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公开(公告)号：KR20210030074A
公开(公告)日：2021-03-17
申请号：KR1020190111560A
申请日：2019-09-09
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/683 , H01L21/67
CPC classification number: H01L21/6838 , H01L21/67017 , H01L21/67098 , H01L21/67103 , H01L21/68721 , H01L21/68735 , H01L21/68792
Abstract: 본 개시의 일 실시예에 따른 진공 척은 기판이 안착되는 제1 면을 포함하는 페데스탈로서, 상기 제1 면에는 상기 기판의 하부에 진공압을 전달하는 진공 홀, 상기 진공 홀과 연결된 진공 홈, 및 상기 진공 홈을 둘러싸고 상기 기판에 하부 가스를 전달하는 가스 홀이 형성된 상기 페데스탈; 상기 페데스탈의 내부에 있고, 열을 발생시키도록 구성된 가열 소자; 상기 진공 홀과 연결된 진공 관; 및 상기 가스 홀과 연결된 가스 관;을 포함하고, 상기 진공 홀의 지름은 2 마이크로미터 내지 3 마이크로미터이고, 상기 진공 홈의 너비는 1.6 마이크로미터 내지 2.5 마이크로미터인 것을 특징으로 할 수 있다.
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公开(公告)号：KR100585151B1
公开(公告)日：2006-05-30
申请号：KR1020040051976
申请日：2004-07-05
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 임홍택
IPC: G11B33/08
CPC classification number: G11B33/148 , G11B25/043
Abstract: 본 발명은, 서로 결합된 베이스 부재와 커버 부재를 구비하여 된 하우징; 상기 베이스 부재 상에 회전 가능하게 장착되며, 서로 이격되게 적층되는 복수 장의 디스크; 상기 베이스 부재 상에 회동 가능하게 설치되며, 상기 디스크에 데이터를 기록하거나 기록된 데이터를 재생하기 위한 자기헤드를 탑재한 슬라이더를 그 선단부에 부착 지지하는 액츄에이터; 및, 상기 적층된 디스크 사이에 댐퍼(damper)를 구비하며,
상기 디스크와 대면하는 댐퍼의 면에 그루브(groove)가 형성된 것을 특징으로 하는 하드 디스크 드라이브를 제공한다.-
公开(公告)号：KR1020150055227A
公开(公告)日：2015-05-21
申请号：KR1020130137293
申请日：2013-11-13
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/205
CPC classification number: C23C16/45565
Abstract: 샤워헤드는몸체, 노즐및 복수개의전도부재들을포함한다. 몸체는반응가스를수용한다. 노즐은상기몸체에배치되어, 상기반응가스를기판으로분사한다. 전도부재들은상기몸체에구비되어, 상기기판에서발생된열을전도(conduct)한다. 따라서, 전도부재들이히터로부터샤워헤드로전달된열을신속하게전도하게되므로, 샤워헤드는개선된열전달특성을갖게된다.
Abstract translation: 淋浴头包括主体，喷嘴和多个导电构件。 身体接受反应性气体。 喷嘴布置在主体上并将反应气体喷射到基板上。 导电构件快速地将从加热器传递的热传导到淋浴喷头。 因此，淋浴头具有改善的传热性能。
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公开(公告)号：KR1020070082582A
公开(公告)日：2007-08-21
申请号：KR1020070016802
申请日：2007-02-16
Applicant: 삼성전자주식회사
Abstract: A disc damper and an HDD(Hard Disc Drive) with the same are provided to consistently reduce the vibration of a disc and an HSA(Head Stack Assembly) in a certain position from an inner diameter of the disc to an outer diameter of the disc. A disc damper includes a tailing part(124) and an expanding part(126). The tailing part(124) has a surface faced to data tracks of an outer diameter side of a disc. The expanding part(126) is connected with the tailing part(124), and is expanded to have a width which is broader than a radius direction width of the tailing part(124). The expanding part(126) has a surface faced to all data tracks of the disc.
