公开(公告)号：KR1020150035035A

公开(公告)日：2015-04-06

申请号：KR1020130115137

申请日：2013-09-27

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박경태 ,  윤인호 ,  정은아 ,  김태경 ,  이,안토니시앙-더

IPC: G02B21/00 ,  G02B21/06 ,  G01N21/64 ,  G02B26/10

CPC classification number: G02B21/008 ,  G01N21/6402 ,  G02B21/086 ,  G02B26/103 ,  H01S3/0057

Abstract: 본발명의일 실시예에따른레이저스캐닝현미경시스템은, 제1 파장의광펄스를출력하는광원과; 상기광펄스를복수의광펄스들로분할하는광분할기와; 상기분할된광펄스들이서로다른지연시간들을갖도록상기분할된광펄스들을지연하는광지연부와; 상기지연된광펄스들을분산보상하는분산제어부와; 샘플에상기분산보상된광펄스들을순차로조사하는스캐너와; 샘플로부터방출된제2 파장의형광펄스들을전기신호들로검출하는광검출기와; 상기검출신호들에근거하여상기샘플의이미지를형성하는제어부를포함한다.

Abstract translation: 根据本发明的实施例，激光扫描显微镜系统包括：输出第一波长的光脉冲的光源; 将光脉冲分为多个光脉冲的分光器; 光延迟部分，其延迟分割的光脉冲，以使分割的光脉冲彼此具有不同的延迟时间; 分散地补偿延迟的光脉冲的色散控制部分; 扫描仪将分散补偿的光脉冲逐渐辐射到样品; 光检测器，用电子信号检测从样品输出的第二波长的荧光脉冲; 以及基于检测信号形成样本的图像的控制部分。