公开(公告)号：KR1020170004506A

公开(公告)日：2017-01-11

申请号：KR1020150094939

申请日：2015-07-02

Applicant: 삼성전자주식회사 ,  성균관대학교산학협력단

Inventor： 배지현 ,  이내응 ,  김도일 ,  엔귀엔탄티엔 ,  이성훈 ,  전상훈

IPC: H01L41/113 ,  H01L41/27 ,  H01L41/18 ,  H01L41/04

CPC classification number: A61B5/02055 ,  A61B5/01 ,  A61B5/02108 ,  A61B5/02444 ,  A61B5/0245 ,  A61B5/6802 ,  A61B2562/0247 ,  A61B2562/0276 ,  A61B2562/028 ,  A61B2562/046 ,  A61B2562/125 ,  G01K7/01 ,  G01K7/16 ,  G01L9/0051

Abstract: 마이크로구조체를포함하는플렉서블바이모달센서가개시된다. 개시된바이모달센서는플렉서브기판상의소스전극및 드레인전극, 상기소스전극및 상기드레인과양단이연결되는채널층과, 상기채널층을덮는봉지층과, 상기봉지층상에순차적으로적층된게이트절연층및 게이트전극을포함한다. 상기게이트절연층은복수의돌출부를포함하며, 상기바이모달센서는온도와압력을동시에측정한다.

Abstract translation: 柔性双模传感器包括栅电极; 柔性基板; 设置在柔性基板上的源电极; 设置在与源电极分开的柔性基板上的漏电极; 设置在源电极和漏电极上的沟道层以及在源电极和漏极之间的柔性基板的一部分; 以及包括多个突起的栅极绝缘层，所述栅极绝缘层设置在所述沟道层上并且布置在所述沟道层和所述栅电极之间。 漏极电极同时输出表示由柔性双峰传感器感测的温度值和压力值的电流信号。