公开(公告)号：KR20210026954A

公开(公告)日：2021-03-10

申请号：KR1020190108455A

申请日：2019-09-02

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 공병환 ,  김현철 ,  박준성 ,  유재원 ,  이현주 ,  진광현 ,  하영민

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/3065

CPC classification number: C23C16/4405 ,  B05B1/02 ,  C23C16/45578 ,  H01L21/02046 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/67028 ,  H01L21/67063 ,  H01L21/67757

Abstract: 다수의 기판들을 적층시킬 수 있는 보우트(boat); 상기 보우트를 측방향에서 둘러싸고, 상부가 개방된 원통형의 제 1 튜브; 및 상기 제 1 튜브의 외측으로부터 상기 제 1 튜브의 측벽과 상기 보우트 사이로 연장되는 세정 가스 공급 노즐을 포함하고, 상기 세정 가스 공급 노즐은 상기 제 1 튜브의 외측으로부터 상기 제 1 튜브의 내측으로 연장되는 제 1 세그먼트; 상기 제 1 세그먼트의 말단에서 상기 제 1 튜브의 길이 방향으로 연장되는 제 2 세그먼트; 및 상기 제 2 세그먼트의 말단에서 상기 제 2 세그먼트의 연장방향과 상이한 방향으로 연장되는 제 3 세그먼트를 포함하는 반도체 제조 장치가 제공된다.

公开(公告)号：KR3003740840000S

公开(公告)日：2005-02-23

申请号：KR3020040002065

申请日：2004-01-29

Applicant: 삼성전자주식회사

Designer： 이대균 ,  하영민

公开(公告)号：KR3003397690000S

公开(公告)日：2003-12-11

申请号：KR3020030003851

申请日：2003-02-14

Applicant: 삼성전자주식회사

Designer： 김형배 ,  하영민

公开(公告)号：KR3003205800000S

公开(公告)日：2003-03-26

申请号：KR3020020022852

申请日：2002-08-10

Applicant: 삼성전자주식회사

Designer： 김형배 ,  하영민

公开(公告)号：KR3003149290000S

公开(公告)日：2003-01-14

申请号：KR3020020007416

申请日：2002-03-14

Applicant: 삼성전자주식회사

Designer： 김형배 ,  손영배 ,  하영민

公开(公告)号：KR3003086890000S

公开(公告)日：2002-10-26

申请号：KR3020010036971

申请日：2001-12-29

Applicant: 삼성전자주식회사

Designer： 김형배 ,  하영민

公开(公告)号：KR3002954040000S

公开(公告)日：2002-04-12

申请号：KR3020010016343

申请日：2001-06-15

Applicant: 삼성전자주식회사

Designer： 김형배 ,  하영민

公开(公告)号：KR3003205790000S

公开(公告)日：2003-03-26

申请号：KR3020020022004

申请日：2002-07-31

Applicant: 삼성전자주식회사

Designer： 김형배 ,  하영민

公开(公告)号：KR3003205780000S

公开(公告)日：2003-03-26

申请号：KR3020020021558

申请日：2002-07-26

Applicant: 삼성전자주식회사

Designer： 김형배 ,  하영민

公开(公告)号：KR3003035520000S

公开(公告)日：2002-07-31

申请号：KR3020010030300

申请日：2001-10-30

Applicant: 삼성전자주식회사

Designer： 김형배 ,  하영민