公开(公告)号：WO2022065654A1

公开(公告)日：2022-03-31

申请号：PCT/KR2021/009499

申请日：2021-07-22

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 조양희 ,  조남규 ,  노종수 ,  박성혁 ,  배무성 ,  조성찬

IPC: F25B1/047 ,  F25B31/00 ,  F25B43/02 ,  F25B41/40 ,  F25B41/31

Abstract: 시스템 효율이 향상된 냉동 사이클 장치를 개시한다. 냉동 사이클 장치는, 흡입 파이프와 배출 파이프를 포함하고, 냉매를 압축하도록 마련되는 압축기와, 상기 압축기로부터 배출되는 오일이 혼합된 냉매를 냉매와 오일로 분리하도록 마련되는 오일 분리기와, 상기 압축기로부터 배출되는 상기 오일이 혼합된 냉매를 상기 오일 분리기로 안내하는 제1배관과, 상기 오일 분리기에 의해 상기 오일이 혼합된 냉매로부터 분리된 냉매를 상기 압축기로 다시 안내하는 제2배관 및 상기 오일 분리기에 의해 상기 오일이 혼합된 냉매로부터 분리된 오일을 상기 압축기로 다시 안내하는 제3배관을 포함할 수 있다.

公开(公告)号：KR100665191B1

公开(公告)日：2007-01-09

申请号：KR1020050065999

申请日：2005-07-20

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 조성찬 ,  이석우

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G01R31/312 ,  G01R31/025

Abstract: An apparatus for testing a semiconductor device and a test method thereof are provided to obtain a thickness of an equivalent oxide layer by measuring the amount of charges leaked from a lower surface of a semiconductor substrate. An electric charge dispersion unit(200) disperses electric charges onto a semiconductor substrate as a test target on which an insulating layer is formed. A current measurement unit(400) measures the amount of leakage current from a lower surface of the semiconductor substrate. An electric potential measurement unit(500) measures surface potential on the semiconductor substrate as the test target. The electric charge dispersion unit disperses the electric charges onto the semiconductor substrate as the test target by using corona discharge.

Abstract translation: 提供一种半导体器件的测试装置及其测试方法，以通过测量从半导体衬底的下表面泄漏的电荷量来获得等效氧化物层的厚度。 电荷分散单元（200）将电荷分散在作为其上形成有绝缘层的测试对象的半导体衬底上。 电流测量单元（400）测量来自半导体衬底的下表面的漏电流量。 电位测量单元（500）测量作为测试对象的半导体衬底上的表面电位。 电荷分散单元通过使用电晕放电将电荷分散在作为测试对象的半导体衬底上。