Abstract translation: 提供了具有该盘式阻尼器和具有该盘式阻尼器的HDD（硬盘驱动器），以一致地将盘和HSA（头堆叠组件）的振动从盘的内径到盘的外径的特定位置减小 。 盘式阻尼器包括尾部（124）和膨胀部（126）。 尾部（124）具有面向盘的外径侧的数据轨迹的表面。 扩展部（126）与尾部（124）连接，并且被扩展为具有比后端部（124）的半径方向宽度宽的宽度。 扩展部分（126）具有面向盘的所有数据轨迹的表面。
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公开(公告)号：KR1020070046231A
公开(公告)日：2007-05-03
申请号：KR1020050102657
申请日：2005-10-29
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G11B21/21
CPC classification number: G11B25/043 , G11B5/6005
Abstract: 본 발명은, 데이터 저장매체인 디스크와 동축 회전 가능하게 하드디스크 드라이브의 스핀들 모터에 장착되며, 상기 디스크의 내측 영역에서 공기 흐름의 유속을 증대시켜 상기 디스크에 데이터를 기록하거나 상기 디스크에 기록된 데이터를 독취하는 슬라이더의 부상력(浮上力)을 증대시키는 복수 개의 블레이드를 구비한 것을 특징으로 하는 회전날개와, 상기 회전날개를 구비한 하드디스크 드라이브를 제공한다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020170034161A
公开(公告)日：2017-03-28
申请号：KR1020150132503
申请日：2015-09-18
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/205 , H01L21/02 , H01L21/306
CPC classification number: H01J37/3244 , C23C16/452 , C23C16/45512 , C23C16/45544 , C23C16/45565 , C23C16/50 , H01J37/32009
Abstract: 가스혼합부, 상기가스혼합부의상부에배치된가스도입관, 및상기가스혼합부의하부에배치된가스도출관을포함한다. 상기가스혼합부는타원형평면을가진상면및 하면, 및측면을포함하는가스공급부를포함하는반도체소자제조장치가설명된다.
Abstract translation: 它包括气体入口管，并且在设置在气体混合部上方的气体混合物的下部设置的气体出口管，该气体混合部。 所述气体混合单元，一种半导体器件制造设备，包括一气体供应，其包括一个平椭圆，并且当跌倒jinsangmyeon和侧进行说明。
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公开(公告)号：KR100674979B1
公开(公告)日：2007-01-29
申请号：KR1020050057650
申请日：2005-06-30
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 임홍택
IPC: G11B33/14
CPC classification number: G11B33/142 , G11B33/1446
Abstract: 공기 순환 장치를 구비한 하드 디스크 드라이브가 개시된다. 개시된 하드 디스크 드라이브는, 베이스 부재와 커버 부재로 이루어진 하우징과, 베이스 부재 상에 설치된 스핀들 모터와, 스핀들 모터에 장착된 데이터 저장용 디스크와, 베이스 부재 상에 회동가능하게 설치되며 디스크에 데이터를 기록하거나 기록된 데이터를 재생하기 위한 읽기/쓰기 헤드를 가진 액츄에이터와, 하우징 내부에 설치되어 디스크의 회전에 의해 발생된 유동 공기를 상하 방향으로 이동시킴으로써 하우징 내부에서의 공기의 상하 방향의 순환을 발생시키는 공기 순환 장치를 구비한다. 상기 공기 순환 장치는 디스크의 가장자리에 인접하도록 디스크의 둘레에 배치될 수 있으며, 특히 디스크의 중심을 기준으로 액츄에이터의 반대쪽에 배치될 수 있다. 상기 공기 순환 장치는, 디스크 하부의 공기를 디스크 상부로 이동시키는 공기 상승 부재와, 디스크 상부의 공기를 디스크 하부로 이동시키는 공기 하강 부재 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 이와 같은 본 발명에 의하면, 하우징 내부의 공기가 보다 원활하게 순환할 수 있게 되므로, 하우징 내부의 파티클에 대한 필터링 효율과 온도 특성이 향상된다.
