Abstract:
종래의 마이크로렌즈 어레이 제작방법에 비하여 정밀한 곡면을 얻을 수 있고, 높은 개구수(Numerical Aperture)와 낮은 수차 등, 광학적 성능이 우수한 마이크로렌즈 어레이를 제작하는 방법이 개시된다. 개시된 방법은: 가) 기판의 일면에 포토리소그래피를 이용하여 낮은 원통상(cylindrical)의 포토레지스트 마스크를 형성하는 단계; 나) 상기 마스크를 가열에 의해 리플로우 시켜 마이크로 렌즈에 대응하는 형상으로 형성하는 단계; 다) 플라즈마 에칭에 의해 상기 마스크의 형상을 상기 기판의 표면으로 전사하여 마이크로렌즈를 상기 기판 상에 형성하는 단계; 라) 상기 마이크로 렌즈의 표면 상에 상기 마이크로 렌즈의 곡면을 보상하는 표면 형상을 가지는 포토레지스트를 형성하는 단계; 마) 상기 포토레지스트를 플라즈마 에칭하여 상기 포토레지스트의 곡면형상을 상기 마이크로 렌즈의 표면으로 전사하는 단계;를 포함한다. 마이크로렌즈 어레이, 플라즈마 에칭
Abstract:
PURPOSE: A flat lens and a manufacturing method thereof are provided to apply to a small drive using an optical disc under a diameter of 30 millimeters and a device using a semiconductor laser of the blue wavelength as a recording/playing light source. CONSTITUTION: An objective lens(10) has a structure installing a lens element(11) in a lens receiving groove(12a) having a non-spherical or spherical concaved surface formed at a center on a substrate(12). The lens element has the first surface matched with a bottom surface of the lens receiving groove and the second surface opposite to the first surface. The first surface is a reflecting surface(11b) having a spherical or non-spherical curved surface matched with a bottom shape of the receiving groove. The second surface includes a diffracting surface(11a) having a diffracting grid pattern.
Abstract:
PURPOSE: A hybrid lens having a high numerical aperture is provided to remove the color aberration by providing a diffraction surface capable of defining the profile by using a formula and to easily manufacture the hybrid lens with a high numerical aperture. CONSTITUTION: A hybrid lens(31) having a high numerical aperture includes a refractive surface(31a) and a diffractive surface(31b). The refractive surface(31a) is capable of refracting the input light as an incidence plane. And, the diffractive surface(31b) is designed based on a focal distance fD between the central peak of the lens and the focal point, a height r from the central axis of the lens to each peak, a refractive index n of the lens and the wavelength λ.
Abstract:
종래의 마이크로렌즈 어레이 제작방법에 비하여 정밀한 곡면을 얻을 수 있고, 높은 개구수(Numerical Aperture)와 낮은 수차 등, 광학적 성능이 우수한 마이크로렌즈 어레이를 제작하는 방법이 개시된다. 개시된 방법은: 가) 기판의 일면에 포토리소그래피를 이용하여 원통상(cylindrical)의 포토레지스트 마스크를 형성하는 단계; 나) 상기 마스크를 가열에 의해 리플로우시켜 마이크로 렌즈에 대응하는 형상으로 형성하는 단계; 다) 상기 마스크의 곡면 형상을 보상하기 위해 상기 마스크는 소정의 패턴으로 노광한 후 이를 현상하는 단계; 그리고 라) 플라즈마 에칭에 의해 곡면이 보상된 상기 마스크의 형상을 상기 기판의 표면으로 전사하여 상기 마스크에 대응하는 형상의 마이크로 렌즈를 상기 기판 상에 형성하는 단계;를 포함한다.
