-
公开(公告)号：KR101322255B1
公开(公告)日：2013-10-25
申请号：KR1020070045020
申请日：2007-05-09
Applicant: 삼성전자주식회사 , 포항공과대학교 산학협력단
IPC: H01L21/027
Abstract: 노광장치, 상기 노광 장치를 이용한 2차원 홀로그래픽 리소그래피 방법 및 광결정 형성 방법을 제공한다. 이 장치는 스테이지, 상기 스테이지 상에 수직으로 놓여진 제 1 거울면 및 상기 스테이지 상에 수직으로 놓여지고, 상기 제 1 거울면과 경사각을 갖는 제 2 거울면을 포함한다. 상기 스테이지, 상기 제 1 거울면 및 상기 제 2 거울면에 평행광이 입사되고, 상기 평행광을 발생시키는 광발생부를 포함한다. 상기 제 1 거울면, 상기 제 2 거울면 및 상기 스테이지 상의 기판 상에 평행광을 동시에 입사하여 등간격의 2차원 간섭무늬를 갖는 노광광으로 상기 포토레지스트를 노광한다. 상기 포토레지스트를 현상한다. 제 1 평행광, 제 2 평행광 및 제 3 평행광에 의해 형성된 등간격의 2차원 간섭무늬를 갖는 노광광으로 상기 포토레지스트를 노광한다. 상기 포토레지스트를 현상하여 등간격의 2차원 노광 패턴을 형성하고, 상기 노광 패턴을 마스크로 사용하여 상기 기판 상에 등간격의 2차원 광결정 패턴을 형성한다.
광결정, 간섭무늬-
公开(公告)号：KR1020080099465A
公开(公告)日：2008-11-13
申请号：KR1020070045020
申请日：2007-05-09
Applicant: 삼성전자주식회사 , 포항공과대학교 산학협력단
IPC: H01L21/027
CPC classification number: H01L21/0274 , G03F7/2006
Abstract: The exact dark fringe can be formed by this invention method which is better than the existing method which a plurality of collimated lights is incident in the respective sample. A complicated apparatus is unnecessary for dividing the apparatus by using the beam split. The exposure comprises the first mirror facet perpendicularly placed on the stage(50); the second mirror facet having the first mirror facet and angle of inclination(54), perpendicularly placed on the stage; the light-generating section generating the collimated light, incident in the first mirror facet and the second mirror facet. The light-generating section is the beam generator.
Abstract translation: 可以通过本发明的方法形成精确的黑色条纹，该方法优于多个准直光入射到相应样品中的现有方法。 通过使用光束分割，不需要复杂的装置来分割装置。 曝光包括垂直放置在平台（50）上的第一镜面; 第二镜面具有垂直放置在舞台上的第一镜面和倾斜角（54）; 所述发光部生成入射在所述第一镜面和所述第二镜面中的所述准直光。 光产生部分是光束发生器。
-
公开(公告)号：KR100343217B1
公开(公告)日：2002-08-22
申请号：KR1019960044113
申请日：1996-10-05
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: A61B5/055
Abstract: PURPOSE: An automatic impedance matching device of a high frequency coil for a magnetic resonance image apparatus and a method thereof are provided to automatically adjust the impedance of a high frequency coil within a short time. CONSTITUTION: An oscillator(14) generates a high frequency signal. A power divider(21) divides the high frequency signal from the oscillator(14). A directional coupler(15) directs the divided high frequency signal from the power divider(21) to a high frequency coil. A demodulator(16) demodulates a signal reflected from the high frequency coil to a low frequency. A microcontroller(19) controls a low frequency band pass filter(17), an A/D converter(18), a D/A converter(20), and a matching circuit. The high frequency signal includes a sine wave signal having a predetermined amplitude. The oscillator(14) includes a crystal oscillator.
-
公开(公告)号：KR100311073B1
公开(公告)日：2001-12-28
申请号：KR1019960004684
申请日：1996-02-26
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: A61B5/055
Abstract: PURPOSE: A magnetic resonance imaging system capable of reducing the influence of a counter magnetic field generated from a gradient magnetic field coil and stably attaching the gradient magnetic field coil is provided, thereby enlarging a linear gradient magnetic field and an imaging area thereof and reducing vibration and noise. CONSTITUTION: The imaging system comprises: a computer for performing the total control and signal processing; a radio frequency and gradient pulse generator for generating a specified radio frequency pulse signal and a gradient magnetic field pulse signal by the controlled signal from the computer; a main magnet having a cup type structure for generating a fixed magnetic field; a gradient magnetic field coil for generating a gradient magnetic field by the gradient magnetic pulse; a high-frequency coil for outputting the generated wave by the radio frequency pulse signal to an imaging target and receiving a magnetic resonance signal from the imaging target; and an analog/digital converter.
