公开(公告)号：KR1020040022803A

公开(公告)日：2004-03-18

申请号：KR1020020054333

申请日：2002-09-09

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 노효미 ,  박해진

IPC: G01N1/00

Abstract: PURPOSE: A test sample for a transmission electron microscope and a method for fabricating the same are provided to reduce manufacturing steps and manufacturing time for the test sample. CONSTITUTION: Analyzing points of four patterns formed on a semiconductor substrate are checked(S100). Then, a thin film is formed by cutting the semiconductor substrate in a predetermined size(S200). A dummy wafer is formed by cutting the thin film in a predetermined size(S300). Then, a mark is formed on a portion, on which an ion beam is radiated, so as to allow a worker to observe analyzing points of the patterns(S400). An adhesive material is coated on a second thin film formed with a second pattern(S500). A first preliminary test sample is fabricated by attaching a first thin film to the second thin film(S600). An adhesive material is coated on a fourth thin film formed with a fourth pattern(S700). Then, a second preliminary test sample is fabricated by attaching the third thin film to the fourth thin film(S800).

Abstract translation: 目的：提供用于透射电子显微镜的测试样品及其制造方法，以减少测试样品的制造步骤和制造时间。 检查：分析在半导体基板上形成的四个图案的点（S100）。 然后，通过以预定尺寸切割半导体衬底形成薄膜（S200）。 通过以预定尺寸切割薄膜来形成虚设晶片（S300）。 然后，在辐射离子束的部分上形成标记，以允许工作人员观察图案的分析点（S400）。 将粘合剂材料涂覆在形成有第二图案的第二薄膜上（S500）。 通过将第一薄膜附着到第二薄膜（S600）来制造第一初步测试样品。 将粘合剂材料涂布在形成有第四图案的第四薄膜上（S700）。 然后，通过将第三薄膜附接到第四薄膜来制造第二初步测试样品（S800）。