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公开(公告)号：WO2015093699A1
公开(公告)日：2015-06-25
申请号：PCT/KR2014/004941
申请日：2014-06-03
Applicant: 성균관대학교산학협력단 , 주식회사 에프에스티 , 삼성전자 주식회사
Abstract: 본원은 흑연-함유 박막을 포함하는 극자외선 리소그래피용 펠리클 막에 관한 것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于极紫外光刻的防护薄膜，包括含石墨的薄膜。
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公开(公告)号：KR102254103B1
公开(公告)日：2021-05-20
申请号：KR1020150002170
申请日：2015-01-07
Applicant: 삼성전자주식회사 , 성균관대학교산학협력단
Abstract: 기판상에그라파이트층을형성하고, 상기그라파이트층 상에지지층을형성하고, 상기기판을제거하고, 상기그라파이트층 및상기지지층의스택을프레임상에전사하고, 및상기지지층을제거하는것을포함하는펠리클제조하는방법이설명된다.
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公开(公告)号：KR102251999B1
公开(公告)日：2021-05-17
申请号：KR1020150003112
申请日：2015-01-09
Applicant: 삼성전자주식회사 , 성균관대학교산학협력단
IPC: G03F1/64
Abstract: 펠리클의제조방법에있어서, 기판의일 면상에, 상기기판을촉매로사용하는화학반응을이용하여막을형성한다. 상기기판의다른일 면상에, 보호막패턴을형성한다. 상기기판을식각액에침지시켜, 상기보호막패턴으로부터노출된기판부분을제거하여프레임을형성한다. 상기식각액을제1 용매로교환한다.
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公开(公告)号：KR1020150070727A
公开(公告)日：2015-06-25
申请号：KR1020130157275
申请日：2013-12-17
Applicant: 삼성전자주식회사 , 성균관대학교산학협력단 , 주식회사 에프에스티
Abstract: 본원은흑연-함유박막을포함하는극자외선리소그래피용펠리클막에관한것이다.
Abstract translation: 本发明涉及包含含石墨的薄膜的用于极紫外光刻的防护薄膜。
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公开(公告)号：KR1020100107316A
公开(公告)日：2010-10-05
申请号：KR1020090025546
申请日：2009-03-25
Applicant: 삼성전자주식회사 , 성균관대학교산학협력단
IPC: H05B33/22
CPC classification number: H01J31/123 , H01J17/49
Abstract: PURPOSE: An inorganic electroluminescence device and a display apparatus having the same are provided to manufacture a distributive inorganic electroluminescence device having a clear threshold voltage by forming a light emitting layer within a dielectric layer of micro tube shape. CONSTITUTION: A first electrode(110) and a second electrode(120) are formed with a constant distance. A dielectric layer(130) of the micro tube shape is formed between the first electrode and the second electrode. A light emitting layer(140) is formed in order to fill the inner space of the dielectric layer. The second electrode is formed on the light-emitting layer.
Abstract translation: 目的：提供一种无机电致发光器件及其显示装置，通过在微管形状的电介质层内形成发光层来制造具有清晰阈值电压的分布无机电致发光器件。 构成：第一电极（110）和第二电极（120）以恒定距离形成。 在第一电极和第二电极之间形成微管形状的电介质层（130）。 形成发光层（140）以填充电介质层的内部空间。 第二电极形成在发光层上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020090041639A
公开(公告)日：2009-04-29
申请号：KR1020070107258
申请日：2007-10-24
Applicant: 삼성전자주식회사 , 성균관대학교산학협력단
CPC classification number: C09K11/025 , C03C17/36 , C03C17/3668 , C03C2217/42 , C09K11/615 , H05B33/10 , Y10T428/25
Abstract: A dispersion type inorganic electro luminescent device and a manufacturing method thereof are provided to simplify a manufacturing process by integrating a light emitting layer and a dielectric layer. The metal oxide precursor solution is mixed with the fluorescent substance. The metal oxide precursor is coated on a plurality of fluorescent substances with the thickness of 10 to 500nm. The coating is performed by an ultrasonic stirrer, a mechanical stirrer, a magnetic mixer or the homogenizer. A plurality of fluorescent substances are laminated between a transparent electrode(2) and an upper electrode(6). The light emitting layer and the dielectric layer are integrated. An integrated electro luminescent layer(5) is formed. In the metal oxide precursor, the metal oxide is selected from the group made of SiO2, Al2O5, BaTiO5 and TiO2.
