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公开(公告)号：KR1019970030594A
公开(公告)日：1997-06-26
申请号：KR1019950041918
申请日：1995-11-17
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/68
Abstract: 본 발명은 인터메디에이트 캐리어가 안착되는 안착부와 소프트 로더 헤드 조립체에 고정하기 위한 고정부를 구비하여 다수개의 웨이퍼가 정렬된 인터메디에이트 캐리어를 공정 튜브내에 로딩 및 언로딩시키는 반도체 웨이퍼 로딩용 캐리어에 관한 것으로, 상기 안착부의 끝단부에 경사면이 형성되고, 인터메디에이트 캐리어의 안착시 접촉되는 상단을 편평하게 형성하며, 상기 소프트 로더 헤드 조립체에 고정되는 상기 고정부의 두께를 다른 부분보다 두껍게 형성하여 구성된 것이다. 따라서 인터메디에이트 캐리어의 로딩시 파티클 생성을 방지할 수 있어 수율을 향상시킬 수 있고, 고정부에 집중하중이 작용하여도 균열이나 파손됨이 없이 지탱할 수 있는 효과가 있다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100161626B1
公开(公告)日：1999-02-01
申请号：KR1019950041918
申请日：1995-11-17
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/68
Abstract: 본 발명은 인터메디에이트 캐리어가 안착되는 안착부와 소프트 로더 헤드 조립체에 고정하기 위한 고정부를 구비하여 다수개의 웨이퍼가 정렬된 인터메디에이트 캐리어를 공정 튜브내에 로딩 및 언로딩시키는 반도체 웨이퍼 로딩용 캐리어에 관한 것으로, 상기 안착부의 끝단부에 경사면이 형성되고, 인터메디에이트 캐리어의 안착시 접촉되는 상단을 편평하게 형성하며, 상기 소프트 로더 헤드 조립체에 고정되는 상기 고정부의 두께를 다른 부분보다 두껍게 형성하여 구성된 것이다. 따라서 인터메디에이트 캐리어의 로딩시 파티클 생성을 방지할 수 있어 수율을 향상시킬 수 있고, 고정부에 집중하중이 작용하여도 균열이나 파손됨이 없이 지탱할 수 있는 효과가 있다.
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公开(公告)号：KR2019970060019U
公开(公告)日：1997-11-10
申请号：KR2019960006852
申请日：1996-04-01
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H04B3/02
Abstract: 휴대용단말기의본체에상기케이블의제1접속단부가접속되고, 확산로장비의본체에분리할수 있는케이블의제2접속단부가접속되는확산로장비의휴대용단말기에대하여기재되어있다. 이는휴대용단말기의본체로부터분리할수 있도록케이블의제1접속단부를구비하는것을특징으로하는확산로장비의휴대용단말기를제공한다. 이로써, 제1접속수단내에서전기적인고장이발생할때, 보다간편하게수리할수 있어전체적인장비의수명을연장할수 있으며, 경제적으로는원가절감의효과를얻을수 있다.
Abstract translation: 和连接到所述移动终端的主体中的电缆的第一连接端部，并传播该第二连接端部被连接到可作为相对于所描述的便携式终端设备的扩散分离设备的主体中的电缆。 并且，电缆的第一连接端设置成可从便携式终端的主体拆卸。 结果，当第一连接装置发生电气故障时，可以更容易地进行修理，从而延长整个设备的使用寿命并且经济地降低成本。
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公开(公告)号：KR100303398B1
公开(公告)日：2001-12-01
申请号：KR1019980043281
申请日：1998-10-16
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 문정곤
IPC: H01L21/02
Abstract: 목적 : 본 발명은 웨이퍼의 이송이 완료된 시점에서 부압의 영향이 완전히 소멸되게 하여 웨이퍼가 쉽게 탈락될 수 있게 개선한 웨이퍼 반송 장치의 트위저를 제공한다.
구성 : 본 발명은 기대를 왕복이동 하는 헤드를 갖추고 있고, 상기 헤드에다수의 트위저가 수직으로 배열되어 웨이퍼를 진공 흡착할 수 있는 구성으로 된 웨이퍼 반송장치에 있어서, 상기 트위저의 몸체에 뚫려 있는 흡기공의 일정 반경 범위를 제외한 외측으로 홈을 다수 형성하여 상기 몸체와 웨이퍼의 후면 사이가 비면 접촉으로 되게 한 구성으로 된 것이다.
효과 : 본 발명은 트위저 몸체의 흡기공을 통해 웨이퍼로 가해지는 부압이 소멸되는 순간에 웨이퍼가 트위저로부터 탈락되어 보트 또는 웨이퍼 카세트로 이재됨에 따라 웨이퍼의 반송이 확실하게 이루어져 이송 과정에서의 웨이퍼 손상율을 낮출 수 있다.-
公开(公告)号：KR1020000025958A
公开(公告)日：2000-05-06
申请号：KR1019980043281
申请日：1998-10-16
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 문정곤
IPC: H01L21/02
Abstract: PURPOSE: A wafer carrier device completely removes a negative pressure at a wafer carrying completion time point, and easily separates the wafer. CONSTITUTION: A wafer carrier device has a reciprocating head. Many devices are vertically arranged on the head, and performs a vacuum absorption about the wafer(40). Many grooves(38) are formed to an outer part excepting a constant radius range of intake hole(34) formed on the body of the device. The body(30) is dome-contacted with a rear side of the wafer(40). Thereby, the wafer carrier device completely removes a negative pressure at a wafer carrying completion time point, easily separates the wafer, and reduces a wafer damage ration when carrying.
Abstract translation: 目的：晶片载体器件完全消除了晶片承载完成时间点的负压，并且容易分离晶片。 构成：晶片载体装置具有往复式头部。 许多装置垂直地布置在头部上，并且围绕晶片（40）执行真空吸收。 除了形成在装置本体上的进气孔（34）的恒定半径范围之外，许多凹槽（38）形成于外部。 主体（30）与晶片（40）的后侧穹顶接触。 因此，晶片载体装置完全消除了载有完成时间点的晶片上的负压，容易地分离晶片，并且在携带时减小了晶片损坏比。
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