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公开(公告)号：KR1020080050842A
公开(公告)日：2008-06-10
申请号：KR1020060121646
申请日：2006-12-04
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: A47L15/0028 , A47L15/4287 , A47L15/4297
Abstract: A washing control method of a dishwasher is provided to achieve effective washing performance of dishes by measuring turbidity of rinsing water, determining the frequency of washing cycle and adjusting temperature for the rinsing water based on the frequency. A washing control method of a dishwasher comprises the steps of: measuring turbidity of rinsing water while a cycle for washing dishes using the rinsing water is in progress(S206); determining the frequency of the washing cycle based on the measured turbidity of rinsing water, according to a difference between the measured turbidity of rinsing water with a reference value if the measured turbidity of rinsing water is greater than the reference value(S208,S210); and adjusting temperature of the rinsing water according to the determined frequency of washing cycle.
Abstract translation: 提供了一种洗碗机的洗涤控制方法，通过测量冲洗水的浊度，确定洗涤周期的频率和基于频率来调整漂洗水的温度来实现碟子的有效洗涤性能。 一种洗碗机的洗涤控制方法，其特征在于，包括以下步骤：在进行洗涤水的洗涤循环的同时测量冲洗水的浊度（S206）。 根据所测量的漂洗水浊度，根据所测量的漂洗水浊度与参考值之间的差异确定洗涤循环的频率，如果所测量的漂洗水的浊度大于参考值（S208，S210）; 并根据确定的洗涤周期频率调节冲洗水的温度。
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公开(公告)号：KR1020060134534A
公开(公告)日：2006-12-28
申请号：KR1020050054294
申请日：2005-06-23
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 박봉진
IPC: H01L21/3065
CPC classification number: H01J37/32449 , H01L21/67069
Abstract: A system for supplying process gas is provided to enable inspection of real gas supplied to a process chamber by naked eyes by installing a flow meter capable of checking whether process gas is supplied to the process chamber. Various kinds of reaction gas are supplied through a plurality of individual supply lines. A plurality of valves, pressure adjusting units(112,122,132) and mass flow controllers(117,127,137) are installed in the individual supply lines. The various kinds of reaction gas supplied from the individual supply lines are unified to be a unified supply line so that process gas in which the various kinds of reaction gas supplied from the individual supply lines are mixed is generated, wherein the unified supply line supplies the process gas to a process chamber(160) through a delivery valve(150). A flow meter(140) is installed in a connection part of the individual supply lines and the unified supply line to monitor a supply state of the process gas. The flow meter includes a circular rotation plate which varies a rotation speed and a rotation direction according to the quantity and flow direction of the process gas.
Abstract translation: 提供了一种用于提供处理气体的系统，以便能够通过安装能够检查处理气体是否被供应到处理室的流量计来检查通过肉眼提供给处理室的实际气体。 各种反应气体通过多条单独的供给管路供给。 多个阀，压力调节单元（112,122,132）和质量流量控制器（117,127,137）安装在单独的供应管线中。 从各个供给管路供给的各种反应气体被统一为统一的供给管线，从而生成从各个供给管路供给的各种反应气体混合的处理气体，其中，统一的供给管线 通过输送阀（150）将处理气体处理到处理室（160）。 流量计（140）安装在单独的供应管线和统一的供应管线的连接部分中，以监测处理气体的供应状态。 流量计包括根据处理气体的量和流动方向改变转速和旋转方向的圆形旋转板。
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公开(公告)号：KR100541540B1
公开(公告)日：2006-01-12
申请号：KR1019990035682
申请日：1999-08-26
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 박봉진
IPC: H01L21/68
Abstract: 반도체 제조공정의 플라즈마를 이용한 건식 식각시 구형 파티클 발생을 억제할 수 있도록 개선된 구조를 갖는 반도체 전 공정(前 工程) 장비의 정전 척(ESC; Electro Static Chuck)이 개시된다. 본 발명은 전위차에 의한 정전기를 이용하여 웨이퍼를 클램핑하는 정전 척(ESC)의 플랫존(Flatzone) 부위에서 발생하는 공정 불량 및 구형 파티클의 발생을 억제할 수 있도록 ESC가 전체적으로 둥글게 원형이 되도록 상기 플랫존 부위에 부도체를 접합시켜 구성된다. 또한, 상기 부도체에 의해 전체적으로 원형 구조를 갖는 ESC의 전 표면을 양극 산화(anodizing) 처리를 함으로써, 플라즈마 공정 시, RF(radio frequency)에 의한 ESC의 아크 발생(arcing)에 의한 손상(damage)을 줄이고, 고가인 ESC의 수명을 연장시킨다.
