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公开(公告)号：WO2011115383A2
公开(公告)日：2011-09-22
申请号：PCT/KR2011/001589
申请日：2011-03-08
Applicant: 서울대학교산학협력단 , 박시환 , 이동언 , 강석환 , 이우일
CPC classification number: B29C45/372 , B29C33/38 , B29C35/0888 , B29C37/0053 , B29C2035/0827
Abstract: 본 발명은 제조가 용이하면서도 소망하는 다양한 패턴을 가진 성형물을 쉽게 성형할 수 있도록 하는 필름형 유연 스탬퍼 및 그 제조방법에 관한 것이다. 개시한 필름형 유연 스탬퍼는 금형의 캐비티 내면에 부착되는 유연성 필름과, 필름의 일면에 광경화성 레진의 도포에 의해 마련되며 성형물에 패턴을 성형시키기 위한 패턴부가 형성된 패턴성형층을 포함하며, 그 제조방법은 패턴을 갖춘 몰드를 준비하여 이 몰드의 패턴 위에 광경화성 레진을 도포하는 레진도포공정과, 몰드에 도포된 레진 위에 투명소재로 된 유연성 필름을 덮어 부착시키는 필름부착공정과, 레진으로 자외선을 조사하여 레진을 경화시킴으로써 필름과 일체화된 패턴성형층이 형성되도록 하는 경화공정과, 경화공정 후 패턴성형층이 일체화된 필름을 몰드로부터 분리시키는 분리공정을 포함한다.
Abstract translation: 本发明涉及容易制备的薄膜式软压模，并且允许具有各种所需图案的模制产品易于模制，及其制备方法。 薄膜式软压模包括：附着在模具腔体内表面的软膜; 以及图案成型层，其具有用于将图案模制成模制品的图案部分，其通过在膜的一个表面上涂布辐射固化树脂而制备。 制备方法包括：树脂涂布步骤，在模具图案上制备具有图案的模具并涂覆辐射固化树脂; 所述膜附着步骤将由透明材料制成的软膜覆盖在涂覆在所述模具中的树脂上以附着其上; 对树脂照射紫外线以固化树脂的固化步骤，从而形成与该膜一体的图案模制层; 以及在固化步骤之后将与图案形成层一体化的膜与模具分离的分离步骤。
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公开(公告)号：KR101303514B1
公开(公告)日：2013-09-03
申请号：KR1020100040413
申请日：2010-04-30
Applicant: 서울대학교산학협력단
Abstract: 본 발명은 제조가 용이하면서도 소망하는 다양한 패턴을 가진 성형물을 쉽게 성형할 수 있도록 하는 필름형 유연 스탬퍼 및 그 제조방법에 관한 것이다. 개시한 필름형 유연 스탬퍼는 금형의 캐비티 내면에 부착되는 유연성 필름과, 필름의 일면에 광경화성 레진의 도포에 의해 마련되며 성형물에 패턴을 성형시키기 위한 패턴부가 형성된 패턴성형층을 포함하며, 그 제조방법은 패턴을 갖춘 몰드를 준비하여 이 몰드의 패턴 위에 광경화성 레진을 도포하는 레진도포공정과, 몰드에 도포된 레진 위에 투명소재로 된 유연성 필름을 덮어 부착시키는 필름부착공정과, 레진으로 자외선을 조사하여 레진을 경화시킴으로써 필름과 일체화된 패턴성형층이 형성되도록 하는 경화공정과, 경화공정 후 패턴성형층이 일체화된 필름을 몰드로부터 분리시키는 분리공정을 포함한다.
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公开(公告)号：KR101176490B1
公开(公告)日：2012-08-23
申请号：KR1020100119617
申请日：2010-11-29
Applicant: 서울대학교산학협력단
IPC: G02F1/1337
Abstract: 본 발명은 자기조립형 이방성 주름패턴을 형성하는 방법에 관한 것으로서, 분자정렬된 이방성 재료층의 표면을 플라즈마 또는 UV오존 처리하여 이방성 박막을 형성함으로써 상기 이방성 재료층의 분자배향 방향과 일치하는 방향의 주름을 발생시키는 것을 포함하는 본 발명의 자기조립형 이방성 주름패턴의 형성방법에 의하면, 다양한 재질의 기판 위에 목적하는 주름패턴을 복잡한 추가공정 없이 대면적으로 손쉽게 형성할 수 있다.
