公开(公告)号：KR1020060013025A

公开(公告)日：2006-02-09

申请号：KR1020040061794

申请日：2004-08-05

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 마슬로우레오니드 ,  유진규 ,  김철순

IPC: B82B3/00 ,  B82B1/00 ,  B25J19/02 ,  B25J19/00

CPC classification number: B82B3/0004 ,  B25J19/00 ,  B25J19/02 ,  B82B3/0095 ,  B82Y40/00

Abstract: 본 발명은 정전기적으로 구동되는 적어도 두 개의 나노 튜브가 프로브 팁에 장착된 나노 집게를 개시한다. 본 발명에 따른 나노 집게는, 테이퍼진 팁이 일측 단부로부터 축방향으로 돌출하여 형성된 도전성 프로브; 상기 프로브 표면의 적어도 일부에 형성된 절연층; 상기 프로브 표면의 절연층 상에 형성된 적어도 하나의 전극; 상기 전극과 연결되며, 상기 프로브 팁 보다 더 돌출하도록 상기 절연층 상에 부착된 적어도 두 개의 전도성 나노 소자; 및 상기 도전성 프로브 및 전극에 각각 전압을 공급하기 위한 전원;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
주사터널현미경(STM), 원자력현미경(AFM), 프로브, 나노 집게, 탄소나노튜브, 정전기력, 나노 물질

公开(公告)号：KR100695167B1

公开(公告)日：2007-03-14

申请号：KR1020060001122

申请日：2006-01-04

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 마슬로우레오니드 ,  유진규 ,  김철순

IPC: H01L27/115 ,  H01L21/8247 ,  B82Y10/00

公开(公告)号：KR100601962B1

公开(公告)日：2006-07-14

申请号：KR1020040061794

申请日：2004-08-05

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 마슬로우레오니드 ,  유진규 ,  김철순

IPC: B82B3/00 ,  B82B1/00 ,  B25J19/02 ,  B25J19/00

Abstract: 본 발명은 정전기적으로 구동되는 적어도 두 개의 나노 튜브가 프로브 팁에 장착된 나노 집게를 개시한다. 본 발명에 따른 나노 집게는, 테이퍼진 팁이 일측 단부로부터 축방향으로 돌출하여 형성된 도전성 프로브; 상기 프로브 표면의 적어도 일부에 형성된 절연층; 상기 프로브 표면의 절연층 상에 형성된 적어도 하나의 전극; 상기 전극과 연결되며, 상기 프로브 팁 보다 더 돌출하도록 상기 절연층 상에 부착된 적어도 두 개의 전도성 나노 소자; 및 상기 도전성 프로브 및 전극에 각각 전압을 공급하기 위한 전원;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
주사터널현미경(STM), 원자력현미경(AFM), 프로브, 나노 집게, 탄소나노튜브, 정전기력, 나노 물질