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公开(公告)号：KR1020010019336A
公开(公告)日：2001-03-15
申请号：KR1019990035682
申请日：1999-08-26
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 박봉진
IPC: H01L21/68
Abstract: PURPOSE: An electrostatic chuck(ESC) of a semiconductor wafer is provided to minimize a process defect caused by a difference of a remnant thickness generated in a flat zone, by changing an edge portion of the flat zone of the ESC, and by rounding the entire surface of the ESC, so that radio frequency(RF) power is uniformly distributed in the ESC. CONSTITUTION: An electrostatic chuck(ESC)(200) is formed by adhering a non-conducting material(250) to a portion of a flat zone to round the entire ESC, so that a process defect and a spherical particle generated in the portion of the flat zone are controlled. The ESC is made of a ceramic material. An anode oxide layer is formed on the entire surface of the ESC having a circular structure by anodizing, to prevent the ESC from being damaged by arcing and to extend a lifetime of the ESC.
Abstract translation: 目的：提供半导体晶片的静电卡盘（ESC），以通过改变ESC的平坦区域的边缘部分来最小化由平坦区域中产生的残余厚度的差异引起的工艺缺陷，并且通过将 ESC的整个表面，使得射频（RF）功率均匀分布在ESC中。 构成：通过将非导电材料（250）粘附到平坦区域的一部分以围绕整个ESC而形成静电卡盘（ESC）（200），使得在该部分中产生的工艺缺陷和球形颗粒 平坦区域受到控制。 ESC由陶瓷材料制成。 在具有圆形结构的ESC的整个表面上通过阳极氧化形成阳极氧化层，以防止ESC被电弧放电损坏并延长ESC的寿命。
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公开(公告)号：KR100281350B1
公开(公告)日：2001-02-01
申请号：KR1019980029585
申请日：1998-07-23
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G02B6/00
Abstract: 본 발명은 광섬유증폭장치(EDFA : Erbium Doped Fiber Amplifier)에서 여기광원으로 사용되는 펌프 레이저다이오드(pump laser diode)의 출력을 자동조정하는 장치에 관한 것이다. 따라서, 본 발명은 광섬유증폭장치의 출력단측에 위치한 포토다이오드(photo diode)를 이용한 첫 번째 피이드백 제어경로와, 상기 펌프 레이저다이오드에 내장된 펌프 레이저 다이오드 내부 포토다이오드를 이용한 두 번째 피이드백 제어경로를 각각 선택하고, 그 선택된 피이드백 제어경로를 통해 검출되는 출력 광신호의 세기에 의거하여 상기 펌프 레이저다이오드의 출력 여기 광신호의 크기를 아날로그 이중 자동조정방식 또는 디지털 이중 자동조정방식으로 조정함으로써, 광섬유증폭장치의 최종 출력단으로 출력되는 광신호를 안정화 시킬 수 있다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1019990023229A
公开(公告)日：1999-03-25
申请号：KR1019980029585
申请日：1998-07-23
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G02B6/00
Abstract: 본 발명은 광섬유증폭장치(EDFA : Erbium Doped Fiber Amplifier)에서 여기광원으로 사용되는 펌프 레이저다이오드(pump laser diode)의 출력을 자동조정하는 장치에 관한 것이다. 따라서, 본 발명은 광섬유증폭장치의 출력단측에 위치한 포토다이오드(photo diode)를 이용한 첫 번째 피이드백 제어경로와, 상기 펌프 레이저다이오드에 내장된 펌프 레이저 다이오드 내부 포토다이오드를 이용한 두 번째 피이드백 제어경로를 각각 선택하고, 그 선택된 피이드백 제어경로를 통해 검출되는 출력 광신호의 세기에 의거하여 상기 펌프 레이저다이오드의 출력 여기 광신호의 크기를 아날로그 이중 자동조정방식 또는 디지털 이중 자동조정방식으로 조정함으로써, 광섬유증폭장치의 최종 출력단으로 출력되는 광신호를 안정화 시킬 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020080067127A
公开(公告)日：2008-07-18
申请号：KR1020070004312
申请日：2007-01-15
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: A47L15/48
CPC classification number: A47L15/486 , A47L15/488
Abstract: A dishwasher is provided to circulate the air in a washing tub to a circulation fan and to cool the condensation duct in order to condensate the moisture contained in the air effectively and to dry the dishes rapidly. A dishwasher has a drying device(20). The driving device has a condensation duct(21), and a circulating fan(22). The circulating fan circulates the air in a washing tub to the condensation duct. The condensation duct has an inlet(21a) and an outlet(21b). The drying device has a cooling device(30). The cooling device includes a cooling duct, and a coolant supply pipe(32). An upper surface of the cooling duct has a water supply hole(31a) and a drain hole(31b). Guide ribs(31c) are formed at two walls in the cooling duct.
