公开(公告)号：KR1020010104015A

公开(公告)日：2001-11-24

申请号：KR1020000025377

申请日：2000-05-12

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이상열 ,  박종보

IPC: H01L21/302

Abstract: 화학 기계적 연마 장치가 개시되어 있다. 상기 장치는 연마 패드, 연마 대상물을 유지하면서 연마 패드 상에 연마 대상물의 연마면을 압박하는 연마 하우징, 및 연마 대상물을 감싸도록 연마 하우징의 유지면 상에 형성된 리테이너 링을 구비한다. 리테이너 링은 서로 다른 소재의 층이 적층된 2층 구조로 형성되고, 두 개의 층은 암수결합된다. 리테이너 링의 소재간 접착 탈락을 방지할 수 있으며, 리테이너 링의 프레임층을 재사용할 수 있다.

公开(公告)号：KR1019990039684A

公开(公告)日：1999-06-05

申请号：KR1019970059853

申请日：1997-11-13

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박종보 ,  이준건

IPC: H02K9/06

Abstract: 본 발명은 반도체장치 제조설비 등에서 사용되는 진공펌프에 취부된 파워단자의 커버를 투명한 재질로 취부시켜 커버를 열지 않고도 파워단자의 내부를 감시토록 할 수 있는 투명커버가 취부된 파워단자를 갖는 진공펌프에 관한 것이다.
본 발명에 따른 투명커버가 취부된 파워단자를 갖는 진공펌프는, 펌프본체와 상기 펌프본체를 구동시키는 모터 및 상기 모터의 구동을 단속하기 위한 파워단자로 이루어지며, 상기 파워단자에 투명커버가 취부되어 구성된다.
따라서, 파워단자(3)에 투명커버(5)를 취부시키는 것에 의하여, 파워단자(3)의 내부를 육안으로 쉽게 감시할 수 있도록 함으로써, 전원케이블의 정상적인 연결여부, 전원케이블의 피복의 정상상태여부, 전원케이블의 접점의 연결상태여부, 전원케이블의 접점의 단락유무, 파워단자내의 이물질(물, 먼지, 분진 등)의 유입여부 등을 용이하게 육안으로 감시할 수 있도록 하여 화재 또는 이상동작 등을 사전에 예방할 수 있도록 하는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR1019990069080A

公开(公告)日：1999-09-06

申请号：KR1019980003106

申请日：1998-02-04

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이준건 ,  박종보 ,  김병진 ,  김희덕

IPC: F04B37/08

Abstract: 본 발명은, 크라이오펌프를 일정 주기로 재생할 때 재생의 효율을 높일 수 있는 크라이오펌프 시스템 및 이를 이용한 크라이오펌프 재생방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 크라이오펌프 시스템은, 콤프레서부와 펌프부를 구비하여 이루어지며, 상기 펌프부는 냉매가스를 팽창시키는 팽창기, 상기 팽창기에 접촉되어 냉각되는 크라이오 어레이, 상기 팽창기 및 크라이오 어레이를 감싸며 공간을 형성하는 펌프몸체를 구비하는 크라이오펌프 시스템에 있어서, 상기 펌프몸체에 설치되며, 재생시에 상기 펌프몸체를 가열시키는 히터 및 상기 히터의 온도를 제어하는 제어부를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하고, 본 발명의 크라이오펌프 재생방법은, 크라이오펌프를 재생하는 단계에서, 콤프레서부에서 제공된 고압의 냉매가스를 팽창시키는 팽창기 및 상기 팽창기에 접촉되어 냉각되는 크라이오 어레이를 감싸는 펌프몸체를 히터로 직접가열하는 것을 특징으로 한다.
따라서, 본 발명에 의하면 펌프몸체를 직접 가열하여 재생시간을 줄이고 펌프몸체에 고정되어 있던 물질들을 보다 용이하고 완전하게 배출시킬 수 있다는 효과가 있다.