Abstract translation: 提供了分散型无机电致发光器件及其制造方法，以通过集成发光层和电介质层来简化制造工艺。 金属氧化物前体溶液与荧光物质混合。 金属氧化物前体被涂覆在多个厚度为10-500nm的荧光物质上。 涂层通过超声波搅拌器，机械搅拌器，磁力搅拌器或均化器进行。 多个荧光物质层叠在透明电极（2）和上电极（6）之间。 发光层和电介质层被集成。 形成集成的电致发光层（5）。 在金属氧化物前体中，金属氧化物选自由SiO 2，Al 2 O 5，BaTiO 5和TiO 2制成的组。
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公开(公告)号：KR1020160086024A
公开(公告)日：2016-07-19
申请号：KR1020150003112
申请日：2015-01-09
Applicant: 삼성전자주식회사 , 성균관대학교산학협력단
CPC classification number: G03F1/62 , C01B32/182 , C01B32/194 , C01B32/20 , C23C16/01 , C23C16/26 , C23C16/56 , C23F1/00 , C23F1/02 , C23F1/14 , G03F1/64
Abstract: 펠리클의제조방법에있어서, 기판의일 면상에, 상기기판을촉매로사용하는화학반응을이용하여막을형성한다. 상기기판의다른일 면상에, 보호막패턴을형성한다. 상기기판을식각액에침지시켜, 상기보호막패턴으로부터노출된기판부분을제거하여프레임을형성한다. 상기식각액을제1 용매로교환한다.
Abstract translation: 本发明的目的是提供具有改进的机械特性的防护薄膜组件。 在防护薄膜组件的制造方法中，通过使用该基板作为催化剂的化学反应，在基板的一个表面上形成膜。 在基板的另一个表面上形成保护膜图形。 将衬底浸入蚀刻液中以除去从保护膜图案露出的衬底的一部分，从而形成框架。 蚀刻液与第一溶剂交换。
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公开(公告)号：KR1020160143090A
公开(公告)日：2016-12-14
申请号：KR1020150079200
申请日：2015-06-04
Applicant: 삼성전자주식회사 , 성균관대학교산학협력단
CPC classification number: B32B37/025 , B32B37/0038 , B32B37/12 , B32B37/14 , B32B38/10 , B32B2038/166 , B32B2305/026 , B32B2457/08 , G03F1/62 , H01L21/00
Abstract: 펠리클조립체를제조하기위하여, 습식분위기하에서반송막상에탄소함유박막을부착한다. 탄소함유박막이반송막상에부착된상태에서건식분위기하에서탄소함유박막을펠리클프레임에부착한다. 탄소함유박막이펠리클프레임에부착된상태에서반송막을탄소함유박막으로부터분리한다.
Abstract translation: 一种制造防护薄膜组件的方法，所述方法包括在湿气氛中将含碳薄膜附着在转移膜上; 在含碳薄膜附着在转印膜上的同时，将干燥气氛中的含碳薄膜附着在防尘薄膜组件框架上; 并且在含碳薄膜附着到防护薄膜框架上的同时将转移膜与含碳薄膜分离。
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公开(公告)号：KR1020160085146A
公开(公告)日：2016-07-15
申请号：KR1020150002170
申请日：2015-01-07
Applicant: 삼성전자주식회사 , 성균관대학교산학협력단
IPC: H01L21/027 , G03F1/62 , H01L21/02 , H01L21/205
CPC classification number: G03F1/62 , C23C16/26 , H01L21/0274 , H01L21/0228 , H01L21/205
Abstract: 기판상에그라파이트층을형성하고, 상기그라파이트층 상에지지층을형성하고, 상기기판을제거하고, 상기그라파이트층 및상기지지층의스택을프레임상에전사하고, 및상기지지층을제거하는것을포함하는펠리클제조하는방법이설명된다.
Abstract translation: 说明的是制造防护薄膜组件的方法，其包括以下步骤：在基板上形成石墨层; 在石墨层上形成支撑层; 消除基板; 将一层石墨层和支撑层转移到框架上; 并消除支撑层。 因此，该方法可以防止或减少由于静电颗粒导致的防护薄膜组件的污染，缺陷或损坏。
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