公开(公告)号：KR1020200079879A

公开(公告)日：2020-07-06

申请号：KR1020180169535

申请日：2018-12-26

Applicant: 서강대학교산학협력단

Inventor： 최우영 ,  이장우 ,  신성운

IPC: H01L29/739 ,  H01L29/73 ,  H01L29/417 ,  H01L21/02 ,  H01L29/10

公开(公告)号：KR102131902B1

公开(公告)日：2020-07-08

申请号：KR1020180169535

申请日：2018-12-26

Applicant: 서강대학교산학협력단

Inventor： 최우영 ,  이장우 ,  신성운

IPC: H01L29/739 ,  H01L29/73 ,  H01L29/417 ,  H01L21/02 ,  H01L29/10