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公开(公告)号：KR1020090076451A
公开(公告)日：2009-07-13
申请号：KR1020080002411
申请日：2008-01-09
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: C23C16/4583 , H01L21/67109 , H01L21/67383 , Y10S414/136 , Y10S414/141
Abstract: A semiconductor manufacturing facility and wafer loading/unloading method are provided, which can increase the productivity by loading a plurality of wafers on a boat to the maximum. The reaction tube is formed in order to have the bell. The plate(130) is formed in order to seal the lower part of the reaction tube hermetically. The reacting gas providing unit supplies the reaction gas into the reaction tube. The reaction gas discharge unit discharges the reaction gas supplied to the reaction tube. The first boat(140) supports the bottom of a plurality of wafers on the plate. The second boat(150) is formed in order to support the top of a plurality of wafers.
Abstract translation: 提供了一种半导体制造设备和晶片装载/卸载方法，其可以通过在船上加载多个晶片来提高生产率。 反应管形成为具有钟形。 形成板（130）以密封地密封反应管的下部。 反应气体提供单元将反应气体供应到反应管中。 反应气体排出单元对供给到反应管的反应气体进行排出。 第一船（140）支撑板上多个晶片的底部。 形成第二船（150）以便支撑多个晶片的顶部。
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公开(公告)号：KR100170208B1
公开(公告)日：1999-05-01
申请号：KR1019950061304
申请日：1995-12-28
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 신진호
IPC: H05B6/12
Abstract: 본 발명은 유도 가열 장치에 관한 것으로, 특히 공진 탱크 회로의 양단 전압만을 검출하는 것으로 공진 전압의 영 전압 검출, 스위칭 주파수 제어, 공진 전압 제어를 하여 구성 회로가 간단하고 에너지 효율이 최대에서 안정 되도록 시스템 전력을 제어할 수 있는 유도 가열 장치의 전력 제어 회로에 관한 것이다.
유도 가열 장치에 있어서, AC 전원에서 인가되는 교류를 정류기와 평활 캐패시터를 이용하여 DC 전원으로 변환하는 DC 전원부; 상기 DC 전원의 전력을 고주파 스위칭 함으로서 발생하는 고주파 교류 전력이 공진 인덕터와 공진 캐패시터로 구성된 공진 탱크 회로에 인가되어 공진 현상을 일으키는 것으로 고주파 자계 에너지를 발생하는 인버터 회로부; 및 상기 인버터 회로부의 공진 탱크 회로 양단의 전압을 검출하여 시스템의 전력이 정상 부하 상태보다 낮으면 스위칭 주파수를 낮추어 상기 시스템의 전력을 정상 부하 상태로 올리며, 시스템의 전력이 정상 부하 상태보다 높으면 상기 스위칭 주파수를 높여 시스템의 전력을 정상 부하 상태로 낮추는 구동 제어부를 구비한 것을 특징으로 하여 시스템의 전력을 제어함으로 회로 구성이 간단하며 스위칭 동작 시점이 안정되어 에너지 효율을 최대화할 수 있다.-
公开(公告)号：KR100158503B1
公开(公告)日：1998-12-15
申请号：KR1019950034193
申请日：1995-10-06
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H05B6/12
CPC classification number: Y02B40/123
Abstract: 본 발명은 유도가열조리기용 컨버터시스템에 관한 것으로, 입력전압의 크기에 대응되는 주파수를 갖는 발진신호를 생서하여 인버터회로(200)의 구동회로(300)로 제공하는 발진회로(400)와, 교류전력원(1)으로부터 직류전력원(100)으로 흐르는 입력전류의 양을 검출하고 입력전류의 양에 따라서 발진회로(400)의 입력전압의 크기를 제어하는 것에 의해 상기 입력전류의 양을 제어하는 입력전류제어회로(500)와, 인덕터(250)를 통하여 흐르는 공진전류의 양을 검출하고 그 양이 소정의 양 이상이면 상기 발진회로의 입력전압의 크기를 줄이는 것에 의해 공진전류의 양을 줄이는 공진전류제한회로(600)과, 교류전력원(1)으로부터의 입력전류가 존재하는 경우 발진회로(400)로부터의 발진신호가 구동회로로 제공되게 하고 그리고 입력전류가 존재하지 않는 경우 발진� �로로부터의 발진신호가 구동회로로 제공되지 않게 하는 부하유무판별수단(900)를 포함한다.
