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公开(公告)号：WO2018117350A1
公开(公告)日：2018-06-28
申请号：PCT/KR2017/005669
申请日：2017-05-31
Applicant: 서울과학기술대학교 산학협력단
Abstract: 박막의 특성 및 결함을 측정하는 박막 검사 장치는 박막에 표면파를 발생하기 위한 펌프빔(Pump beam)을 조사하는 펄스 레이저, 연속 발진 레이저로부터 조사된 광선으로부터 간섭계를 형성하여 박막에 발생된 표면파를 측정하는 프로브빔(Probe beam)을 조사하는 간섭계부, 펌프빔 및 프로브빔을 수광하고, 펌프빔 및 프로브빔을 동축으로 반사시키는 반사 미러 및 동축으로 반사된 펌프빔, 프로브빔을 수광하고, 박막에 펌프빔 및 프로브빔을 조사하여 박막을 스캔하는 스캐닝부 및 상기 스캔된 박막의 특성 및 결함을 측정하는 신호 처리부를 포함할 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020160051170A
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：KR1020140150664
申请日：2014-10-31
Applicant: 서울과학기술대학교 산학협력단
Abstract: 본발명은빔 스플리터의후면반사를이용한다중광경로레이저광학계를개시한다. 개시된본 발명에따르면, 시편에조사하기위한레이저빔을발생시키는광원부; 상기광원부로부터입사된레이저빔을분열시켜복수의광경로로제공하는다중빔 스플리터; 상기다중빔 스플리터에의해분열된레이저빔을복수의시편에조사하기위한메인빔 스플리터; 상기시편으로조사된레이저빔의신호를변환해주는트랜스듀서; 상기트랜스듀서의신호를토대로시편에대한분석을진행하는제어부;를포함한다.
Abstract translation: 本发明提供一种激光光学系统，其具有使用分束器的后表面反射的多个光束路径，其中通过在单个非破坏性检查装置中产生多个光束路径，可以在相同的环境中同时检查多个样本。 根据本发明，具有使用分束器的后表面反射的具有多个光束路径的激光光学系统包括：用于产生辐射在样品上的激光束的光源部分; 用于分离来自光源部分的激光束并将激光束提供给多个光束路径的多光束分离器; 用于将由多光束分离器分裂的激光束照射在多个样品上的主分束器; 用于转换辐射在样品上的激光束的信号的换能器; 以及用于基于换能器的信号分析样本的控制部分。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101875058B1
公开(公告)日：2018-07-05
申请号：KR1020160176372
申请日：2016-12-22
Applicant: 서울과학기술대학교 산학협력단
Abstract: 박막의특성및 결함을측정하는박막검사장치는박막에표면파를발생하기위한펌프빔(Pump beam)을조사하는펄스레이저, 연속발진레이저로부터조사된광선으로부터간섭계를형성하여박막에발생된표면파를측정하는프로브빔(Probe beam)을조사하는간섭계부, 펌프빔및 프로브빔을수광하고, 펌프빔및 프로브빔을동축으로반사시키는반사미러및 동축으로반사된펌프빔, 프로브빔을수광하고, 박막에펌프빔및 프로브빔을조사하여박막을스캔하는스캐닝부및 상기스캔된박막의특성및 결함을측정하는신호처리부를포함할수 있다.
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公开(公告)号：KR101664470B1
公开(公告)日：2016-10-24
申请号：KR1020140150664
申请日：2014-10-31
Applicant: 서울과학기술대학교 산학협력단
Abstract: 본발명은빔 스플리터의후면반사를이용한다중광경로레이저광학계를개시한다. 개시된본 발명에따르면, 시편에조사하기위한레이저빔을발생시키는광원부; 상기광원부로부터입사된레이저빔을분열시켜복수의광경로로제공하는다중빔 스플리터; 상기다중빔 스플리터에의해분열된레이저빔을복수의시편에조사하기위한메인빔 스플리터; 상기시편으로조사된레이저빔의신호를변환해주는트랜스듀서; 상기트랜스듀서의신호를토대로시편에대한분석을진행하는제어부;를포함한다.
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公开(公告)号：KR101609548B1
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：KR1020140150668
申请日：2014-10-31
Applicant: 서울과학기술대학교 산학협력단
CPC classification number: G01B9/02027 , G01B9/02018 , G01B9/02019
Abstract: 본발명은다중빔 리플렉터를이용한다중광경로레이저광학계를개시한다. 개시된본 발명은, 시편에조사하기위한레이저빔을발생시키는광원부; 상기광원부로부터입사된레이저빔을분열시켜복수의광경로로제공하는다중빔 리플렉터; 상기다중빔 리플렉터에의해분열된레이저빔을시편방향으로조사하기위한메인빔 스플리터; 상기시편으로조사된레이저빔의신호검출을위해시편을가진시키는트랜스듀서; 시편으로부터반사되어상기빔 스플리터에서재결합하여생성된레이저빔간섭무늬분석을진행하는제어부;를포함한다.
Abstract translation: 公开了使用多光束反射器的多光路激光光学系统。 使用多光束反射器的光路激光光学系统能够通过多个光路同时向多个样品辐射激光束而进行非破坏性检查。 多光路激光光学系统包括：产生要照射到样本的激光束的光源单元; 多光束反射器分割从光源单元辐射的激光束，并将激光束提供给光路; 主分束器将由多光束反射器分割的激光束辐射到样本; 换能器激发样品以检测辐射到样品的激光束的信号; 并且在从样本反射之后，分析在激光束干涉图案中产生的激光束干涉图案在分束器中重新分析的控制单元。
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公开(公告)号：KR1020180073001A
公开(公告)日：2018-07-02
申请号：KR1020160176372
申请日：2016-12-22
Applicant: 서울과학기술대학교 산학협력단
CPC classification number: G01N21/88 , G02B26/10 , G02B27/14 , G01N21/8851 , G02B26/105 , G02B27/149
Abstract: 박막의특성및 결함을측정하는박막검사장치는박막에표면파를발생하기위한펌프빔(Pump beam)을조사하는펄스레이저, 연속발진레이저로부터조사된광선으로부터간섭계를형성하여박막에발생된표면파를측정하는프로브빔(Probe beam)을조사하는간섭계부, 펌프빔및 프로브빔을수광하고, 펌프빔및 프로브빔을동축으로반사시키는반사미러및 동축으로반사된펌프빔, 프로브빔을수광하고, 박막에펌프빔및 프로브빔을조사하여박막을스캔하는스캐닝부및 상기스캔된박막의특성및 결함을측정하는신호처리부를포함할수 있다.
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公开(公告)号：KR102142387B1
公开(公告)日：2020-08-07
申请号：KR1020200070713
申请日：2020-06-11
Applicant: 서울과학기술대학교 산학협력단
IPC: H01L23/532 , H01L23/00 , H01L21/02
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