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公开(公告)号：KR100571778B1
公开(公告)日：2006-04-18
申请号：KR1020030086274
申请日：2003-12-01
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L29/00
Abstract: 본 발명에 따른 RF MEMS 스위치는 기판, 기판위에 설치된 최소한 하나의 신호선, 기판위에 설치된 최소한 하나의 정전 구동부, 기판에 설치되고 그라운드에 접지된 최소한 하나의 포스트, 그라운드에 접지된 최소한 하나의 피봇, 및 포스트를 수용하는 개구를 구비하고 정전 구동부의 동작에 따라 신호선과 접촉하거나 이격되도록 피봇에 지지된 도전성 스위치 패드를 구비한다. 본 발명의 RF MEMS 스위치의 제조방법은 실리콘 기판을 준비하는 단계, 실리콘 기판위에 신호선, 정전 구동 전극, 및 그라운드를 형성하는 단계, 실리콘 기판위에 피봇과 도전성 스위치 패드를 형성하는 단계, 및 실리콘 기판 위에 그라운드와 접속하고 도전성 스위치 패드를 피봇에 관하여 시소운동을 하도록 지지하는 포스트를 형성하는 단계를 포함한다. 본 발명의 RF MEMS 스위치는 결합, 변형 및 복원 구조를 사용하지 않고 간단히 동작하는 시소운동 구조를 가지므로, 구동 전압을 최소화할 수 있는 효과를 제공한다.
RF, MEMS, 스위치, 시소, 패드, 포스트-
公开(公告)号：KR1020050052734A
公开(公告)日：2005-06-07
申请号：KR1020030086274
申请日：2003-12-01
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L29/00
Abstract: 본 발명에 따른 RF MEMS 스위치는 기판, 기판위에 설치된 최소한 하나의 신호선, 기판위에 설치된 최소한 하나의 정전 구동부, 기판에 설치되고 그라운드에 접지된 최소한 하나의 포스트, 그라운드에 접지된 최소한 하나의 피봇, 및 포스트를 수용하는 개구를 구비하고 정전 구동부의 동작에 따라 신호선과 접촉하거나 이격되도록 피봇에 지지된 도전성 스위치 패드를 구비한다. 본 발명의 RF MEMS 스위치의 제조방법은 실리콘 기판을 준비하는 단계, 실리콘 기판위에 신호선, 정전 구동 전극, 및 그라운드를 형성하는 단계, 실리콘 기판위에 피봇과 도전성 스위치 패드를 형성하는 단계, 및 실리콘 기판 위에 그라운드와 접속하고 도전성 스위치 패드를 피봇에 관하여 시소운동을 하도록 지지하는 포스트를 형성하는 단계를 포함한다. 본 발명의 RF MEMS 스위치는 결합, 변형 및 복원 구조를 사용하지 않고 간단히 동작하는 시소운동 구조를 가지므로, 구동 전압을 최소화할 수 있는 효과를 제공한다.
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