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公开(公告)号：KR1019970055156A
公开(公告)日：1997-07-31
申请号：KR1019950061865
申请日：1995-12-28
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H02M3/10
Abstract: 본 발명은 공진형 콘버터 제어 시스템에 관한 것으로, 교류 전원 전압의 입력 전류를 검출하여 평활하고, 상기 평활된 신호와 일정 전압과의 차이를 증폭함으로써 입력 전류를 제어하기 위한 신호를 발생시키는 입력 전류 제어 수단과, 상기인버터의 공진 전류를 검출하여 평활하고, 상기 평활된 신호와 일전 전압과의 차이를 증폭하고, 평활된 신호가 일정 전압 이상일 경우에만 동작함으로써, 공진 전류를 제한하도록 하는 공진 전류 제한 수단과, 상기 검출된 공진 전류의 위상과 데드 타임 발생 및 게이트 구동 수단으로부터 출력되는 스위칭 주파수의 위상을 비교하여, 출력되는 위상차 전압이 일정 전압 이상일 경우에만 동작함으로써, 위상차를 보증할 수 있도록 하는 위상차 보증 수단을 포함하여 구성되었으며, 회로 구성을간단하게 하고 전체 시 템의 신뢰성을 향상시킬 수 있도록 설계된 공진형 콘버터 제어 시스템에 관한 것이다.
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公开(公告)号：KR1019970025283A
公开(公告)日：1997-05-30
申请号：KR1019950034193
申请日：1995-10-06
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H05B6/12
Abstract: 본 발명은 유도가열조리기용 컨버터시스템에 관한 것으로, 입력전압의 크기에 대응되는 주파수를 갖는 발진 신호를 생성하여 인버터회로(200)의 구동회로(300)로 제공하는 발진회로(400)와, 교류전력원(1)으로부터 직류전력원(100)으로 흐르는 입력전류의 양을 검출하고 입력전류의 양에 따라서 발진회로(400)의 입력전압의 크기를 제어하는 것에 의해 상기 입력전류의 양을 제어하는 입력전류제어회로(500)와, 인덕터(250)를 통하여 흐르는 공진전류의 양을 검출하고 그 양이 소정의 양 이상이면 상기 발진회로의 입력전압의 크기를 줄이는 것에 의해 공진전류의 양을 줄이는 공진전류제한회로(600)과, 교류전력원(10)으로부터의 입력전류가 존재하는 경우 발진회로(400)로부터의 발진신호가 구동회로 제공되게 하고 그리고 입력전류가 존재하지 않는 경우 발진회 로로부터의 발진신호가 구동회로로 제공되지 않게 하는 부하유무판별수단(100)를 포함한다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1019970019985A
公开(公告)日：1997-05-28
申请号：KR1019950036331
申请日：1995-10-20
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H05B6/12
Abstract: 본 발명은 유도가열밥솥의 전력제어시스템의 구조를 최적화시키고 신뢰성을 향상시킴과 아울러 그 시스템을 낮은 원가로 용이하게 제작할 수 있도록 하기 위한 것으로, 교류입력전류를 변류기(CT1)로 검출하여 입력전류 및 공진전류를 일정하게 유지시키고 부하의 유무를 전압레벨로 판별하여 부하가 없을시 마이크로컨트롤러(300)로 시스템을 부동작시키고 부하가 있을시 시스템을 정상적으로 동작시키며, 시스템의 기동시 발진신호의 주파수를 서서히 감소시킴으로써 소프트스타팅이 이루어지게 하며, 또 공진전류를 변류기(CT2)에 의해 검출하여 인버터 회로 내부에 이상현상이 발생되었을 때 공진전류가 정상상태의 공진전류 보다 증가하지 않도록 한다.
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公开(公告)号：KR100164516B1
公开(公告)日：1999-04-15
申请号：KR1019950048035
申请日：1995-12-08
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H05B1/02
Abstract: 본 발명은 히터 제어회로를 공개한다. 그 회로는 교류전원을 정류하여 직류전원을 발생하기 위한 정류수단, 상기 정류수단에 연결되고 유도 가열 전원전압을 발생하기 위한 유도 가열 전원 공급수단, 상기 정류수단의 제1출력단자에 연결된 히터, 상기 히터와 상기 정류수단의 제2출력단자인 접지전압에 연결된 스위칭 수단, 및 상기 스위칭 수단을 제어하기 위한 히터 제어수단으로 구성되어 있다. 따라서, 회로구성이 간단해 진다.
