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公开(公告)号：KR1020060121362A
公开(公告)日：2006-11-29
申请号：KR1020050043473
申请日：2005-05-24
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 신정철
Abstract: An ESC(ElectroStatic Chuck) edge ring measuring apparatus is provided to prevent the generation of errors in semiconductor manufacturing equipment or a semiconductor device by using a measurement unit. An ESC edge ring measuring apparatus(100) is used for measuring the thickness of an edge ring, wherein the edge ring is installed on an ESC. The ESC edge ring measuring apparatus includes a measurement unit and a support unit. The measurement unit(110) is used for measuring the height of a predetermined portion of the edge ring adjacent to the ESC. The support unit(120) is installed on the ESC. The support unit is used for supporting the measurement unit. A focus ring or a shadow ring is used as the edge ring.
Abstract translation: 提供一种ESC（ElectroStatic Chuck）边缘环测量装置，以通过使用测量单元来防止半导体制造设备或半导体器件中的错误的产生。 ESC边缘环测量装置（100）用于测量边缘环的厚度，其中边缘环安装在ESC上。 ESC边缘环测量装置包括测量单元和支撑单元。 测量单元（110）用于测量与ESC相邻的边缘环的预定部分的高度。 支撑单元（120）安装在ESC上。 支撑单元用于支撑测量单元。 聚焦环或阴影环用作边缘环。
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公开(公告)号：KR100252046B1
公开(公告)日：2000-04-15
申请号：KR1019970059285
申请日：1997-11-11
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G11B7/09
CPC classification number: G11B7/0908 , G11B7/0901 , G11B7/0941 , G11B7/0948
Abstract: PURPOSE: A tracking/focusing servo controller of an optical disk system is provided to mute a tracking servo loop by limiting a mirror signal in track separation within a specific time zone. CONSTITUTION: A minimum mirror setting unit(11) outputs a defect signal(DEFECT) or a mirror signal(MIRROR) having a limit within the minimum zone. A maximum mirror setting unit(12) generates a signal having a limit within the maximum zone from the output signal(DFICNT) of the minimum mirror setting unit. A switch(13) controls contact of switches according to a control signal(CNTR) of the maximum mirror setting unit. An LPF(Low Pass Filter,14) eliminates low frequency elements of the input signals. A tracking gain/phase corrector(15) corrects the tracking gain and phase of the tracking error signals or muted signals thereof. A tracking servo loop is muted according to the mirror signal having a limited pulse width of a specific window zone. Therefore, the system is stabilized.
Abstract translation: 目的：提供光盘系统的跟踪/聚焦伺服控制器，通过限制特定时区内磁道分离中的镜像信号，使跟踪伺服回路静音。 构成：最小镜像设置单元（11）输出在最小区域内具有限制的缺陷信号（DEFECT）或镜像信号（MIRROR）。 最大镜设定单元（12）从最小镜设定单元的输出信号（DFICNT）产生具有在最大区域内的限制的信号。 开关（13）根据最大镜设定单元的控制信号（CNTR）控制开关的接触。 LPF（低通滤波器，14）消除了输入信号的低频元件。 跟踪增益/相位校正器（15）校正跟踪误差信号或其静噪信号的跟踪增益和相位。 跟踪伺服环路根据具有特定窗口区域的有限脉冲宽度的镜像信号而被静音。 因此，系统稳定。
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公开(公告)号：KR1019990039255A
公开(公告)日：1999-06-05
申请号：KR1019970059285
申请日：1997-11-11
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G11B7/09
Abstract: 본 발명은 콤팩트 디스크 플레이어 또는 디지탈 비디오 디스크 등의 광 디스크 시스템에 관한 것으로서, 트랙킹 에러신호에 따라 트랙킹 이득 및 위상을 보상하는 광 디스크 시스템에서 미러신호가 발생되면 상기 트랙킹 에러신호를 뮤팅시키는 트랙킹 서보 제어장치는, 발생된 미러신호를 입력받아 상기 미러신호를 소정의 최소 시간구간 및 최대 시간구간으로 제한된 미러신호를 발생하는 미러설정수단; 상기 제한된 미러신호가 온된 동안에 트랙킹 에러신호가 뮤팅된 신호를, 그렇지 않으면 트랙킹 에러신호를 출력하는 스위치수단; 및 상기 스위치수단의 출력신호를 입력받아 트랙킹 이득 및 위상을 보상하기 위한 트랙킹 이득/위상 보상수단을 포함하여, 소정의 윈도우 구간으로 펄스 폭이 제한된 미러신호에 따라 트랙킹 서보 루프를 뮤팅시키므로써 시스템의 안정을 기할 수 있다.
