公开(公告)号：KR1020100068919A

公开(公告)日：2010-06-24

申请号：KR1020080127436

申请日：2008-12-15

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 조재범

IPC: G01S5/14

CPC classification number: G01S19/42

Abstract: PURPOSE: A GPS(Global Positioning System) receiver and a position deciding method thereof are provided to decide the position of the GPS receiver by additionally selecting a substitute satellite in case there are fewer than 4 GPS satellites. CONSTITUTION: A GPS receiver(100) receives navigation data from one or more satellites. A decoder(110) extracts the time information and almanac information by decoding the navigation data. The database(150) stores the information on satellite arrangement. A satellite positioning unit(120) decides the position of a substitute satellite by using the almanac information. A navigation filter(130) decides the position of the GPS receiver by using the pseudo distances among the satellites.

Abstract translation: 目的：提供GPS（全球定位系统）接收机及其位置决定方法，以便在少于4个GPS卫星的情况下，通过额外选择替代卫星来确定GPS接收机的位置。 构成：GPS接收机（100）从一个或多个卫星接收导航数据。 解码器（110）通过解码导航数据来提取时间信息和历书信息。 数据库（150）存储关于卫星安排的信息。 卫星定位单元（120）通过使用年历信息来决定替代卫星的位置。 导航滤波器（130）通过使用卫星之间的伪距离来决定GPS接收机的位置。

公开(公告)号：KR1020060081864A

公开(公告)日：2006-07-13

申请号：KR1020050002300

申请日：2005-01-10

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 조재범

IPC: H01L21/68

CPC classification number: H01L21/68707 ,  H01L21/67253

Abstract: 본 발명은 웨이퍼 이송장치에 관한 것으로, 이를 위한 본 발명은, 다수의 웨이퍼가 적재되는 웨이퍼 카세트와; 웨이퍼 카세트에 적재된 웨이퍼를 이송시키는 블레이드와; 블레이드를 이동시키는 구동부와; 블레이드 하면에 마련되어 블레이드 하면에 부착되는 오염물질을 감지하는 감지센서와; 감지센서의 신호를 수신하여, 구동부를 제어하는 제어부가 마련되는 것을 특징으로 하며, 이에 따라 블레이드의 오염상태를 감시할 수 있어 작업자의 편의를 도모할 수 있는 효과가 있으며, 이에 따라 장기간 블레이드를 사용함에 있어 블레이드에 부착되는 오염물질에 의한 웨이퍼의 오염을 미연에 방지할 수 있는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR1020060066367A

公开(公告)日：2006-06-16

申请号：KR1020040104947

申请日：2004-12-13

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 조재범

IPC: G01S5/02

Abstract: E-OTD(Enhanced Observed Time Difference)와 GPS(Global Positioning System)의 장점을 모두 이용하여 단말기의 위치를 결정하는 혼성 항법시스템(Hybrid Navigation System) 및 상기 혼성 항법시스템에서 사용하는 단말기의 위치결정방법을 개시한다. 상기 혼성 항법시스템은, E-OTD(Enhanced Observed Time Difference) 측정장치; GPS(Global Positioning System); 및 상기 E-OTD 측정장치에서 측정한 단말기와 기지국사이에 대하여 측정한 소정의 보조 데이터(Assistance Data) 및 상기 GPS로부터 단말기의 시간대 별 위치 정보를 수신하여, 단말기의 위치 및 이동 속도를 결정하는 칼만 필터를 구비한다. 상기 단말기 위치결정방법은, 단말기와 기지국 사이의 소정의 데이터를 측정하는 단계; GPS에서 단말기의 위치 및 이동 속도를 측정하는 단계; 상기 소정의 데이터 및 단말기의 위치 및 이동 속도를 이용하여 단말기의 위치 및 이동 속도를 정확하게 예측하는 단계를 구비한다.

