公开(公告)号：KR1019990016049A

公开(公告)日：1999-03-05

申请号：KR1019970038471

申请日：1997-08-12

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김도성 ,  허용강 ,  이종철

IPC: H01L21/00

Abstract: 본 발명은 핸들러의 튜브 이송 장치에 관한 것으로, 튜브가 송출부로 이송되기 전에 튜브안의 잔류 반도체 칩 패키지의 유무를 정확히 체크하기 위하여 핸들러의 공급부에서 수납된 반도체 칩 패키지의 이송이 완료된 투명한 빈 튜브를 이송하는 이송 수단과; 하부에 적재될 빈 튜브를 하나씩 튜브 준비대로 낙하시키기 위한 스토퍼와, 상기 이송 수단에 의해 이송된 상기 빈 튜브가 상기 스토퍼에 걸려 수평하게 적재되는 적재판을 포함하는 튜브 적재부와; 상기 스토퍼의 구동에 의해 낙하하는 상기 빈 튜브가 안착될 수 있도록 상기 튜브 적재부의 하부에 소정의 기울기를 갖고 설치되며, 핸들러의 송출부로 상기 빈 튜브를 이송하기 전에 상기 빈 튜브가 대기하는 튜브 준비대; 및 상기 튜브 준비대의 아래쪽에 설치되며, 상기 빈 튜브의 말단 부분에 반도체 칩 패키지가 있는지 없는지를 체크하는 광센서;를 포함하는 것을 특징으로 하는 핸들러의 튜브 이송 장치를 제공한다.

公开(公告)号：KR1020080071816A

公开(公告)日：2008-08-05

申请号：KR1020070010143

申请日：2007-01-31

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 하승수 ,  허용강 ,  이종철 ,  김중현 ,  최시돈

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/66

CPC classification number: H01L22/14 ,  H01L21/67242 ,  H01L21/67703 ,  H01L22/30

Abstract: A semiconductor device testing apparatus is provided to generate both cold and hot air at the same time by adjusting an amount of compressed air, which is introduced to a vortex tube, using an adjusting valve. A semiconductor device testing apparatus includes a soak chamber(200), a test chamber(300), and a temperature adjusting unit. The soak chamber performs an aging process on a semiconductor device at a first temperature. The test chamber tests the aged semiconductor device from the soak chamber at a second temperature. The temperature adjusting unit controls the soak chamber at the first temperature or controls the test chamber at the second temperature by using a vortex tube. A compressed air supply unit, a cold air exit hole, and a hot air exit hole are formed in the vortex tube.

Abstract translation: 提供半导体器件测试装置，通过使用调节阀调节引入到涡流管的压缩空气量，同时产生冷空气和热空气。 半导体器件测试装置包括浸泡室（200），测试室（300）和温度调节单元。 浸泡室在第一温度下在半导体器件上进行老化处理。 测试室在第二温度下从浸泡室测试老化的半导体器件。 温度调节单元在第一温度下控制浸泡室，或通过使用涡流管在第二温度下控制测试室。 涡流管中形成有压缩空气供给部，冷气出口孔，热风出口。

公开(公告)号：KR1020060115238A

公开(公告)日：2006-11-08

申请号：KR1020050037683

申请日：2005-05-04

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 허용강 ,  문점주 ,  김원주 ,  이종철 ,  이종안 ,  이은수 ,  한은수 ,  권영현 ,  최귀흠 ,  이영철

IPC: H01L21/68

CPC classification number: H01L21/6773 ,  H01L21/68707

Abstract: A tray transfer unit with a tilt function is provided to enhance operation reliability by accurately picking up a tray according to a tilt degree of the tray. A tray transfer unit with a tilt function includes a transfer plate(111), a picker(113), a first tilt block(117), a second tilt block(133), a vertical driver(139), and a horizontal driver(141). The transfer plate is vertically moved on a stack plate. The picker is arranged at both ends of the transfer plate and picks up a tray, which is mounted on the stack plate. The first tilt block is arranged to rotate the transfer plate around a virtual center axis corresponding to a left/right tilt amount of the tray. The second tilt block is arranged to rotate the transfer plate around the virtual center axis corresponding to an up/down tilt amount of the tray. The vertical driver vertically moves the second tilt block. The horizontal driver is coupled with the vertical driver and horizontally moves the vertical driver.

Abstract translation: 提供具有倾斜功能的托盘传送单元，以通过根据托盘的倾斜度准确地拾取托盘来提高操作可靠性。 具有倾斜功能的托盘传送单元包括传送板（111），拾取器（113），第一倾斜块（117），第二倾斜块（133），垂直驱动器（139）和水平驱动器 141）。 转印板在堆叠板上垂直移动。 拾取器布置在转印板的两端，并拾取安装在堆叠板上的托盘。 第一倾斜块布置成围绕与托盘的左/右倾斜量相对应的虚拟中心轴旋转传递板。 第二倾斜块被布置成围绕虚拟中心轴线转动对应于托盘的上/下倾斜量的转印板。 垂直驱动器垂直移动第二倾斜块。 水平驱动器与垂直驱动器耦合并水平移动垂直驱动器。

