마이크로 렌즈 어레이의 제조방법
    1.
    发明授权
    마이크로 렌즈 어레이의 제조방법 失效
    微透镜阵列的制作方法

    公开(公告)号:KR100561874B1

    公开(公告)日:2006-03-17

    申请号:KR1020050075676

    申请日:2005-08-18

    Abstract: 종래의 마이크로렌즈 어레이 제작방법에 비하여 정밀한 곡면을 얻을 수 있고, 높은 개구수(Numerical Aperture)와 낮은 수차 등, 광학적 성능이 우수한 마이크로렌즈 어레이를 제작하는 방법이 개시된다. 개시된 방법은: 가) 기판의 일면에 포토리소그래피를 이용하여 낮은 원통상(cylindrical)의 포토레지스트 마스크를 형성하는 단계; 나) 상기 마스크를 가열에 의해 리플로우 시켜 마이크로 렌즈에 대응하는 형상으로 형성하는 단계; 다) 플라즈마 에칭에 의해 상기 마스크의 형상을 상기 기판의 표면으로 전사하여 마이크로렌즈를 상기 기판 상에 형성하는 단계; 라) 상기 마이크로 렌즈의 표면 상에 상기 마이크로 렌즈의 곡면을 보상하는 표면 형상을 가지는 포토레지스트를 형성하는 단계; 마) 상기 포토레지스트를 플라즈마 에칭하여 상기 포토레지스트의 곡면형상을 상기 마이크로 렌즈의 표면으로 전사하는 단계;를 포함한다.
    마이크로렌즈 어레이, 플라즈마 에칭

    평판형 렌즈의 제조방법
    2.
    发明公开
    평판형 렌즈의 제조방법 失效
    平面镜片及其制造方法

    公开(公告)号:KR1020040042381A

    公开(公告)日:2004-05-20

    申请号:KR1020020070662

    申请日:2002-11-14

    CPC classification number: G02B3/08 G02B5/1814

    Abstract: PURPOSE: A flat lens and a manufacturing method thereof are provided to apply to a small drive using an optical disc under a diameter of 30 millimeters and a device using a semiconductor laser of the blue wavelength as a recording/playing light source. CONSTITUTION: An objective lens(10) has a structure installing a lens element(11) in a lens receiving groove(12a) having a non-spherical or spherical concaved surface formed at a center on a substrate(12). The lens element has the first surface matched with a bottom surface of the lens receiving groove and the second surface opposite to the first surface. The first surface is a reflecting surface(11b) having a spherical or non-spherical curved surface matched with a bottom shape of the receiving groove. The second surface includes a diffracting surface(11a) having a diffracting grid pattern.

    Abstract translation: 目的:提供一种平板透镜及其制造方法,用于使用直径为30毫米的光盘和使用蓝色波长的半导体激光的装置作为记录/播放光源的小型驱动器。 构成:物镜(10)具有将透镜元件(11)安装在具有形成在基板(12)的中心的非球面或球面凹面的透镜容纳槽(12a)中的结构。 透镜元件具有与透镜容纳槽的底表面和与第一表面相对的第二表面匹配的第一表面。 第一表面是具有与接收槽的底部形状相匹配的球形或非球形曲面的反射面(11b)。 第二表面包括具有衍射网格图案的衍射面(11a)。

    고 개구수를 가지는 하이브리드 렌즈
    3.
    发明公开
    고 개구수를 가지는 하이브리드 렌즈 失效
    具有高数值孔径的混合镜

    公开(公告)号:KR1020040041735A

    公开(公告)日:2004-05-20

    申请号:KR1020020069593

    申请日:2002-11-11

    Abstract: PURPOSE: A hybrid lens having a high numerical aperture is provided to remove the color aberration by providing a diffraction surface capable of defining the profile by using a formula and to easily manufacture the hybrid lens with a high numerical aperture. CONSTITUTION: A hybrid lens(31) having a high numerical aperture includes a refractive surface(31a) and a diffractive surface(31b). The refractive surface(31a) is capable of refracting the input light as an incidence plane. And, the diffractive surface(31b) is designed based on a focal distance fD between the central peak of the lens and the focal point, a height r from the central axis of the lens to each peak, a refractive index n of the lens and the wavelength λ.

