公开(公告)号：KR1020170030321A

公开(公告)日：2017-03-17

申请号：KR1020150127766

申请日：2015-09-09

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 류건진 ,  이현민 ,  정연부 ,  조성현

IPC: H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67715 ,  G05D1/02

Abstract: 이송시스템및 그에포함된이송유닛이제공된다. 이송시스템은, 제1 및제2 영역을포함하는제1 레일, 상기제1 영역과분리된제3 영역과, 적어도일부가상기제2 영역과합류하는제4 영역을포함하는제2 레일, 상기제1 및제3 영역에미배치되고, 상기제2 영역과상기제4 영역을따라나란하게배치된광 라인, 상기기제1 레일상을주행하는제1 이송유닛, 상기제2 레일상을주행하는제2 이송유닛및 상기광 라인을통해송신또는수신되는광을이용하여상기제1 및제2 이송유닛의주행을제어하는컨트롤러를포함한다.

Abstract translation: 其中包括运输系统和运输单元。 传输系统中，从第一轨道，所述第一区域包括所述第二区域的第三区域，和一第二轨道分开的第一mitje，所述第一至第四区域中，至少与一些虚拟基础第二区域接合 mitje第三区域发射极被设置，用于驱动所述第二区域和所述第二光线路中的第二传送单元沿着四个区域并排布置，第一传送单元，用于驱动底座1导轨，所述第二导轨 以及控制器，用于使用通过光线路传输或接收的光来控制第一和第二传输单元的行进。