公开(公告)号：KR100327481B1

公开(公告)日：2002-06-24

申请号：KR1019950059491

申请日：1995-12-27

Applicant: 삼성전자주식회사 ,  한국과학기술원

Inventor： 박규연 ,  이종원 ,  조영호 ,  송기무

IPC: G01P3/44

Abstract: PURPOSE: A micro gyroscope is provided to sense displacement of a vibration structure owing to coriolis force using a sensor disposed on the same plane as the vibration structure. CONSTITUTION: A vibration structure(35,35',36') has portions(35,35') of a stripe shape disposed in parallel, a plurality of connection portions(36) connecting the stripe-type portions, and combs(40,42) formed at one sides of the stripe-type portions. Elastic members(32,32') elastically maintain the vibration structure so as to be spaced apart from a substrate. A driver(33) has a comb(39) between combs(40) of one stripe-type portion(35) so as to drive the vibration structure in one direction. A sensor(34) has a comb(41) disposed between combs(42) of the other stripe-type portion(36), so as to sense one motion direction of the vibration structure through capacitance variation. A plurality of sense electrodes(38) are disposed on the same plane as the vibration structure between the connection portions(36) so as to sense displacement caused when coriolis force is transmitted to the vibration structure.

公开(公告)号：KR1019970048472A

公开(公告)日：1997-07-29

申请号：KR1019950059491

申请日：1995-12-27

Applicant: 삼성전자주식회사 ,  한국과학기술원

Inventor： 박규연 ,  이종원 ,  조영호 ,  송기무

IPC: G01P3/44

Abstract: 본 발명에 따르면, 기판(44)과; 스트라이프 형상 부분(35,35'), 다수의 연결부분(36) 및, 코움(40,42)을 구비한 진동 구조물(35,35',36')과; 상기 진동 구조물(35,35',36')을 탄성적으로 유지시키는 탄성 부재(32,32')와; 상기 진동 구조물(35,35',36)을 가진시킬 수 있는 구동 수단(33)과; 상기 진동 구조물(35,35',36)의 일 방향 운동을 감지할 수 있는 감지 수단(34)과; 상기 진동 구조물(35,35',36)에 코리올리의 힘에 의한 변위를 감지하도록 배치된 다수의 감지 전극(38);을 구비한 마이크로 자이로스코프가 제공된다. 본 발명에 따른 마이크로 자이로스코프는 신규한 진동 구조물과 감지 전극을 도입함으로써, 종래 기술에 따른 진동 구조물의 가공상 문제점을 해결하는 동시에 성능을 향상시킬 수 있는 장점을 지닌다.

公开(公告)号：KR1019970047975A

公开(公告)日：1997-07-29

申请号：KR1019950059492

申请日：1995-12-27

Applicant: 삼성전자주식회사 ,  한국과학기술원

Inventor： 박규연 ,  이종원 ,  조영호 ,  송기무

IPC: G01C19/56

Abstract: 본 발명에 따르면 기판 스트라이프 형상인 다수의 양극과 음극이 상호 교대하여 평행하게 배열된 제1감지수단(31), 스트라이프 형상인 다수의 양극과 음극이 상호 교대하여 평행하게 배열된 구동수단(32), 상기 제1 감지수단(31) 및 상기 구동수단(32)의 평면으로부터 수직 상방으로 소정의 높이로 이격되어 있으며 다수의 제1홈(35) 및 다수의 (36)을 지니는 진동 구조물(34), 상기 진동 구조물(34)을 상기 기판으로부터 소정의 높이로 유지시킬 수 있도록 상기 기판위에 형성된 지지부(39) 및 진동 구조물(34)과 지지부(39) 사이를 연결시키는 탄성부재(38)를 구비하는 마이크로 자이로스코프가 제공된다. 본 발명에 따른 마이크로 자이로스코프는 전체적인 구성이 매우 단순화되었으므로 제작이 용이할뿐만 아니라 사용도중에 고장이 발생할 가능성이 거의 없는 우수한 성능을 발휘한다.

公开(公告)号：KR100408494B1

公开(公告)日：2004-03-04

申请号：KR1019950059492

申请日：1995-12-27

Applicant: 삼성전자주식회사 ,  한국과학기술원

Inventor： 박규연 ,  이종원 ,  조영호 ,  송기무

IPC: G01C19/56

Abstract: PURPOSE: A micro gyroscope is provided to easily produce, prevent accidents in use, improve capacity, and increase the accuracy of natural frequency regulating operations by simplifying the total constitution. CONSTITUTION: A micro gyroscope comprises a substrate; a first sensing device(31) for mutually alternating and arranging a plurality of stripe-shape positive and negative poles in parallel; a driving device(32) for mutually alternating and arranging a plurality of stripe-shape positive and negative poles in parallel; a vibrating structure vertically separated upward from planes of the first sensing device and the driving device at the predetermined height and composed of a plurality of first and second grooves; a supporting part(39) formed on the substrate to hold the vibrating structure at the predetermined height away from the substrate; and an elastic member(38) for connecting between the vibrating structure and the supporting part.