公开(公告)号：KR100599144B1

公开(公告)日：2006-07-12

申请号：KR1020040098485

申请日：2004-11-29

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 유진우 ,  배해수 ,  박원택

IPC: H05H13/00 ,  H05H1/00

Abstract: 전자기유도 가속장치를 위한 전자회전공명장치가 개시된다. 본 발명에 따르면, 전자회전공명(Electron Cyclotron Resonance) 플라즈마(plasma)방법에 의한 전자회전공명장치를 설계함에 있어 전자기파를 사용하지 않고 무선 바이어스(RF bias)에 의한 전기장을 이용한다. 상기의 전기장은 전자회전공명장치 내부에 회전하는 전자의 회전 주파수와 일치되게 시간적으로 변하면서 전자의 회전에 공명이 발생하게 한다. 이러한 공명에 의하여 가열된 전자가 이온화를 촉진하여 플라즈마의 생성효율을 극대화한다. 이에 의하여, 전자기파를 발생하기 위한 장치 및 전자기파를 전자회전공명장치로 전달하기 위한 가이드(guide) 등의 장치를 필요로 하지 아니한다.
전자회전공명장치, 플라즈마, 공진, 가속기, 코일, RF-bias, 식각

公开(公告)号：KR1020060059404A

公开(公告)日：2006-06-02

申请号：KR1020040098485

申请日：2004-11-29

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 유진우 ,  배해수 ,  박원택

IPC: H05H13/00 ,  H05H1/00

CPC classification number: H05H13/00 ,  H05H7/02 ,  H05H7/12 ,  H05H2007/025 ,  H05H2007/122

Abstract: 전자기유도 가속장치를 위한 전자회전공명장치가 개시된다. 본 발명에 따르면, 전자회전공명(Electron Cyclotron Resonance) 플라즈마(plasma)방법에 의한 전자회전공명장치를 설계함에 있어 전자기파를 사용하지 않고 무선 바이어스(RF bias)에 의한 전기장을 이용한다. 상기의 전기장은 전자회전공명장치 내부에 회전하는 전자의 회전 주파수와 일치되게 시간적으로 변하면서 전자의 회전에 공명이 발생하게 한다. 이러한 공명에 의하여 가열된 전자가 이온화를 촉진하여 플라즈마의 생성효율을 극대화한다. 이에 의하여, 전자기파를 발생하기 위한 장치 및 전자기파를 전자회전공명장치로 전달하기 위한 가이드(guide) 등의 장치를 필요로 하지 아니한다.
전자회전공명장치, 플라즈마, 공진, 가속기, 코일, RF-bias, 식각

公开(公告)号：KR1020090018506A

公开(公告)日：2009-02-20

申请号：KR1020070082991

申请日：2007-08-17

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 유진우 ,  김국윤 ,  배해수 ,  하종현

IPC: H01L21/02

Abstract: A gas exhausting apparatus is provided to exhaust the air around a connector through an exhausting unit by forming a negative pressure inside an adapter. A gas exhausting apparatus includes an adapter(200) and an exhausting unit. An adapter surrounds a part of a gas supply line(140) and a connector(150). The adapter is composed of an upper adapter(210) and a lower adapter(220). The upper adapter and the lower adapter include a corresponding flange. The upper adapter and the lower adapter are combined by the flange. A fitting(230) is formed in one side of the upper adapter. The exhausting unit is connected to the adapter by the fitting. The exhausting unit includes a flexible pipe(251) and a vacuum unit. The flexible pip is connected to the fitting. The vacuum unit forms the negative pressure in the flexible pipe. A gap is formed between the adapter and the connector. The air passing through the gap with the gas around the connector is exhausted through the exhausting unit.

Abstract translation: 提供排气装置，通过在适配器内形成负压，通过排气单元排出连接器周围的空气。 排气装置包括适配器（200）和排气单元。 适配器围绕气体供应管线（140）和连接器（150）的一部分。 适配器由上适配器（210）和下适配器（220）组成。 上适配器和下适配器包括相应的凸缘。 上部适配器和下部适配器由法兰组合。 在上适配器的一侧形成有配件（230）。 排气单元通过接头连接到适配器。 排气单元包括柔性管（251）和真空单元。 柔性点连接到配件上。 真空单元在柔性管中形成负压。 在适配器和连接器之间形成间隙。 通过连接器周围的气体与空气通过的空气通过排气单元排出。