Abstract:
제작 및 조립이 용이하고 색수차의 보상이 가능한 평판형 렌즈의 제조방법이 개시된다. 개시된 평판형 렌즈의 제조방법은: 가) 기판에 소정 깊이의 렌즈 수용홈을 형성하는 단계; 나) 스핀 코팅 및 건조과정을 포함하는 졸-겔법에 의해 상기 렌즈 수용홈에 렌즈 형성물질을 채워넣는 단계; 다) 상기 렌즈 형성물질의 표면에 회절패턴을 형성하는 단계;를 포함한다
Abstract:
PURPOSE: An optical pickup actuator and an optical disk drive adopting the optical pickup actuator are provided to separate coils to obtain a degree of freedom when installing a hinge unit connected with a suspension wire on a blade, thereby enabling a stable supporting of the blade on a base. CONSTITUTION: One pair of magnets(180) are comprised on a base(100) as magnetic members. A blade(110) has the first coils(130), the second coils(140), and the third coils(150). The first coils(130) include one pair of coils(131,132) disposed in X direction(the first direction) to be symmetrical with each other on an objective lens(120). The second coils(140) generate electromagnetic forces in tracking direction by a mutual interaction with the magnets(180). The third coils(150) are used to surround an external side of the blade(110).
Abstract:
마이크로렌즈 어레이 제조방법이 개시된다. 개시된 마이크로렌즈 어레이 제조방법은, 기판에 복수개의 호울을 형성한 다음, 상기 호울 내에 복수개의 볼렌즈를 삽입하는 단계; 상기 볼렌즈의 상부에 용융된 글라스를 주입하여 경화시킨 다음, 상기 기판, 볼렌즈 및 글라스를 연마하는 단계; 상기 단계에서 형성된 구조체를 상하부 역전시킨 다음, 연마되지 않은 볼렌즈의 표면에 폴리머를 도포하고 비구면 금형으로 압착하는 단계; 및 상기 폴리머에 광선을 조사하여 경화시킨 다음 상기 금형을 제거하고 연마한 면을 다시 연마하는 단계;를 포함한다. 마이크로렌즈를 고 광학정밀도를 가지고 저가로 대량생산할 수 있다.
Abstract:
종래의 마이크로렌즈 어레이 제작방법에 비하여 정밀한 곡면을 얻을 수 있고, 높은 개구수(Numerical Aperture)와 낮은 수차 등, 광학적 성능이 우수한 마이크로렌즈 어레이를 제작하는 방법이 개시된다. 개시된 방법은: 가) 기판의 일면에 포토리소그래피를 이용하여 낮은 원통상의 (cylindrical) 포토레지스트 마스크를 형성하는 단계 ; 나) 상기 마스크를 가열에 의해 리플로우 시켜 마이크로 렌즈에 대응하는 형상으로 형성하는 단계 ; 다) 플라즈마 에칭에 의해 상기 마스크의 형상을 상기 기판의 표면으로 전사하여 마이크로렌즈를 상기 기판 상에 형성하는 단계; 라) 상기 마이크로 렌즈의 표면 상에 상기 마이크로 렌즈의 곡면을 보상하는 표면 형상을 가지는 포토레지스트를 형성하는 단계; 마) 상기 포토레지스트를 플라즈마 에칭하여 상기 포토레지스트의 곡면형상을 상기 마이크로 렌즈의 표면으로 전사하는 단계;를 포함한다.
Abstract:
A hybrid lens with a high numerical aperture is described. The hybrid lens comprises a refractive surface that refracts incident light and a diffractive surface that diffracts light exiting the lens, the diffracting surface designed by a sag satisfying the following Equation: s a g = f D + m lambda - f D 2 + r 2 n - 1 , wherein f D is a distance from a center peak to a focal point of the hybrid lens, r is a height from a center axis to each peak of the hybrid lens, n is the refractive index of the hybrid lens, lambda is the wavelength of incident light and m is an integer. The hybrid lens is small and lightweight and capable of removing chromatic aberration.
Abstract:
PURPOSE: A method for fabricating a hybrid micro-lens array is provided to form a low-priced hybrid micro-lens by improving a fabrication process. CONSTITUTION: A plurality of holes are formed on a substrate(11). A plurality of micro lens(13) are inserted into the holes. A melted glass solution(15) is injected into the micro lens. The melted glass solution is hardened. A polishing process for the substrate, the micro lens, and the glass is performed. A polymer is coated on an unpolished surface of the micro lens. The surface of the micro lens including the polymer is pressed by an aspheric mold(22). The polymer is hardened by the light. The aspheric mold is removed therefrom. The polishing process for the substrate, the micro lens, and the glass is performed.