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公开(公告)号：KR100182166B1
公开(公告)日：1999-04-15
申请号：KR1019960000834
申请日：1996-01-17
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 신정철
IPC: G11B20/10
Abstract: 본 발명은 원하는 범위내의 데이타를 통과시키는 회로를 공개한다. 그 회로는 n-1(부호 비트 데이타), n-2, ..., nk, nk-1, ...., 2, 1, 0로 이루어진 n비트 입력 데이타를 입력하여 상기 2
k-1 -1과 -2
k-1 의 사이값을 가지는 입력 데이타를 통과시키는 회로에 있어서, 상기 입력 데이타의 n-2비트부터 nk비트까지의 데이타를 논리합하기 위한 논리합수단, 상기 입력 데이타의 n-2비트부터 nk비트까지의 데이타를 논리곱하기 위한 논리곱수단, 상기 n-1비트 데이타의 제1상태에 응답하여 상기 논리합수단의 출력신호를 발생하고, 제2상태에 응답하여 상기 논리곱수단의 출력신호를 발생하기 위한 제1선택수단, 및 상기 n-1비트 데이타 및 상기 제1선택수단의 출력신호를 선택신호로 하여 상기 선택신호들의 제1상태에 응답하여 상기 입력 데이타를, 제2상태에 응답하여 2
k-1 -1, 제3상태에 응답하여 -2
k-1 , 그리고, 제4상태에 응답하여 상기 입력 데이타를 발생하기 위한 제2선택수단으로 구성되어 있다. 따라서, 간단한 구성으로 원하는 범위내의 값을 통과시킬 수 있다.-
公开(公告)号：KR1019970032152A
公开(公告)日：1997-06-26
申请号：KR1019950041905
申请日：1995-11-17
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 신정철
IPC: H04N19/42 , H04N19/625
Abstract: 본 발명은 MPEG1 역 이산 코사인 변환기(IDCT)의 포화장치를 공개한다. 그 장치는 입력되는 N개의 비트들중 최상위 비트에 후속하는 3비트를 논리곱하여 출력하는 논리곱과, 3비트를 논리합하여 출력하는 논리합과, 최상위 비트를 선택신호로 하고, 입력한 논리곱 및 논리합의 출력을 선택신호에 따라 선택적으로 출력하는 제1멀티플렉서와, 최상위 비트를 제1선택신호로, 제1멀티플렉서의 출력을 제2선택신호로 하고, 입력한 비트들의 십진수값, 2
N-5 및 -2
N-5 을 상기 제1 및 제2선택신호에 따라 선택적으로 출력하는 제2멀티플렉서를 구비하는 것을 특징으로 하고, 비교기를 사용하지 않고 몇개의 논리 게이트들을 사용하여 그 기능을 수행하기 때문에 부피가 적고, 그 구현을 위한 비용이 감소되는 효과가 있다.-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1019970014402A
公开(公告)日：1997-03-29
申请号：KR1019950026877
申请日：1995-08-28
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 신정철
IPC: H04N19/89
Abstract: 이 발명은 전송 스트림의 동기 바이트 검출 회로에 관한 것으로서, 클럭이 발생할 때마다 전송 패킷을 1바이트씩 입력받는 쉬프트 레지스터와, 상기 쉬프트 레지스터로부터 입력받은 값과 16 진수값 47(OX47)을 비교하는 제1비교 수단과, 상기 제1비교 수단에서 출력되는 값과 리셋 신호를 입력받아 논리합 연산을 하여 제1카운터의 값을 결정하는 논리합 수단과, 클럭이 발생할 때마다 상기 제1 비교 수단의 결과값에 따라 0가 되거나 1씩 증가하는 제1 카운터와, 상기 제1 카운터의 값과 10진수 값 188을 비교하는 제2 비교 수단과, 상기 제1 비교 수단과 상기 제2 비교수단의 출력값을 입력받아 논리곱 연산을 하여 제2 카운터의 값을 증가시키는 논리곱 수단과, 상기 제1 비교 수단의 출력이 1이고 상기 제2 비교 수단의 출력이 1인 경우 상기 논리곱 수단에 의해 가하는 제2 카운터와, 상기 제2 카운터의 값과 10 진수값 2를 비교하는 제3 비교 수단과, 상기 제1 비교 수단의 출력값과 상기 제3 비교 수단의 출력값을 비교하여 동기 바이트 검출 플레그의 값을 결정하는 제4 비교 수단으로 구성되어, 엠펙 2 시스템 디코더에서 전송 스트림을 파싱(Parsing)할 때의 동기 바이트를 검출하는 효과를 가진 전송 스트림의 동기 바이트 검출 회로에 관한 것이다.
