Patent search ap:("서울과학기술대학교 산학협력단") AND inv:"한규범" Page 1

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发明公开
탐침증강라만용 골드 탐침 제조방법 无效
Title translation: 使用电化学蚀刻技术制造金探针尖端的方法

公开(公告)号：KR1020170028511A

公开(公告)日：2017-03-14

申请号：KR1020150125114

申请日：2015-09-03

Applicant: 서울과학기술대학교 산학협력단

Inventor： 안효석 , 한규범 , 반우진 , 허태원

IPC: G01N21/65 , G01J3/44 , C25F3/02

Abstract: 용기에담긴에칭수용액에골드와이어로형성된탐침소재를수직하게침지시키는탐침소재침지단계및 상기용기입구둘레에골드링으로형성된음전극을배치하고, 전원공급기로부터전원를인가하여상기탐침소재를에칭시키는탐침소재에칭단계를포함하고, 상기탐침소재에칭단계는상기탐침소재와상기에칭수용액의화학반응에의해상기에칭수용액과공기가만나는계면지점에서상기탐침소재의점진적인에칭이일어나도록하여상기탐침소재의하단부가자중에의해제거되도록한다.

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