公开(公告)号：KR1020060041457A

公开(公告)日：2006-05-12

申请号：KR1020040090671

申请日：2004-11-09

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 조재범

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/027 ,  H01L21/02

CPC classification number: G03F9/7096 ,  G03F7/70633 ,  G03F7/70916 ,  G03F9/7088 ,  H01L21/682

Abstract: 본 발명에서는 반도체 웨이퍼에 형성되는 패턴의 미스얼라인을 측정하기 위한 오버레이 설비에 있어서, 상기 반도체 웨이퍼를 상기 오버레이 설비의 내부로 이송하기 위한 핸들러부, 상기 오버레이 설비의 내부를 환기시키기 위한 환기용 팬이 장착되며, 상기 핸들러부에 인접하여 설치되는 조명 모듈부, 및 상기 조명 모듈부에 설치되는 환기부를 구비함을 특징으로 한다. 그리하여, 본 발명은 환기부가 구비된 조명 모듈부를 갖는 오버레이 설비를 제공함으로써, 종래의 오버레이 설비에 있어서의 조명 모듈부에서는 상기 조명 모듈부의 내부 틈이 핸들러부로 통하고 있고, 상기 조명 모듈부의 환기용 팬에 의해 발생되는 파티클 원이 상기 핸들러부와 웨이퍼를 오염시키는 문제를 감소시키는 효과가 있다

포토리소그래피, 오버레이, 조명 모듈(illumination module), 환기부

公开(公告)号：KR1020060035297A

公开(公告)日：2006-04-26

申请号：KR1020040084729

申请日：2004-10-22

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 도주현 ,  최형진 ,  한정수 ,  조재범

IPC: H04B7/26

CPC classification number: H04B17/336

Abstract: 파일럿 채널의 신호 전력 감쇄 비율을 이용한 신호 대 간섭 비 측정 방법 및 이를 이용한 신호 대 간섭비 측정 장치가 개시된다. 제 1 채널의 한 슬롯 구간 평균 전력을 측정하는 단계, 제 2 채널의 한 슬롯 구간 평균 전력을 측정하는 단계, 상기 제 2 채널의 한 슬롯 구간 평균 전력을 이용하여 상기 제 2 채널의 신호 전력 감쇄 비율을 산정하는 단계, 및 상기 제 2 채널의 신호 전력 감쇄 비율을 이용하여 상기 제 1 채널의 신호 전력 감쇄가 보상된 한 슬롯 구간 평균 전력을 산정하는 단계를 포함한 직접 수열 코드 분할 다중화 시스템의 신호 대 간섭 비 측정 방법이 구성된다. 따라서, 신호 전력 측정의 대상이 되는 채널의 신호 전력 감쇄를 보상하여 페이딩 환경에서도 정확한 SIR을 측정함으로써 폐루프 전력 제어의 성능을 높일 수 있다.

公开(公告)号：KR1020100093346A

公开(公告)日：2010-08-25

申请号：KR1020090012492

申请日：2009-02-16

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 조재범

IPC: G01S5/14 ,  H04B1/06

CPC classification number: G01S19/23

Abstract: PURPOSE: A global positioning system receiver and correcting a satellite vehicle clock method thereof is provided to correct a satellite time by using the location and velocity of a satellite. CONSTITUTION: A satellite signal reception unit(100) receives a satellite signal from one or more satellite. The satellite signal reception unit extracts navigation data from the satellite signal. A decoder(110) decodes navigation data. A satellite positioning unit(120) decides the location of satellite by using the decoded navigation data. A satellite hour correction unit calculates the speed of the satellite. The satellite hour correction unit correct the satellite hours by using at least one of satellite speed and satellite location.

Abstract translation: 目的：提供全球定位系统接收机和校正其卫星车辆时钟方法，以通过使用卫星的位置和速度来校正卫星时间。 构成：卫星信号接收单元（100）从一个或多个卫星接收卫星信号。 卫星信号接收单元从卫星信号中提取导航数据。 解码器（110）解码导航数据。 卫星定位单元（120）通过使用解码的导航数据来确定卫星的位置。 卫星小时校正单元计算卫星的速度。 使用卫星速度和卫星位置中的至少一个来校正卫星小时数。

公开(公告)号：KR1020060128080A

公开(公告)日：2006-12-14

申请号：KR1020050048944

申请日：2005-06-08

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 조재범

IPC: H01L21/027

CPC classification number: G03F7/70633 ,  G03F7/70666 ,  G03F7/70858

Abstract: An overlay measurement apparatus with an illumination device is provided to simply and exactly set a position of a lamp by monitoring an intensity of incident light. An illumination section illuminates light to a wafer to measure an overlap degree. A position controller(101) sets a position of the illumination section. The illumination section and the position controller are installed at a case. A light intensity display device(110) displays an intensity of light, which is incident to the wafer. The light intensity display device is installed at a surface of the case, and monitors intensity of light changed according to a position of the illumination section. The illumination section includes a lamp(103) and a holder(102). The holder(102) fixes the lamp and is moved by the position controller.