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公开(公告)号：KR1020070002234A
公开(公告)日：2007-01-05
申请号：KR1020050057650
申请日：2005-06-30
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 임홍택
IPC: G11B33/14
CPC classification number: G11B33/142 , G11B33/1446
Abstract: An HDD(Hard Disk Drive) with an air circulation device is provided to allow air in a lower or upper part of a disk to easily move to the upper or lower part of the disk by the air circulation device, therefore the air inside a housing is capable of more smoothly circulating. A housing consists of a base member(111) and a cover member(112). A spindle motor(130) is installed on the base member(111). A data storage disk(120) is mounted on the spindle motor(130). An actuator(140) is rotatively installed on the base member(111), and has a read/write head for recording data on the disk(120) or reproducing the recorded data. An air circulation device is installed inside the housing to move flowing air generated by rotation of the disk(120), in up/down direction, so as to generate up/down circulation of the air inside the housing.
Abstract translation: 提供具有空气循环装置的HDD（硬盘驱动器），以允许盘的下部或上部的空气通过空气循环装置容易地移动到盘的上部或下部，因此壳体内的空气 能够更顺利地流通。 壳体由基部构件（111）和盖构件（112）组成。 主轴电机（130）安装在基座部件（111）上。 数据存储盘（120）安装在主轴电动机（130）上。 致动器（140）旋转地安装在基座构件（111）上，并且具有用于在盘（120）上记录数据或再现记录数据的读/写头。 空气循环装置安装在壳体内部，以沿上/下方向移动由盘（120）的旋转产生的流动空气，以便在壳体内产生空气的上/下循环。
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公开(公告)号：KR1020160083715A
公开(公告)日：2016-07-12
申请号：KR1020150000181
申请日：2015-01-02
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/02 , H01L21/683
CPC classification number: C23C16/45512 , C23C16/4412 , C23C16/45565 , C23C16/45574 , C23C16/45591 , H01L21/02263 , H01L21/683
Abstract: 반도체공정설비가제공된다. 상기반도체공정설비는공정대상물을지지하는서셉터; 상기서셉터와이격되고, 상기공정대상물의상부면과마주보는오목영역및 상기오목영역의외측에위치하는경사면을포함하는가스박스; 및상기가스박스의상기오목영역내에위치하는샤워헤드를포함한다. 상기가스박스의상기경사면의경사각은 10°초과 35°미만이다.
Abstract translation: 提供半导体处理设备。 半导体处理设备包括：基座，被配置为支撑被处理物体; 与所述基座间隔开的气体箱，并且包括面对所述待处理物体的上表面的凹部区域和设置在所述凹部区域的外侧的倾斜面; 以及位于气箱的凹部区域中的淋浴喷头。 气箱倾斜面倾斜角大于10°，小于35°。 因此，半导体处理装置能够防止处理气体对待处理物体的速度的快速变化。
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公开(公告)号：KR1020060003174A
公开(公告)日：2006-01-10
申请号：KR1020040051976
申请日：2004-07-05
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 임홍택
IPC: G11B33/08
CPC classification number: G11B33/148 , G11B25/043
Abstract: 본 발명은, 서로 결합된 베이스 부재와 커버 부재를 구비하여 된 하우징; 상기 베이스 부재 상에 회전 가능하게 장착되며, 서로 이격되게 적층되는 복수 장의 디스크; 상기 베이스 부재 상에 회동 가능하게 설치되며, 상기 디스크에 데이터를 기록하거나 기록된 데이터를 재생하기 위한 자기헤드를 탑재한 슬라이더를 그 선단부에 부착 지지하는 액츄에이터; 및, 상기 적층된 디스크 사이에 댐퍼(damper)를 구비하며,
상기 디스크와 대면하는 댐퍼의 면에 그루브(groove)가 형성된 것을 특징으로 하는 하드 디스크 드라이브를 제공한다.
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