웨이퍼 번인 테스트 회로
    1.
    发明公开
    웨이퍼 번인 테스트 회로 无效
    晶圆老化测试电路

    公开(公告)号:KR1019990049863A

    公开(公告)日:1999-07-05

    申请号:KR1019970068867

    申请日:1997-12-15

    Abstract: 제 1 내지 제 2 전압을 입력하여 이에 따라 해당되는 레벨을 가지는 제 1 내지 제 2 신호를 발생시켜 출력하는 신호 발생부; 제 1 내지 제 2 전압, 및 제어 신호를 입력하여 이에 따라 해당되는 워드 라인들을 선택적으로 인에이블 시키는 워드 라인 구동부, 워드 라인 구동부에 의해서 선택되어진 워드 라인들에 할당된 메모리 셀들에 접속되어 있는 비트 라인 및 반전 비트 라인들에 스트레스 전압을 인가하기 위한 스트레스 신호를 발생하는 스트레스 신호 발생부, 외부로부터 인가되는 특정 어드레스 신호를 입력하여 이에 따라 복수의 비트 라인들과 복수의 반전 비트 라인들을 등전위시키기 위한 등전위 제어 신호를 선택적으로 조정하여 발생하는 등전위 제어 신호 발생부, 및 신호 발생부로부터 출력되는 제 1 내지 제 2 신호를 입력하여 모든 워드 라인들이 인에이블 되어 있는 것을 감지하고, 등전위 제어 신호가 디스에이블 되어 있는 것을 감지하여, 이에 따라 마스터 신� �를 인에이블 시켜 출력하는 마스터 신호 발생부를 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 번인 테스트 회로가 개시되어 있다. 본 발명에 의하면, 센싱 스트레스 모우드에 대하여 등전위 제어 신호와 마스터 신호가 외부로부터 인가되는 특정 TTL 어드레스 신호에 의해 선택적으로 설정 되므로, 적용가능한 번인 타이밍의 선택성이 향상되는 효과를 가진다.

Patent Agency Ranking