公开(公告)号：KR100869116B1

公开(公告)日：2008-11-17

申请号：KR1020020050565

申请日：2002-08-26

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 정환경 ,  유정민 ,  임권호

IPC: G02F1/1337

Abstract: 2회의 러빙 방법을 수행하는 단순화된 구조를 가지는 러빙 설비가 도시되어 있다. 본 발명의 러빙 설비는 1개의 러빙 헤드와 2개의 러빙 롤러를 가지거나 또는 2개의 러빙 헤드와 2개의 러빙 롤러를 가지고 2회의 러빙을 수행한다. 러빙 스테이지에 흡착된 기판이 2개의 러빙 롤러를 연속적으로 거치므로 2번의 러빙을 할 경우 기판의 회전에 의한 러빙 각도의 틀어짐에 따른 러빙 불량이 발생하는 것을 방지한다. 또한, 전체 러빙 설비를 단순화함으로써 러빙 설비의 유지, 보수 및 관리에 따른 비용 및 시간을 줄일 수 있는 효과가 있다.
러빙 설비, 러빙, 공정, 러빙 롤러, 러빙 불량

公开(公告)号：KR1020040018657A

公开(公告)日：2004-03-04

申请号：KR1020020050565

申请日：2002-08-26

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 정환경 ,  유정민 ,  임권호

IPC: G02F1/1337

CPC classification number: G02F1/1337 ,  B24D13/02 ,  G02F1/1303 ,  G02F1/1309

Abstract: PURPOSE: A simplified rubbing equipment and a rubbing device for carrying out rubbing twice are provided to remove an intermediate alignment part and a lower rubbing step and operate two rollers continuously for a substrate. CONSTITUTION: A simplified rubbing equipment includes a rubbing stage(10), a rubbing device(230), and an alignment part(240). The rubbing device has the first rubbing head(220a), and the first and second rubbing rollers(212a,212b) mounted in parallel to each other. The first rubbing roller has the first rubbing sheet(216a) provided with the first rubbing fibers(218a) and wound on an outer peripheral surface, and is mounted under the first rubbing head by the first supporting die(214a). A roller reciprocating unit and a roller rotating unit are connected to the first rubbing head to move the first rubbing roller vertically and moving the same. A substrate is interposed between the first rubbing roller and the rubbing stage and formed with orientation grooves by the friction between the first rubbing roller and the substrate. The first rubbing roller and the second rubbing roller in the same construction with the first one are operating independently.

Abstract translation: 目的：提供简单的摩擦设备和用于进行两次摩擦的摩擦装置，以去除中间对准部分和下部摩擦步骤，并且连续地操作两个辊子用于基底。 构成：简化的摩擦设备包括摩擦台（10），摩擦装置（230）和对准部件（240）。 摩擦装置具有第一摩擦头（220a），并且第一和第二摩擦辊（212a，212b）彼此平行地安装。 第一摩擦辊具有设置有第一摩擦纤维（218a）并卷绕在外周面的第一摩擦片（216a），并且通过第一支撑模（214a）安装在第一摩擦头下方。 辊子往复运动单元和滚轮旋转单元连接到第一摩擦头以使第一摩擦辊垂直移动并使其移动。 基板被介于第一摩擦辊和摩擦台之间，并且通过第一摩擦辊和基板之间的摩擦形成定向槽。 与第一摩擦辊和第二摩擦辊在同一结构中的第一摩擦辊和第二摩擦辊独立地操作。