Abstract translation: 提供具有照明装置的重叠测量装置，通过监视入射光的强度来简单且准确地设定灯的位置。 照明部分将光照射到晶片以测量重叠度。 位置控制器（101）设定照明部的位置。 照明部和位置控制器安装在壳体上。 光强度显示装置（110）显示入射到晶片的光强度。 光强度显示装置安装在壳体的表面，并且监视根据照明部分的位置而改变的光的强度。 照明部分包括灯（103）和保持器（102）。 保持器（102）固定灯并由位置控制器移动。

公开(公告)号：KR100510533B1

公开(公告)日：2005-08-26

申请号：KR1020030037460

申请日：2003-06-11

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 조재범

IPC: G01S5/14

Abstract: 칼만 필터를 이용하여 GPS 수신기 내 클럭 오실레이터의 클럭 주파수 보상 방법, 위성 항법 방법, 그리고 이를 구현한 장치들이 개시된다. 본 발명은 항법해를 구하는 GPS 수신기의 동작을 제어 하는 클럭 신호를 발생하는 클럭 발생부에 있어서, TCXO를 이용하여 소정의 기준 클럭 신호를 발생하는 기준 클럭 오실레이터와, 기준 클럭 신호로부터 GPS 수신기의 동작을 동기화시키는 클럭 신호를 발생하는 클럭 합성부와, 그리고 클럭 신호에 포함된 클럭 노이즈 성분을 제거하는 클럭 보상부를 포함한다. 클럭 보상부는 클럭 노이즈 성분을 추정하여 억제하는 칼만 필터를 사용한다. 따라서, 본 발명에 의하면, 값이 싼 TCXO를 기준 클럭 오실레이터로 사용하는 경우, TCXO 출력에 포함된 바이어스 성분과 드리프트 성분의 노이즈 성분을 모델링하여 칼만 필터를 통해 제거한다. GPS 수신기의 동작이 노이즈 성분이 제거된 클럭 신호에 의해 동기화되기 때문에 안정적으로 항해 솔루션을 얻을 수 있다.

公开(公告)号：KR102064854B1

公开(公告)日：2020-01-10

申请号：KR1020120139771

申请日：2012-12-04

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 조재범

IPC: G01S19/40 ,  G01S19/11

公开(公告)号：KR1020170046276A

公开(公告)日：2017-05-02

申请号：KR1020150146390

申请日：2015-10-21

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박정준 ,  이우진 ,  조재범

IPC: G01S19/34 ,  G01S19/39 ,  G01C21/20

CPC classification number: G01S19/34 ,  H04B7/18515 ,  H04B7/18519 ,  Y02D70/1224 ,  Y02D70/1262 ,  Y02D70/164 ,  Y02D70/166 ,  Y02D70/168 ,  Y02D70/26 ,  Y02D70/446

Abstract: 위성항법시스템수신기는무선주파수부, 베이스밴드처리부, 저장부, 모드제어부및 카운터부를포함한다. 무선주파수부는외부로부터위성신호를수신한다. 베이스밴드처리부는위성신호에기초하여현재동작환경을판단한다. 저장부는무선주파수부에서수신된정보및 베이스밴드처리부에서발생된정보를저장한다. 모드제어부는현재동작환경에기초하여정상모드및 저전력모드중 하나로동작하도록제어한다. 카운터부는저전력모드로의연속진입횟수를카운트한다. 모드제어부는저전력모드로진입하는경우에, 연속진입횟수에기초하여무선주파수부, 베이스밴드처리부및 저장부중 적어도하나를턴 오프시킨다.

Abstract translation: 卫星导航系统接收器包括射频单元，基带处理单元，存储单元，模式控制单元和计数器单元。 射频单元从外部接收卫星信号。 基带处理器根据卫星信号确定当前的工作环境。 存储单元存储在射频单元处接收的信息和在基带处理单元处生成的信息。 基于当前的操作环境，模式控制单元进行控制以在正常模式和低功率模式中的一种模式下操作。 计数器部分计数连续进入低功率模式的次数。 模式控制是在连续条目数目的基础接通射频部分，一个基带处理部分和进入低功率模式时，至少一个存储bujung关闭。