    Abstract translation: 目的:提供具有高数值孔径的混合透镜,通过使用公式提供能够限定轮廓的衍射表面并且容易地制造具有高数值孔径的混合透镜来消除色差。 构成:具有高数值孔径的混合透镜(31)包括折射面(31a)和衍射面(31b)。 折射面(31a)能够折射输入光作为入射面。 并且,基于透镜的中心峰与焦点之间的焦距fD,从透镜的中心轴到每个峰的高度r,透镜的折射率n和透镜的折射率n来设计衍射面(31b) 波长λ。

    마이크로 렌즈 어레이의 제조방법
    4.
    发明授权
    마이크로 렌즈 어레이의 제조방법 失效
    微透镜阵列的制作方法

    公开(公告)号:KR100537505B1

    公开(公告)日:2005-12-19

    申请号:KR1020030005197

    申请日:2003-01-27

    CPC classification number: G02B3/0018 G02B3/0068 G03F7/0005 G03F7/0035 G03F7/40

    Abstract: 종래의 마이크로렌즈 어레이 제작방법에 비하여 정밀한 곡면을 얻을 수 있고, 높은 개구수(Numerical Aperture)와 낮은 수차 등, 광학적 성능이 우수한 마이크로렌즈 어레이를 제작하는 방법이 개시된다. 개시된 방법은: 가) 기판의 일면에 포토리소그래피를 이용하여 원통상(cylindrical)의 포토레지스트 마스크를 형성하는 단계; 나) 상기 마스크를 가열에 의해 리플로우시켜 마이크로 렌즈에 대응하는 형상으로 형성하는 단계; 다) 상기 마스크의 곡면 형상을 보상하기 위해 상기 마스크는 소정의 패턴으로 노광한 후 이를 현상하는 단계; 그리고 라) 플라즈마 에칭에 의해 곡면이 보상된 상기 마스크의 형상을 상기 기판의 표면으로 전사하여 상기 마스크에 대응하는 형상의 마이크로 렌즈를 상기 기판 상에 형성하는 단계;를 포함한다.

    평판형 렌즈의 제조방법
    5.
    发明授权
    평판형 렌즈의 제조방법 失效
    平面透镜的制作方法

    公开(公告)号:KR100486727B1

    公开(公告)日:2005-05-03

    申请号:KR1020020070662

    申请日:2002-11-14

    CPC classification number: G02B3/08 G02B5/1814

    Abstract: 제작 및 조립이 용이하고 색수차의 보상이 가능한 평판형 렌즈의 제조방법이 개시된다. 개시된 평판형 렌즈의 제조방법은: 가) 기판에 소정 깊이의 렌즈 수용홈을 형성하는 단계; 나) 스핀 코팅 및 건조과정을 포함하는 졸-겔법에 의해 상기 렌즈 수용홈에 렌즈 형성물질을 채워넣는 단계; 다) 상기 렌즈 형성물질의 표면에 회절패턴을 형성하는 단계;를 포함한다

    광픽업 액츄에이터 및 이를 채용한 광디스크 드라이브
    6.
    发明公开
    광픽업 액츄에이터 및 이를 채용한 광디스크 드라이브 有权
    光拾取执行器和光盘驱动器采用光学拾取执行器,特别是在安装悬架支撑基板上的刀片时,特别适用于减轻空间限制

    公开(公告)号:KR1020040103684A

    公开(公告)日:2004-12-09

    申请号:KR1020030035305

    申请日:2003-06-02

    CPC classification number: G11B7/0933 G11B7/0932 G11B7/0935

    Abstract: PURPOSE: An optical pickup actuator and an optical disk drive adopting the optical pickup actuator are provided to separate coils to obtain a degree of freedom when installing a hinge unit connected with a suspension wire on a blade, thereby enabling a stable supporting of the blade on a base. CONSTITUTION: One pair of magnets(180) are comprised on a base(100) as magnetic members. A blade(110) has the first coils(130), the second coils(140), and the third coils(150). The first coils(130) include one pair of coils(131,132) disposed in X direction(the first direction) to be symmetrical with each other on an objective lens(120). The second coils(140) generate electromagnetic forces in tracking direction by a mutual interaction with the magnets(180). The third coils(150) are used to surround an external side of the blade(110).