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公开(公告)号：KR1019970058349A
公开(公告)日：1997-07-31
申请号：KR1019950061304
申请日：1995-12-28
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 신진호
IPC: H05B6/12
Abstract: 본 발명은 유도 가열 장치에 관한 것으로, 특히 공진 탱크 회로의 양단 전압만을 검출하는 것으로 공진 전압의 영 전압 검출, 스위칭 주파수 제어, 공진 전압 제어를 하여 구성 회로가 간단하고 에너지 효율이 최대에서 안정 되도록 시스템 전력을 제어할 수 있는 유도 가열 장치의 전력 제어 회로에 관한 것이다.
유도 가열 장치에 있어서, AC 전원에서 인가되는 교류를 정류기와 평활 캐패시터를 이용하여 DC 전원으로 변환하는 DC 전원부; 상기 DC 전원의 전력을 고주파 스위칭 함으로서 발생하는 고주파 교류 전력이 공진인덕터와 공진 커패시터로 구성된 공진 탱크 회로에 인가되어 공진 현상을 일으키는 것으로 고주파 자계 에너지를 발생하는 인버터 회로부; 및 상기 인버터 회로부의 공진 탱크 회로 양단의 전압을 검출하여 시스템의 전력이 정상 부하 상태보다 낮으면 스위칭 주파수를 낮추어 상기 시스템의 전력을 정상 부하 상태로 올리며, 시스템의 전력이 정상 부하 상태보다 높으면 상기 스위칭 주파수를 높여 시스템의 전력을 정상 부하 상태로 낮추는 구동 제어부를 구비한 것을 특징으로 하여 시스템의 전력을 제어함으로 회로 구성이 간단하며 스위칭 동작 시점이 안정되어 에너지 효율을 최대화할 수 있다.-
公开(公告)号：KR101420285B1
公开(公告)日：2014-07-17
申请号：KR1020080002411
申请日：2008-01-09
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: C23C16/4583 , H01L21/67109 , H01L21/67383 , Y10S414/136 , Y10S414/141
Abstract: 본 발명은 생산성을 증대 또는 극대화할 수 있는 반도체 제조설비 및 그의 웨이퍼 로딩/언로딩 방법에 관한 것으로, 그의 설비는, 종모양을 갖도록 형성된 반응관; 상기 반응관의 하부를 밀폐시키도록 형성된 플레이트; 상기 플레이트에 의해 밀폐된 공간을 갖는 상기 반응관의 내부에 반응 가스를 공급하는 반응 가스 공급부; 상기 반응 가스 공급부에서 상기 반응관에 공급된 반응 가스를 배기시키는 반응 가스 배기부; 및 상기 플레이트 상에서 다수개의 웨이퍼 하면을 지지하는 제 1 보트와, 상기 제 1 보트에 의해 지지되는 다수개의 웨이퍼 사이에서 다수개의 웨이퍼 상면을 지지하도록 형성된 제 2 보트를 포함하여 이루어진다.
반응관, 플레이트(plate), 보트(boat), 블레이드(blade), 슬롯(slot)-
公开(公告)号：KR100154818B1
公开(公告)日：1998-12-15
申请号：KR1019950061865
申请日：1995-12-28
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H02M3/10
CPC classification number: H02M7/53803 , Y02B70/1441
Abstract: 본 발명은 공진형 콘버터 제어 시스템에 관한 것으로, 교류 전원 전압의 입력 전류를 검출하여 평활하고, 상기 평활된 신호와 일정 전압과의 차이를 증폭함으로써 입력 전류를 제어하기 위한 신호를 발생시키는 입력 전류 제어 수단과, 상기 인버터의 공진 전류를 검출하여 평활하고, 상기 평활된 신호와 일정 전압과의 차이를 증폭하고, 평활된 신호가 일정 전압 이상일 경우에만 동작함으로써, 공진 전류를 제한하도록 하는 공진 전류 제한 수단과, 상기 검출된 공진 전류의 위상과 데드 타임 발생 및 게이트 구동 수단으로부터 출력되는 스위칭 주파수의 위상을 비교하여, 출력되는 위상차 전압이 일정 전압 이상일 경우에만 동작함으로써, 위상차를 보증할 수 있도록 하는 위상차 보증 수단을 포함하여 구성되었으며, 회로 구성을 간단하게 하고 전체 � �스템의 신뢰성을 향상시킬 수 있도록 설계된 공진형 콘버터 제어 시스템에 관한 것이다.
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