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公开(公告)号：KR101060360B1
公开(公告)日：2011-08-29
申请号：KR1020090007140
申请日：2009-01-29
Applicant: 서울대학교산학협력단
IPC: H01L21/00
Abstract: 본 발명은 적어도 3개의 주변 액적의 중앙부에 중심 액적을 배치하여 주변 액적 간의 결합보다 중심 액적과 주변 액적이 먼저 결합함으로써, 공기배출로가 확보되어 기포 발생이 방지되는 중심 패턴을 이용한 임프린트용 레진 디스펜싱 방법에 관한 것이다.
또한, 본 발명은 주변 액적과 중심 액적이 결합하여 액적부를 형성하고, 적어도 3개의 주변 액적부의 중앙부에 중심 액적부를 형성하여 주변 액적부 간의 결합보다 중심 액적부와 주변 액적부가 먼저 결합함으로써, 계층적으로 공기배출로가 확보되어 대면적 디스펜싱에 적합한 계층적 중심 패턴을 이용한 임프린트용 레진 디스펜싱 방법에 관한 것이다
디스펜싱, 임프린트, 액적, 액적부, 기포, 대면적-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020100088015A
公开(公告)日：2010-08-06
申请号：KR1020090007140
申请日：2009-01-29
Applicant: 서울대학교산학협력단
IPC: H01L21/00
CPC classification number: H01L21/027 , G03F7/0002 , H01L21/6715
Abstract: PURPOSE: A resin dispensing method for an imprint is provided to remove macro bubble inferiority due to dispensing during a large-sized imprint process by discharging a bubble to the outside. CONSTITUTION: A peripheral droplet(20) and a center droplet are combined and a droplet part is formed. At least three peripheral droplet parts(25) are formed in the upper side of a substrate. A center droplet part(35) is formed in the central part of the peripheral droplet part. An air discharge passage is secured by combining the center droplet part and the peripheral droplet part before the combination between the peripheral droplet parts. The input amount of the center droplet is equal to or greater than the volume of a bubble space which is generated from the combination between the peripheral droplets.
Abstract translation: 目的：提供用于印记的树脂分配方法，以通过将气泡排出到外部来消除在大尺度压印过程期间由于分配引起的气泡不均匀性。 构成：组合外围液滴（20）和中心液滴，并形成液滴部分。 至少三个外围液滴部分（25）形成在基板的上侧。 中心液滴部分（35）形成在周边液滴部分的中心部分。 通过在周边液滴部分之间的组合之前组合中心液滴部分和周边液滴部分来确保排气通道。 中心液滴的输入量等于或大于从外围液滴之间的组合产生的气泡空间的体积。
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公开(公告)号：KR1020120058019A
公开(公告)日：2012-06-07
申请号：KR1020100119617
申请日：2010-11-29
Applicant: 서울대학교산학협력단
IPC: G02F1/1337
CPC classification number: G02F1/133788 , B81C1/00031 , G02F1/133711
Abstract: PURPOSE: A method for forming self-organized anisotropic wrinkle patterns is provided to form a pattern on a general glass substrate instead of an existing pre-strain control method and make a desired wrinkle pattern large without complicated processes. CONSTITUTION: A surface of an anisotropic material layer on which molecules are arranged is treated by plasma or UV ozone to form an anisotropic thin film. Wrinkles are formed in the alignment direction of the molecules of the anisotropic material layer. Anisotropic materials of the anisotropic material layer are liquid crystal polymers. The liquid crystal polymers are RM(Reactive Mesogen) solutions. The anisotropic material layer on which the molecules are arranged is obtained by coating the anisotropic materials on a surface treated alignment film.