    Abstract translation: 目的:采用光学拾音器执行机构的光学拾取器致动器和光盘驱动器设置成分离线圈,以将与悬挂线连接的铰链单元安装在叶片上时获得自由度,从而能够使叶片稳定地支撑 一个基地 构成:一对磁体(180)作为磁性构件包括在基座(100)上。 刀片(110)具有第一线圈(130),第二线圈(140)和第三线圈(150)。 第一线圈(130)包括在物镜(120)上彼此对称的在X方向(第一方向)上设置的一对线圈(131,132)。 第二线圈(140)通过与磁体(180)的相互作用而在跟踪方向上产生电磁力。 第三线圈(150)用于围绕叶片(110)的外侧。

    하이브리드 마이크로렌즈 어레이 제조방법
    7.
    发明授权
    하이브리드 마이크로렌즈 어레이 제조방법 失效
    混合微透镜阵列的制造方法

    公开(公告)号:KR100519769B1

    公开(公告)日:2005-10-07

    申请号:KR1020030027544

    申请日:2003-04-30

    Abstract: 마이크로렌즈 어레이 제조방법이 개시된다. 개시된 마이크로렌즈 어레이 제조방법은, 기판에 복수개의 호울을 형성한 다음, 상기 호울 내에 복수개의 볼렌즈를 삽입하는 단계; 상기 볼렌즈의 상부에 용융된 글라스를 주입하여 경화시킨 다음, 상기 기판, 볼렌즈 및 글라스를 연마하는 단계; 상기 단계에서 형성된 구조체를 상하부 역전시킨 다음, 연마되지 않은 볼렌즈의 표면에 폴리머를 도포하고 비구면 금형으로 압착하는 단계; 및 상기 폴리머에 광선을 조사하여 경화시킨 다음 상기 금형을 제거하고 연마한 면을 다시 연마하는 단계;를 포함한다. 마이크로렌즈를 고 광학정밀도를 가지고 저가로 대량생산할 수 있다.

    마이크로 렌즈 어레이의 제조방법
    8.
    发明公开
    마이크로 렌즈 어레이의 제조방법 失效
    微阵列的制造方法

    公开(公告)号:KR1020050088064A

    公开(公告)日:2005-09-01

    申请号:KR1020050075676

    申请日:2005-08-18

    Abstract: 종래의 마이크로렌즈 어레이 제작방법에 비하여 정밀한 곡면을 얻을 수 있고, 높은 개구수(Numerical Aperture)와 낮은 수차 등, 광학적 성능이 우수한 마이크로렌즈 어레이를 제작하는 방법이 개시된다. 개시된 방법은: 가) 기판의 일면에 포토리소그래피를 이용하여 낮은 원통상의 (cylindrical) 포토레지스트 마스크를 형성하는 단계 ; 나) 상기 마스크를 가열에 의해 리플로우 시켜 마이크로 렌즈에 대응하는 형상으로 형성하는 단계 ; 다) 플라즈마 에칭에 의해 상기 마스크의 형상을 상기 기판의 표면으로 전사하여 마이크로렌즈를 상기 기판 상에 형성하는 단계; 라) 상기 마이크로 렌즈의 표면 상에 상기 마이크로 렌즈의 곡면을 보상하는 표면 형상을 가지는 포토레지스트를 형성하는 단계; 마) 상기 포토레지스트를 플라즈마 에칭하여 상기 포토레지스트의 곡면형상을 상기 마이크로 렌즈의 표면으로 전사하는 단계;를 포함한다.

    고 개구수를 가지는 하이브리드 렌즈
    9.
    发明授权
    고 개구수를 가지는 하이브리드 렌즈 失效
    고개구수를가지는하이브드드렌즈

    公开(公告)号:KR100468855B1

    公开(公告)日:2005-01-29

    申请号:KR1020020069593

    申请日:2002-11-11

    Abstract: A hybrid lens with a high numerical aperture is described. The hybrid lens comprises a refractive surface that refracts incident light and a diffractive surface that diffracts light exiting the lens, the diffracting surface designed by a sag satisfying the following Equation: s ⁢ ⁢ a ⁢ ⁢ g = f D + m ⁢ ⁢ lambda - f D ⁢ 2 + r ⁢ 2 n - 1 , wherein f D is a distance from a center peak to a focal point of the hybrid lens, r is a height from a center axis to each peak of the hybrid lens, n is the refractive index of the hybrid lens, lambda is the wavelength of incident light and m is an integer. The hybrid lens is small and lightweight and capable of removing chromatic aberration.

