公开(公告)号：KR20210026955A

公开(公告)日：2021-03-10

申请号：KR1020190108456A

申请日：2019-09-02

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 현승화 ,  김영환 ,  박화영 ,  유영수 ,  천유상

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/02 ,  H01L21/66 ,  H01L21/677 ,  H01L21/687

CPC classification number: H01L22/12 ,  H01L21/67253 ,  B05D1/005 ,  G01N21/9503 ,  G03F7/162 ,  G03F7/168 ,  H01L21/02282 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/67023 ,  H01L21/6715 ,  H01L21/67242 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/68764 ,  H01L22/24

Abstract: 예시적인 실시예들에 따른 반도체 소자 제조 장치는, 스핀 코터 및 코팅 층 검사기를 포함한다. 상기 스핀 코터는, 척, 척을 회전시키도록 구성된 회전 구동기; 상기 코팅 층 중 상기 웨이퍼의 에지부 상에 형성된 부분에 용해액을 분사하도록 구성된 용해액 디스펜서; 를 포함하고, 상기 코팅 층 검사기는, 에지부 카메라 및 상기 웨이퍼의 상기 에지부의 상기 이미지들에 기초하여 상기 코팅 층의 반경, 편심 및 위에서 본 형상을 결정하도록 구성된 검사 제어기를 포함한다.