는 TFT 기판에 형성된 배향막을 단일 배향막으로 하고, 그 사이에 주입된 액정에 액정을 일정 방향으로 트위스트 시키는 나선성 도펀트를 첨가하여 하나의 화소 중앙에서 액정의 방향이 반대가 되게 하였으며, 상기 단일 배향막을 러빙 방향이 각각 다른 제1러빙 배향마과 제2러빙 하였다.
따라서, 종래의 프리틸트 각도가 다른 두 가지 배향막을 사용한 것과 동일한 효과를 가져 왔다.
이에 따라, 배향막 재료의 선정의 제한성을 줄고, 공정이 단순화되는 이점이 있다.
또한, 투광성 기판에 형성된 제1러빙 배향막과 제2러빙 배향막의 러빙 방향을 각각 다르게 실시하여 종래의 DDTN 방식을 이용한 TFT-LCD와 필적할 만한 넓은 각도에서 휘도 반전 등의 현상이 없는 넓은 시야각을 갖는 TFT-LCD을 실현할 수 있는 이점이 있다.-
公开(公告)号:KR1020060016423A
公开(公告)日:2006-02-22
申请号:KR1020040064849
申请日:2004-08-17
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor: 김현대
IPC: H01L21/027 , H01L29/768
CPC classification number: G03F7/0037 , B29C35/0805 , B29C2035/0827 , B29C2035/0838 , C23C14/042 , G03F7/2057
Abstract: 본 발명은 순차적 측면 고상화(SLS)용 마스크에 관한 것이다. 본 발명에 따른 순차적 측면 고상화용 마스크는, 슬릿이 상호 평행하게 일렬로 배치된 슬릿열 3개를 포함하거나 상기 슬릿열 2개와 슬릿이 형성되어 있지 않은 더미열 1개를 포함하는 슬릿열군을 적어도 3개 포함하며, 상기 슬릿열군은 상호 평행하게 배치되고, 상기 슬릿열군 중 최초의 슬릿열군은 상기 슬릿열 2개와 상기 더미열 1개를 포함하며, 상기 더미열은 상기 2개의 슬릿열의 사이에 위치하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여 레이저 샷 간의 에너지 편차에 따라 박막트랜지스터 특성의 편차가 인식되는 문제를 감소시킬 수 있다.
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公开(公告)号:KR1020010098269A
公开(公告)日:2001-11-08
申请号:KR1020000023111
申请日:2000-04-29
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L29/786
Abstract: 본 발명은 저온 다결정 실리콘형 박막트랜지스터 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 글래스 기판에 실리콘 예비막을 형성하는 단계와 상기 예비막의 다결정 실리콘화를 실시하는 단계가 구비되는 저온 다결정 실리콘형 박막 트랜지스터 제조 방법에 있어서, 산소를 실리콘층에 함유시키기 위한 산소 함유 처리 단계가 다결정 실리콘화 전에 더 구비되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면 박막트랜지스터에서 전하 캐리어의 이동도가 향상되면서 안정적이 되고 트랜지스터 동작 기능이 향상된다.-
公开(公告)号:KR100158649B1
公开(公告)日:1998-12-15
申请号:KR1019950045631
申请日:1995-11-30
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor: 김현대
IPC: G02F1/136
Abstract: 본 발명은 액정 표시 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 평면 구동 방식의 액정 표시 장치에 관한 것이다. 본 발명은 배선이 형성되어 있고 배향막이 형성되어 있지 않은 제 1 기판과 배선이 형성되어 있지 않고 러빙처리된 배향막이 형성되어 있는 제 2 기판 및 그 사이에 봉입되어 있는 액정 물질로 이루어져 있다. 제 1 기판에는 공통 전압을 인가받는 공통 전극이 세로로 형성되어 있고 게이트선이 가로로 형성되어 있으며, 공통 전극의 사이에는 세로로 형성되어 있는 화소전극이 형성되어 있다. 공통 전극위에는 게이트 절연층을 매개로 공통 전극을 따라 데이터선이 형성되어 있으며, 또, 한 단자는 게이트선과 연결되어 있고 다른 한 단자는 데이터선과 연결되어 있으며 나머지 한 단자는 화소 전극과 연결되어 있는 트랜지스터가 형성되어 있다. 이러한 구조를 통하여 본 발명은 시야각을 확장하면서도 개구율을 높인다.
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公开(公告)号:KR100147018B1
公开(公告)日:1998-09-15
申请号:KR1019940001460
申请日:1994-01-27
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G02F1/1337
Abstract: 본 발명은 액정표시소자(liquid crystal display device)에 관한 것으로, 배향재로 서로 다른 경도와 서로 다른 초기 배향각을 가지는 2종류 이상의 재료를 선택하여 액정표시소자 내의 화소부분(개구부)(26)과 금속배선부간, 또는 화소부분(개구부) 일부와 나머지 화소부 일부를 포함한 금속배선부간의 배향처리를 서로 다르게 하므로써(예컨대 스위칭소자가 형성된 부위는 단층 배향막으로 코팅처리하고, 화소부의 일부는 서로 다른 특성을 가지는 복수의 배향막으로 코팅처리하는 방법) 금속배선부로 부터 화소부에 미치는 전기력선의 영향을 감소시킬 수 있고, 1회의 배향막 분할 코팅과 2회의 배향처리공정을 이용한 3단계 공정을 채용하여 공정 단순화를 꾀할 수 있게 된다. 또한 금속배선부와 화소부간의 단차에 따른 배향불균일문제를 해결할 수 있으며, 동시에 광투과량이 온-오프비를 최대로 제어할 수 있고, 시야각 불량 현상등을 제거할 수 있는 고신뢰성의 액정표시소자를 실현할 수 있게 된다.
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公开(公告)号:KR1019960024576A
公开(公告)日:1996-07-20
申请号:KR1019940035630
申请日:1994-12-21
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor: 김현대
IPC: G02F1/1337
Abstract: 본 발명은 액정 표시 장치의 기판을 러빙할 때 사용되는 러빙용 천 및 그 사용 방법에 관한 것으로서, 털의 길이를 다르게 형성한 러빙용 천을 사용하여 러빙함으로써 기판과 액정 분자 사이의 경사각을 여러 가지로 형성하여 시야각을 확대하는 러빙 장치 및 방법에 관한 것이다.
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