    Abstract translation: 描述具有高数值孔径的混合透镜。 该混合透镜包括折射入射光的折射表面和衍射从透镜出射的光的衍射表面,衍射表面由下垂设计,满足下式:< maths id =“MATH-US-00001” NUM = QUOT; 00001"> < MATH OVERFLOW =" SCROLL"> < MROW> < MROW> < MROW> < MI> S< / MI> < MO>&安培;#x2062;< / MO> < MSTYLE> < MTEX​​T> < / MTEX​​T> < / MSTYLE> < MO>&安培;#x2062;< / MO> < MI>一种与LT; / MI> < MO>&安培;#x2062;< / MO> < MSTYLE> < MTEX​​T> < / MTEX​​T> < / MSTYLE> < MO>&安培;#x2062;< / MO> < MI>克LT; / MI> < / MROW> < MO> =< / MO> < MFRAC> < MROW> < MSUB> < MI> F< / MI> < MI> d< / MI> < / MSUB> < MO&GT + LT; / MO> < MROW> < MI> M< / MI> < MO>&安培;#x2062;< / MO> < MSTYLE> < MTEX​​T> < / MTEX​​T> < / MSTYLE> < MO>&安培;#x2062;< / MO> < MI>拉姆达< / MI> < / MROW> < MO> - < / MO> < MSQRT> < MROW> < MSUBSUP> < MI> F< / MI> < MI> d< / MI> < MROW> < MSTYLE> < MTEX​​T> < / MTEX​​T> < / MSTYLE> < MO>&安培;#x2062;< / MO> < MN> 2'; / MN> < / MROW> < / MSUBSUP> < MO&GT + LT; / MO> < MSUP> < MI>为r / MI> < MROW> < MSTYLE> < MTEX​​T> < / MTEX​​T> < / MSTYLE> < MO>&安培;#x2062;< / MO> < MN> 2'; / MN> < / MROW> < / MSUP> < / MROW> < / MSQRT> < / MROW> < MROW> < MI将N< / MI> < MO> - < / MO> < MN大于1< / MN> < / MROW> < / MFRAC> < / MROW> < MO>,< / MO> < / MROW> < / MATH> < /数学及GT; 其中f< SUB> D< />是从中心峰值到混合透镜的焦点的距离,r是从中心轴到混合透镜的每个峰值的高度,n是 混合透镜,λ是入射光的波长,m是整数。 混合镜头体积小,重量轻,可消除色差。

    하이브리드 마이크로렌즈 어레이 제조방법
    10.
    发明公开
    하이브리드 마이크로렌즈 어레이 제조방법 失效
    用于制作具有高数值孔径的混合微透镜阵列的方法

    公开(公告)号:KR1020040093607A

    公开(公告)日:2004-11-06

    申请号:KR1020030027544

    申请日:2003-04-30

    Abstract: PURPOSE: A method for fabricating a hybrid micro-lens array is provided to form a low-priced hybrid micro-lens by improving a fabrication process. CONSTITUTION: A plurality of holes are formed on a substrate(11). A plurality of micro lens(13) are inserted into the holes. A melted glass solution(15) is injected into the micro lens. The melted glass solution is hardened. A polishing process for the substrate, the micro lens, and the glass is performed. A polymer is coated on an unpolished surface of the micro lens. The surface of the micro lens including the polymer is pressed by an aspheric mold(22). The polymer is hardened by the light. The aspheric mold is removed therefrom. The polishing process for the substrate, the micro lens, and the glass is performed.

    Abstract translation: 目的:提供一种制造混合微透镜阵列的方法,通过改进制造工艺来形成低价混合微型透镜。 构成:在基板(11)上形成多个孔。 多个微透镜(13)插入孔中。 将熔融的玻璃溶液(15)注入微透镜。 熔化的玻璃溶液硬化。 执行基板,微透镜和玻璃的抛光工艺。 将聚合物涂覆在微透镜的未抛光表面上。 包括聚合物的微透镜的表面被非球面模具(22)压制。 聚合物被光硬化。 从其中移除非球面模具。 进行基板,微透镜和玻璃的抛光处理。

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