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公开(公告)号：KR102252797B1
公开(公告)日：2021-05-17
申请号：KR1020200123336
申请日：2020-09-23
Applicant: 서울과학기술대학교 산학협력단
IPC: C23C16/455 , C23C16/503 , C23C16/52
Abstract: 원자층을증착하는증착장치는처리챔버및 증착샘플을증착하는기판, 기판의하부에배치되며기판에증착된증착샘플의온도를조절하는히터및 기판의상부에배치되며증착샘플을고정하는커버를포함하도록처리챔버의내부에설치된블록부를포함하고, 블록부는복수개로구성되고, 복수개의블록부는각 블록부가블록형식으로조립이가능하도록구성될수 있다.
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