公开(公告)号：KR1020160015092A

公开(公告)日：2016-02-12

申请号：KR1020140097586

申请日：2014-07-30

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이현우 ,  손창우 ,  안용준 ,  전태조

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/673

CPC classification number: H01L21/6773 ,  H01L21/67294 ,  H01L21/67373 ,  H01L21/67379 ,  H01L21/67733 ,  H01L21/67736 ,  H01L21/67769 ,  H01L21/67772 ,  H01L21/67775 ,  H01L21/67706

Abstract: 중앙통로와상기중앙통로의양측에위치하는제1 보관영역및 제2 보관영역을갖고상부가개방된바디프레임, 상기제1 보관영역및 상기제2 보관영역내에설치되며웨이퍼적재함의도어가상기바디프레임의외측을향하도록상기웨이퍼적재함이적재되는선반들, 상기제1 보관영역의상부영역내에설치되며상기웨이퍼적재함이로딩되는인렛포트들, 상기제2 보관영역의하부영역내에설치되며상기웨이퍼적재함또는상기웨이퍼적재함내부의웨이퍼들을레일이송기로제공하는아웃렛포트들, 및상기중앙통로내에설치되며상기선반들, 상기인렛포트들, 및상기아웃렛포트들사이에서상기웨이퍼적재함을이송하는로봇암을포함하는스토커가설명된다.

Abstract translation: 本发明公开了一种储料机，其特征在于，包括：主体框架，其顶部开口并具有中心通道，第一和第二储存区域位于中心通道的两侧; 搁架，其安装在第一和第二存储区域中，并且其中装载晶片装载容器，使得晶片装载容器的门面向主体框架的外部; 入口端口，其安装在所述第一存储区域的上部区域中，并且装载所述晶片装载容器; 出口端口，其安装在第二存储区域的下部区域中，并将晶片装载容器或晶片供应到轨道传送装置; 以及安装在中心通道中并将晶片装载容器传送到搁板，入口和出口之间的机器人臂。