公开(公告)号：KR1020050031598A

公开(公告)日：2005-04-06

申请号：KR1020030067798

申请日：2003-09-30

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이은수 ,  유재형 ,  이병천 ,  김영규 ,  이종철 ,  노창균 ,  박영대 ,  허용강 ,  김범식 ,  이원희

IPC: H01L21/66

Abstract: A semiconductor device test handler is provided to maintain best condition in a low-temperature test process by removing moisture and frost from a liquefied nitrogen supply pipe, a liquefied nitrogen injection bar, a solenoid valve, and an inside of a chamber. A test chamber(112) is used for forming test environment of high temperature or low temperature to test a semiconductor device of a test tray. A preheating chamber(111) is installed at one side of the test chamber to preheat the semiconductor device. A discharging chamber(115) is installed at the other side of the test chamber to restore the semiconductor device to an atmospheric state. A fluid supply tube is used for transferring and injecting the cooling fluid from a cooling fluid supply source to the preheating chamber and the test chamber. A dry air supply tube(137) is used for supplying the dry air from a dry air supply source to the test chamber. A heater is installed nearly to a valve assembly to apply the heat to a valve and the cooling fluid supply tube.

Abstract translation: 提供了一种半导体器件测试处理器，通过从液化氮气供应管，液化氮气注入杆，电磁阀和室内消除湿气和霜而在低温测试过程中保持最佳状态。 测试室（112）用于形成高温或低温的测试环境，以测试测试托盘的半导体器件。 预热室（111）安装在测试室的一侧以预热半导体器件。 放电室（115）安装在测试室的另一侧，以将半导体器件恢复到大气状态。 流体供应管用于将冷却流体从冷却流体供应源转移和注入到预热室和测试室。 干空气供应管（137）用于将来自干燥空气供应源的干燥空气供应到测试室。 加热器几乎安装在阀组件上以将热量施加到阀和冷却液供应管。

公开(公告)号：KR1020060113109A

公开(公告)日：2006-11-02

申请号：KR1020050035985

申请日：2005-04-29

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 최귀흠 ,  문점주 ,  김원주 ,  이종철 ,  허용강

IPC: H01L21/68

CPC classification number: H01L21/67144 ,  H01L21/67333

Abstract: A rotary type pick/place apparatus of a semiconductor device is provided to increase a manufacturing speed of the semiconductor device by quickly delivering the semiconductor device in a semiconductor manufacturing apparatus. A rotary type pick/place apparatus of a semiconductor device includes plural pickers(123), a rotary block(121), a frame(111), a rotation motor(140), and a main voltage driving cylinder(113). The pickers suck up semiconductor devices. The rotary block includes the pickers, which are arranged in plural columns. The columns are arranged on a circumference around a central axis. The rotary block is rotatably coupled with the frame. The rotation motor rotates the rotary block. The main voltage driving cylinder vertically drives the frame. A pitch converter changes pitches of the pickers on the same column.

Abstract translation: 提供一种半导体器件的旋转式拾取/放置装置，以通过在半导体制造装置中快速地传送半导体器件来提高半导体器件的制造速度。 一种半导体器件的旋转式拾取/放置装置包括多个拾取器（123），旋转块（121），框架（111），旋转马达（140）和主电压驱动圆筒（113）。 拣选机吸吮半导体器件。 旋转块包括多列设置的拾取器。 列围绕中心轴布置在圆周上。 旋转块与框架可旋转地联接。 旋转电机旋转旋转块。 主电压驱动缸垂直驱动框架。 间距转换器改变同一列上拾取器的间距。

公开(公告)号：KR1019990054217A

公开(公告)日：1999-07-15

申请号：KR1019970074021

申请日：1997-12-26

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김성옥 ,  허용강 ,  육심재 ,  김경국

IPC: G01R31/26 ,  H01L21/66

Abstract: 본 발명은 반도체 패키지 테스트 설비 제어 방법에 관한 것으로, 반도체 패키지의 초기 테스트 완료후 발생한 불량품 반도체 패키지의 재테스트에 대해서 테스터와 핸들러간의 재테스트 준비/실행신호의 상호 송수신에 따라 재테스트의 자동실행을 실시함으로서 작업자의 수작업에 따른 작업지연 시간을 줄여 제품의 생산성향상을 기대할 수 있다.

公开(公告)号：KR1019980075878A

公开(公告)日：1998-11-16

申请号：KR1019970012251

申请日：1997-04-02

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 허용강 ,  김영규 ,  이종철 ,  유세준

IPC: H01L21/66

Abstract: 체임버(chamber)와 테스트 사이트(test site)에 가스 분사 수단이 설치되어 있는 테스트 핸들러를 준비하는 준비 단계와 패키지의 정상적인 동작을 검사하는 테스트 단계, 체임버와 테스트 사이트를 가스 분사 수단을 이용하여 가스를 강제적으로 분사시켜 냉각시키는 강제 냉각 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 온도 강하 방법을 제공함으로써, 체임버 덮개를 열지 않은 상태에서 강제적으로 체임버와 테스트 사이트를 냉각시켜 냉각에 소요되는 시간을 감소시키고 주위의 타설비에는 영향을 주지 않게 되어 다음 테스트를 진행한기 위한 준비 시간이 감소되어 가동률 향상을 가져오는 효과가 있다.