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公开(公告)号：KR1019960030684A
公开(公告)日：1996-08-17
申请号：KR1019950001228
申请日：1995-01-24
Applicant: 삼성전자주식회사
Abstract: 본 발명은 MPEG1 오디오 복호기에서 디그룹핑장치 및 디그룹핑방법을 공개한다. MPEG1으로 부호화된 오디오 신호가 전송되는 비트수를 줄이기위해 양자화부에서 양자화된 연속하는 제1, 제2 및 제3샘플들을 그룹핑하여 전송하며, 복호화부에서 그룹핑된 상기 세개의 샘플을 디그룹핑하기 위한 그 방법 및 장치는, 각 양자화 단계에 따라 그룹핑된 샘플들을 기준값들과 비교후 판단하여 제1샘플과, 제1저장변수들을 구하는 제1비교단계 및 수단과, 그룹핑된 샘플에서 제1저장변수들을 감산하여 제1나머지들을 구하는 제1연산단계 및 수단과, 각 양자화단계에 따라 제1나머지를 기준값들과 비교후 판단하여 제2샘플과, 제2저장변수들을 구하는 제2비교단계 및 수단과, 제1나머지들로부터 제2저장변수들을 감산하여 제2나머지들을 구하는 제2연산단계 및 수단과, 각 양자화단계에 따라 제2나머지들을 기준값만큼 이동하여 제3샘플들을 구하는 제3비교단계를 구비하는 것을 특징으로 하고,디그룹핑하는데 있어서, 실시간 처리가 가능하며, 하드웨어의 복잡도를 단순화하여 회로의 구현이 간단한 효과가 있다.
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公开(公告)号：KR1020060111973A
公开(公告)日：2006-10-31
申请号：KR1020050034284
申请日：2005-04-26
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 신정철
Abstract: A bolt holding wrench is provided to grip bolts during fastening or releasing the bolts to prevent the bolts from being dropped, thereby preventing contamination and loss of the bolts. A bolt holding wrench includes a bit part(21). The bit part has a shape corresponding to a hole of the bolt. At least one through-slit(22) is formed at the bit part to cross a center part of the bit part. When the bit part is inserted into the hole of the bolt, the bit part separated by the slits is widened to grip the bolt. The bit part has a cross-sectional area larger than a hole of the bolt. The slit is divided into two parts to vertically cross the bit part.
Abstract translation: 提供螺栓固定扳手以在紧固或释放螺栓期间抓住螺栓，以防止螺栓掉落，从而防止螺栓的污染和损失。 螺栓固定扳手包括钻头部件（21）。 钻头部分具有与螺栓孔相对应的形状。 至少一个通缝（22）形成在钻头部分处以穿过钻头部件的中心部分。 当钻头部分插入螺栓的孔中时，由狭缝分开的钻头部分被加宽以夹紧螺栓。 钻头部分的横截面积大于螺栓的孔。 狭缝分为两部分，以垂直交叉钻头部分。
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公开(公告)号：KR1020060075159A
公开(公告)日：2006-07-04
申请号：KR1020040113732
申请日：2004-12-28
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 신정철
IPC: H01L21/02
CPC classification number: H01L21/67242 , G01M3/04 , H01L21/6831
Abstract: 본 발명은 반도체 제조설비의 리크 포인트(leak point)를 검사하는데 사용되는 리크 포인트 탐지장치에 관한 것으로서, 리크 포인트가 정전척 관련 부위인지 챔버 관련 부위인지 여부를 식별하기 위한 것이다.
이러한 본 발명은 정전척이 장착된 곳에 상기 정전척을 대신하여 장착되고 정전척 관련 부위와 챔버 관련 부위를 격리시키기 위한 지그와, 상기 챔버와 연결되고 이 챔버 내부 공간을 고진공 상태로 형성시키는 진공장치와, 상기 챔버와 연결되고 이 챔버 내부의 압력을 측정하기 위한 압력계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 지그는 알루미늄으로 제작되며, 정전척과 유사한 형상을 가진다.
반도체 제조설비, 리크 포인트 탐지장치, 지그, 정전척, 챔버-
公开(公告)号：KR1019990010734A
公开(公告)日：1999-02-18
申请号：KR1019970033609
申请日：1997-07-18
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G11B20/18
Abstract: 본 발명은 광디스크 시스템에서의 이.에프.엠 신호 비대칭량 보정장치를 개시한다. 광디스크의 재생시에 고주파 증폭을 거쳐 디지탈 신호 처리기로 전달되는 이.에프.엠 신호의 비대칭량을 보정하는 본 발명에 의한 광디스크 시스템에서의 이.에프.엠 신호 비대칭량 보정장치는, 이.에프.엠 신호 및 기준 입력을 입력하여 슬라이스하고, 슬라이스된 이.에프. 엠 신호를 디지탈 신호 처리기로 출력하는 비교수단, 배속에 상응하는 분주 선택신호에 의해 선택된 소정 분주율로 슬라이스된 이.에프.엠 신호를 분주하는 분주수단, 소정 초기값을 분주수단에서 분주된 신호의 제1 레벨에 응답하여 업 카운트하거나, 제1 레벨과 반전된 상태의 제2 레벨에 응답하여 다운 카운트하는 업다운 카운터, 배속만큼 래치 간격을 조정하는 래치 인에이블신호에 응답하여 업다운 카운터의 출력을 래치하는 래치 및 래치의 출력을 디지탈-아날로그 변환하여 비교수단의 기준 입력 오프셋으로서 출력하는 디지탈-아날로그 변환수단을 구비하며, 기준 입력 오프셋을 조정함으로써 이.에프.엠 신호의 비대칭량이 보정되어 디지탈 신호 처리기로 출력되는 것을 특징으로 한다.
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