-
公开(公告)号：KR100310223B1
公开(公告)日：2001-12-28
申请号：KR1019940003803
申请日：1994-02-28
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G11B7/246
Abstract: PURPOSE: An organic optical recording medium is provided to form a writing layer as a pigment-dispersive type among hardening resins, so as to prevent data damage caused by light while repeatedly reading data as well as preventing a rewriting by locking written data. CONSTITUTION: A writing layer(2) is composed of a thermosetting or an optical setting resin layer on an oligomer including a near infrared absorption pigment capable of emitting heat by absorbing a laser. After completing a writing process, the writing layer(2) is hardened by irradiating UV rays or performing a heat-hardening over 50 degrees centigrade, to remove writing characteristics of the writing layer(2).
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100300958B1
公开(公告)日：2001-10-22
申请号：KR1019960016227
申请日：1996-05-15
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G06F19/00
Abstract: PURPOSE: A low noise amplifier for a rotational magnetic coil and a magnetic resonance imaging device applying the same are provided to obtain the mean characteristic of an amplifier noise characteristic by amplifying output signals of a 0° coil tuner and a 90° coil tuner using separate low noise amplifiers, delaying the phase of one output at 90°, and synthesizing the output signals. CONSTITUTION: Low noise amplifiers(23a,23b) connect to a 0° coil tuner(27) and a 90° coil tuner(26) for separately amplifying rotation magnetic sensing signals. Feeders(21a,21b) connect the 0° coil tuner(27) and the 90° coil tuner(26) to the low noise amplifiers(23a,23b), respectively. A 90° phase delay(24) connects to an output terminal of one coil tuner between the 0° coil tuner(27) and the 90° coil tuner(26) for delaying the output signal of the coil tuner at 90°. A synthesizer(25) synthesizes the output signal of the 90° phase delay(24) and the output signal of the coil tuner which is not connected to the 90° phase delay(24).
-
-
公开(公告)号：KR1019980025822A
公开(公告)日：1998-07-15
申请号：KR1019960044113
申请日：1996-10-05
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: A61B5/055
Abstract: 본 발명은 자기공명영상장치용 고주파 코일의 자동 임피던스 정합 장치 및 방법에 관한 것으로, 자기 공명 영상 장치용 고주파 코일의 임피던스 정합 장치에 있어서, 발진된 고주파 신호가 상기 고주파 코일에서 반사되는 양을 측정하여 상기 고주파 코일의 임피던스를 조정하여 상기 자기공명영상장치의 표준 임피던스에 정합시키는 고주파 코일의 임피던스 조정 수단을 구비한다. 본 발명의 자기공명영상 장치용 고주파 코일의 자동 임피던스 정합 장치에 따르면, 자기공명영상의 촬영에서 새로운 환자를 촬영할 때 마다 시행하는 고주파코일의 임피던스 재조정 기간을 단축시켜 주며, 고주파 코일의 임피던스 조정회로를 저가의 회로소자로 구현할 수 있다.
-
公开(公告)号：KR1019950025643A
公开(公告)日：1995-09-18
申请号：KR1019940003804
申请日：1994-02-28
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G11B5/62
Abstract: 본 발명은 기판(1)에, 기록층(3), 반사층(4)및 보호층(5)이 형성된 추기형(WORM : Write Once Read Many) 광록매체에 있어서, 상단 또는 하단에 올리고머상의 열경화성 수지의 경화층(2)이 형성되고 기록층(3)은 레이져를 흡수하여 발열시킬 수 있는 근적외선 색소로 구성되며, 기록의 완료후에 경화층(2)의 수지를 50℃이상의 온도로 가열하거나 광조사하여 가교결합 시킴으로써 기록잠금 처리하는 것을 특징으로 하는 유기 광기록 매체 및 재기록 방지방법을 제공하는 것으로, 본 발명의 유기광기록 매체는 색소의 사용량이 감소하여 반사율의 향상과 원감 절감의 효과를 제공하여, 경화층(3)의 크로스링킹으로 내구성이 향상되며 재기록이 방지되는 잇점을 갖는다.
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
49
records
(took 0.023 seconds)
