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公开(公告)号：KR100646791B1
公开(公告)日：2006-11-17
申请号：KR1020000032504
申请日：2000-06-13
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L29/786
Abstract: 기판 위에 게이트선, 게이트 전극, 게이트 패드를 포함하는 게이트 배선과 유지 배선 및 유지 용량 전극을 형성한 후, 게이트 절연막, 반도체층 및 저항성 접촉층을 차례로 형성한다. 다음, 데이터선, 소스 전극, 드레인 전극 및 데이터 패드를 포함하는 데이터 배선을 형성하고, 보호막을 형성한다. 다음, 화소 전극, 보조 게이트 패드 및 보조 데이터 패드를 형성한다. 이때, 기판을 여섯 개의 영역으로 분할하고 스텝 앤드 리피트 방식으로 사진 식각 공정을 실시한다. 게이트 배선을 형성하기 위한 감광막 패턴을 형성할 때 화소 영역에 정렬 패턴을 함께 형성하여 다음 노광 시에 보정하여 오차를 줄일 수 있다
마스크, 노광, 오정렬, 스티치 불량-
公开(公告)号：KR100590750B1
公开(公告)日：2006-06-15
申请号：KR1019990007495
申请日：1999-03-08
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G02F1/136
Abstract: 제1 마스크를 사용하여 절연 기판 위에 게이트 전극을 형성하고, 그 위에 게이트 절연막, 반도체층, 고농도로 도핑된 반도체층인 접촉층 또는 중간층 및 도전체층을 연속 증착하고, 이어 저감도막 및 이 저감도막보다 감도가 1.5배 이상인 고감도막을 순차적으로 도포한다. 다음, 차광층이 빛의 투과량을 조절하여 감광막에 조사되는 노광량을 달리하기 위한 여러 영역으로 나뉘어 있는 제2 마스크를 이용하여 감광막을 노광하면, 차광층이 형성되어 있지 않는 제2 마스크 영역에 대응되는 부분에는 고감도 및 저감도 감광막의 전체 두께가 노광되고, 차광층이 형성되어 있는 제2 마스크 영역에 대응되는 부분에서는 전혀 노광이 일어나지 않아 이중 감광막이 그대로 남으며, 차광층에 슬릿 패턴이 형성되어 있는 제2 마스크 영역에 대응되는 부분에서는 고감도 감광막 만이 노광된다. 이와 같이 노광된 이중 감광막을 현상하여 감광막 패턴을 형성하고, 이 감광막 패턴을 애싱하여 하부의 도전체층을 드러낸 후 이를 패터닝하여 소스 및 드레인 전극, 즉 박막 트랜지스터의 채널부를 형성한다.
이중 감광막, 사진 식각, 액정 표시 장치, 박막 트랜지스터, 감광도, 마스크-
公开(公告)号：KR100529573B1
公开(公告)日：2006-02-08
申请号：KR1019980028830
申请日：1998-07-16
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G02F1/1333
Abstract: 메인 기판과 한 면에 홈이 패인 더미 기판을 대응시키고, 기판 면과 홈 사이에 존재하는 공기를 제거하여 두 기판을 압착시킨 상태에서 메인 기판 면에 박막 공정을 실시한다. 박막 공정을 마친 후, 질소나 공기 등을 두 기판의 압착 가장자리에 불어넣어 두 기판을 분리시킨다.
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公开(公告)号：KR100502793B1
公开(公告)日：2005-10-21
申请号：KR1019970048778
申请日：1997-09-25
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G02F1/136
Abstract: 수직 배향 액정 표시 장치의 박막 트랜지스터 기판 또는 컬러 필터 기판에 유기 절연막을 도포하고 줄무늬 패턴이 형성된 마스크를 이용하여 노광, 현상한다. 유기 절연막의 경우 현상 또는 식각 과정에서의 해상도가 떨어지기 때문에, 형성되는 패턴은 물결 모양이 된다. 액정 분자는 유기 절연막의 표면에 수직으로 배열되려는 경향을 가지고 있으므로 물결 모양으로 형성된 유기 절연막의 골 또는 마루의 양쪽에서 액정 분자의 기울어지는 방향이 반대로 된다. 따라서 골 또는 마루의 양쪽 영역의 광학 특성이 서로 보상되어 광시야각을 실현할 수 있다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020050004597A
公开(公告)日：2005-01-12
申请号：KR1020030044843
申请日：2003-07-03
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G02F1/13
Abstract: PURPOSE: A treatment apparatus for manufacturing an LCD(Liquid Crystal Display) is provided to reduce loss of a developing solution and uniformly supply the developing solution on the entire surface of a substrate by supplying the developing solution in a spray type. CONSTITUTION: A substrate(10) is supported by a supporter(100). A sprayer(30) sprays a developing treatment solution of spray state on the substrate, wherein the developing treatment solution has particles has sizes are less than 1mm and temperatures are ranging from 23 to 30°C. A treatment solution supply unit(40) supplies the developing treatment solution to the sprayer. A transfer unit(50) transfers the substrate and the sprayer relatively.