Abstract translation: 目的：提供一种用于形成自组织各向异性皱纹图案的方法，以在普通玻璃基板上形成图案，而不是现有的预应变控制方法，并且在没有复杂工艺的情况下形成期望的皱纹图案。 构成：通过等离子体或UV臭氧处理分布在其上的各向异性材料层的表面以形成各向异性薄膜。 在各向异性材料层的分子的排列方向上形成皱纹。 各向异性材料层的各向异性材料是液晶聚合物。 液晶聚合物是RM（Reactive Mesogen）溶液。 通过在表面处理的取向膜上涂布各向异性材料来获得分布在其上的各向异性材料层。
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公开(公告)号：KR1020100088021A
公开(公告)日：2010-08-06
申请号：KR1020090007149
申请日：2009-01-29
Applicant: 서울대학교산학협력단
IPC: H01L21/027
CPC classification number: G03F7/0002 , B29C59/022 , B82Y10/00 , B82Y40/00
Abstract: PURPOSE: A friction reducing method is provided to reduce friction which is generated during an alignment process by decreasing a contact angle with the substrate of a resin or a mold. CONSTITUTION: A resin(30) is located between a substrate(10) and a mold(20). A hydrophobicity which has a large contact angle is achieved through a surface process of a substrate or a mold which is contacted with the resin. The inner structure of a cell is surface-treated in order to achieve a hydrophilic property which has a small contact angle for the charge of the resin. The outside of a cell structure is surface-treated in order to achieve a hydrophobicity which has a large contact angle. The resin forms a contact angle with the side of the mold or the upper side.
Abstract translation: 目的：减少与树脂或模具的基板的接触角，减少在对准过程中产生的摩擦的摩擦减小方法。 构成：树脂（30）位于基材（10）和模具（20）之间。 具有大接触角的疏水性通过与树脂接触的基材或模具的表面方法实现。 对电池的内部结构进行表面处理以获得具有小的接触角用于树脂充电的亲水性。 细胞结构的外部进行表面处理以获得具有大的接触角的疏水性。 树脂与模具侧或上侧形成接触角。
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公开(公告)号：KR101085894B1
公开(公告)日：2011-11-23
申请号：KR1020090007149
申请日：2009-01-29
Applicant: 서울대학교산학협력단
IPC: H01L21/027
Abstract: 본 발명은 임프린트 공정에 있어서 몰드를 누른 후 정확한 위치에 패턴을 형성하기 위해 기판과 몰드를 정렬하는 과정에서 발생하는 몰드와 기판 간의 마찰 현상에 크게 기여하는 주 원인을 밝히고, 주 원인에 영향을 주는 주요 인자들을 조절함으로써 정렬 과정에서 발생하는 마찰력의 크기를 효율적으로 감소시키는 임프린트 정렬 과정에서의 마찰 감소방법에 관한 것으로서,
기판과 몰드의 사이에 레진이 위치하고, 상기 레진의 기판 또는 몰드와 이루는 접촉각을 증가시켜 정렬 과정에 발생하는 마찰을 감소시키는 방법에 있어서, 상기 레진과 접촉하는 상기 기판 또는 몰드의 표면 처리를 통해 접촉각이 큰 소수성(hydrophobic)을 띠게 하는 것을 특징으로 한다.
임프린트, 정렬, 표면장력, 접촉각, 대면적-
公开(公告)号：KR1020110105321A
公开(公告)日：2011-09-26
申请号：KR1020100040413
申请日：2010-04-30
Applicant: 서울대학교산학협력단
CPC classification number: B29C45/2632 , B29C45/372 , B29K2067/003 , B29K2995/0074 , C08G2650/48
Abstract: 본 발명은 제조가 용이하면서도 소망하는 다양한 패턴을 가진 성형물을 쉽게 성형할 수 있도록 하는 필름형 유연 스탬퍼 및 그 제조방법에 관한 것이다. 개시한 필름형 유연 스탬퍼는 금형의 캐비티 내면에 부착되는 유연성 필름과, 필름의 일면에 광경화성 레진의 도포에 의해 마련되며 성형물에 패턴을 성형시키기 위한 패턴부가 형성된 패턴성형층을 포함하며, 그 제조방법은 패턴을 갖춘 몰드를 준비하여 이 몰드의 패턴 위에 광경화성 레진을 도포하는 레진도포공정과, 몰드에 도포된 레진 위에 투명소재로 된 유연성 필름을 덮어 부착시키는 필름부착공정과, 레진으로 자외선을 조사하여 레진을 경화시킴으로써 필름과 일체화된 패턴성형층이 형성되도록 하는 경화공정과, 경화공정 후 패턴성형층이 일체화된 필름을 몰드로부터 분리시키는 분리공정을 포함한다.
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