Abstract translation: 提供了一种洗碗机，用于将洗涤桶中的空气循环到循环风扇中并冷却冷凝管，以有效地冷凝空气中的水分并快速干燥盘子。 洗碗机具有干燥装置（20）。 驱动装置具有冷凝管（21）和循环风扇（22）。 循环风扇将洗涤桶中的空气循环到冷凝管。 冷凝管具有入口（21a）和出口（21b）。 干燥装置具有冷却装置（30）。 冷却装置包括冷却管道和冷却剂供应管道（32）。 冷却管道的上表面具有供水孔（31a）和排水孔（31b）。 引导肋（31c）形成在冷却管道中的两个壁处。
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公开(公告)号：KR1020080051369A
公开(公告)日：2008-06-11
申请号：KR1020060122309
申请日：2006-12-05
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: A47L15/0021 , A47L15/4297 , A47L2301/04 , A47L2401/10 , A47L2501/26 , A47L2501/30
Abstract: An apparatus and method of washing control of a dishwasher are provided to prevent waste of rinsing water while reducing unnecessary rinsing cycle by measuring turbidity of rinsing water of previous cycle for determining the next course to be carried out. A method of washing control of a dishwasher comprises the steps of: discriminating if an auto-rinse course is selected by a user(S200); measuring turbidity of rinsing water while the auto-rinse course is on progress(S208); and selecting a course for the next cycle based on the measured turbidity of rinsing water by comparing the turbidity of rinsing water with a reference value, wherein current cycle on progress is completed and a course for the next cycle is selected, if the measured turbidity of rinsing water is below the reference value(S210,S216).
Abstract translation: 提供洗碗机的洗涤控制的装置和方法，以便通过测量上次循环的漂洗水的浊度来确定下一个进程，同时减少不必要的漂洗周期，从而浪费冲洗水。 一种洗碗机洗涤控制方法，包括以下步骤：鉴别用户是否选择自动冲洗过程（S200）; 在自动冲洗过程进行时测量冲洗水的浊度（S208）; 以及通过将冲洗水的浊度与参考值进行比较来选择冲洗水的浊度，其中当前循环进行完成并且选择下一个循环的过程，如果测量的浊度为 冲洗水低于参考值（S210，S216）。
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公开(公告)号：KR1020080050838A
公开(公告)日：2008-06-10
申请号：KR1020060121638
申请日：2006-12-04
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: A47L15/0026 , A47L15/4297
Abstract: A washing control method of a dishwasher is provided to determine whether to continue extra washing cycle by measuring turbidity of rinse water and comparing it with reference dirtiness. A washing control method of a dishwasher comprises the steps of: measuring turbidity of rinse water during a washing cycle which washes dishes using the rinse water(S208); comparing the measured turbidity of rinse water with a reference value of dirtiness for continuing an extra washing cycle if the measured turbidity of rinse water is greater than the reference value(S210,S214); finishing the washing cycle if the measured turbidity of rinse water is below the reference value(S212).
Abstract translation: 提供洗碗机的洗涤控制方法，以通过测量漂洗水的浊度并将其与参考污物进行比较来确定是否继续额外的洗涤循环。 洗碗机的洗涤控制方法包括以下步骤：在洗涤循环期间测量冲洗水的浊度，其中洗涤水使用冲洗水洗涤餐具（S208）; 将测得的漂洗水浊度与污垢的参考值进行比较，以便如果测量的漂洗水的浊度大于参考值（S210，S214），则继续进行额外的洗涤循环。 如果冲洗水的浊度低于参考值，则完成洗涤循环（S212）。
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公开(公告)号：KR1020070016738A
公开(公告)日：2007-02-08
申请号：KR1020050071681
申请日：2005-08-05
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 박봉진
IPC: H01L21/02 , H01L21/205
Abstract: 밀봉링에 부착된 반응부산물에 의해 웨이퍼의 표면에 스크래치가 발생하는 것을 방지하는 밀봉링을 구비하는 반도체소자의 제조장치를 제공한다. 그 장치는 튜브의 가장자리를 따라 형성되고 돌기가 형성된 노출면을 갖는 밀봉링 및 튜브와 대응되어 배치되어 튜브에 의해 밀봉되며, 웨이퍼가 장착되는 몸체를 포함한다.
밀봉링, 스크래치, 돌기, 튜브
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