Abstract translation: 目的：提供一种用于制造LCD（液晶显示器）的处理装置，以减少显影液的损失，并通过以喷射式供给显影液将显影液均匀地供应到基板的整个表面上。 构成：衬底（10）由支撑件（100）支撑。 喷雾器（30）将喷雾状态的显影处理液喷射到基板上，其中显影处理溶液的粒径小于1mm，温度范围为23-30℃。 处理溶液供应单元（40）将显影处理溶液供应给喷雾器。 传送单元（50）相对地传送基底和喷雾器。
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公开(公告)号：KR1019990060022A
公开(公告)日：1999-07-26
申请号：KR1019970080240
申请日：1997-12-31
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 남효락
IPC: G02F1/133
Abstract: 본 발명은 액티브 영역이 제1 및 제2 숏을 포함하는 다수의 숏으로 분할 노광되어 형성되는 액정 표시 장치 패널로서, 제1 숏의 모서리 부분에는 인접하는 숏간의 정렬을 위해 사용되는 제1 정렬키가 형성되며, 제2 숏의 모서리 부분에는 제2 정렬키가 형성된다. 여기서, 제1 숏과 제2 숏은 동일한 마스크로 형성할 수 있으며, 이 경우 제1 숏과 제2 숏은 각각 직사각형 모양으로 형성하고, 제1 정렬키와 제2 정렬키를 각각 제1 숏과 제2 숏의 네 개의 모서리 부분에 형성하는 것이 바람직하다. 또한, 제1 숏과 제2 숏은 다른 마스크로 형성할 수도 있다. 이들 제1 정렬키와 제2 정렬키는 'ㄱ'자 모양으로 형성하는 것이 바람직하다.
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公开(公告)号：KR1019980076737A
公开(公告)日：1998-11-16
申请号：KR1019970013583
申请日：1997-04-14
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 남효락
IPC: G02F1/13
Abstract: 본 발명은 LCD 패널 표면에 금속이 함유되어 있는 순수를 분사하거나 LCD 패널을 금속이 함유되어 있는 순수에 담궈서 LCD 패널을 대전처리 함으로써 LCD 패널의 대전 처리 공정을 단순화시킬 수 있고, 또한, 제품 생산비를 절감할 수 있으며, LCD 패널의 수율이 저하되는 것을 방지할 수 있다.
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公开(公告)号：KR1019980031764A
公开(公告)日：1998-07-25
申请号：KR1019960051325
申请日：1996-10-31
Applicant: 삼성전자주식회사
Abstract: 본 발명에 의한 캐논 마스크는, 니콘장비를 이용하여 제1 투명기판 상에 서로 소정 간격 이격되도록 제1 차광막 패턴을 형성하는 공정과, 상기 제2 투명기판 상에 차광막과 감광막을 순차적으로 형성하는 공정과, 상기 제1 투명기판과 제2 투명기판을 상기 제1 차광막 패턴과 감광막이 서로 마주보도록 밀봉재를 이용하여 조립하는 공정과, 후면 노광을 실시하여 감광막 패턴을 형성한 후, 제1 차광막 패턴이 형성되어 있는 제1 투명기판을 제거하는 공정 및, 상기 감광막 패턴을 마스크로하여 제2 차광막 패턴을 형성하고, 상기 감광막 패턴을 제거하는 공정으로 이루어져, 종래의 캐논 마스크 제조시 소요되는 제작기간보다 짧은 기간 내에 국내제작이 가능하면서도 제조비용 또한 다운(down)시킬 수 있는 고신뢰성의 캐논 마스크를 구현할 수 있게 된다.
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公开(公告)号：KR1020050098358A
公开(公告)日：2005-10-12
申请号：KR1020040023366
申请日：2004-04-06
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G02F1/1339
Abstract: 표시품질을 향상시킬 수 있는 표시패널 및 이의 제조방법이 개시된다. 표시패널은 컬러필터기판 및 컬러필터기판과 마주하는 어레이 기판을 포함한다. 컬러필터기판과 어레이 기판과의 사이에는 이격 패턴이 개재된다. 컬러필터기판과 어레이 기판을 소정의 간격으로 이격시키기 위하여 이격 패턴의 양단부는 컬러필터기판과 어레이 기판에 양단부가 각각 접한다. 이때, 컬러필터기판과 어레이 기판 중 어느 하나와 접하는 이격 패턴의 일단부는 라운드 형상을 갖는다. 따라서, 외부로부터 가해지는 충격에 의해서 표시패널이 변형되는 것을 방지할 수 있고, 그 결과 표시패널의 표시품질을 향상시킬 수 있다.
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